一种具有拉晶状态监测装置的拉晶设备
摘要:
本发明公开了一种具有拉晶状态监测装置的拉晶设备,包括:炉体,炉体顶端侧壁上设置有观窗,炉体外壁上设置有朝向观窗的监测组件,炉体内设置有坩埚、拉晶组件与热场。本发明的目的在于提供一种结构简单、监测精准度高的具有拉晶状态监测装置的拉晶设备。
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