一种用于拉晶炉的热场控制系统及拉晶炉

    公开(公告)号:CN116288661A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310358354.2

    申请日:2023-04-06

    IPC分类号: C30B15/20 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种用于拉晶炉的热场控制系统及拉晶炉,包括:炉体,硅熔体,炉体内下部设置有坩埚,坩埚内设置有熔融态的硅熔体;导流筒,坩埚上方沿炉体轴线设置有导流筒;隔热筒,硅熔体与从硅熔体拉制出的单晶硅棒之间设置有隔热筒,隔热筒与导流筒构成热屏蔽体;保温筒,炉体内设置有沿炉体轴线延伸的保温筒。本发明的目的在于提供一种结构简单、调节方便的用于拉晶炉的热场控制系统及拉晶炉。

    一种单晶炉用自动上料车

    公开(公告)号:CN113308746B

    公开(公告)日:2022-02-22

    申请号:CN202110593172.4

    申请日:2021-05-28

    IPC分类号: C30B35/00 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种单晶炉用自动上料车,包括:行走小车;机械手,所述机械手安装于所述行走小车上;坩埚吸盘单元,所述坩埚吸盘单元安装于所述机械手前端;视频采集单元,所述视频采集单元安装于所述行走小车上,所述视频采集单元用于采集行走小车行走方向前端的视频信息;真空泵,所述真空泵安装于所述行走小车上,所述真空泵通过网纹管与坩埚吸盘单元连接。

    一种用于拉晶炉的热场控制系统及拉晶炉

    公开(公告)号:CN116288661B

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN202310358354.2

    申请日:2023-04-06

    IPC分类号: C30B15/20 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种用于拉晶炉的热场控制系统及拉晶炉,包括:炉体,硅熔体,炉体内下部设置有坩埚,坩埚内设置有熔融态的硅熔体;导流筒,坩埚上方沿炉体轴线设置有导流筒;隔热筒,硅熔体与从硅熔体拉制出的单晶硅棒之间设置有隔热筒,隔热筒与导流筒构成热屏蔽体;保温筒,炉体内设置有沿炉体轴线延伸的保温筒。本发明的目的在于提供一种结构简单、调节方便的用于拉晶炉的热场控制系统及拉晶炉。

    一种带喷淋功能的清洗机用慢提拉槽体

    公开(公告)号:CN115458439B

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202211031171.1

    申请日:2022-08-26

    摘要: 本发明的一种带喷淋功能的清洗机用慢提拉槽体,包括:清洗槽、安装板、喷淋装置,所述清洗槽内设置有安装板,所述安装板与所述清洗槽的底面平行,所述清洗槽顶部设置有所述喷淋装置,将放置有硅片的花篮安装在所述安装板上,置于所述清洗槽内清洗,清洗完成后所述安装板将花篮从清洗液中抬出,此时喷淋装置启动,将附着在所述硅片上的浮沫冲下,避免硅片后续干燥时留下污迹。

    一种可减少故障的清洗机用回篮线翻转台

    公开(公告)号:CN115518934B

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202211234715.4

    申请日:2022-10-10

    IPC分类号: B08B3/04 B08B13/00 H01L21/67

    摘要: 本发明提供了一种可减少故障的清洗机用回篮线翻转台,包括:基台、翻转板、翻转主轴和主液压缸,翻转板水平设置在基台边缘处,翻转主轴设置在翻转板下方且与基台转动连接,翻转主轴与翻转板固定连接,翻转主轴端部固定连接有垂直于翻转主轴的第一连杆,主液压缸设置在基台侧部且主液压缸输出轴斜向上设置,主液压缸输出轴与第一连杆固定连接。本发明的目的在于提供一种可减少故障的清洗机用回篮线翻转台,解决翻转台因驱动结构存在死点导致的故障卡篮的问题。

    一种多晶硅料的酸洗设备

    公开(公告)号:CN117303372A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311311179.8

    申请日:2023-10-11

    IPC分类号: C01B33/037 B08B3/08 B08B13/00

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅料的酸洗设备,包括:前输送单元,料箱行走于前输送单元上;酸洗单元,所述酸洗单元包括酸洗池和行走于酸洗池上方的搬运组件,所述搬运组件将料箱自前输送单元搬运到酸洗池内;后烘干单元,所述搬运组件将料箱自酸洗池搬运到后烘干单元。本发明提供了一种多晶硅料的酸洗设备,实现无人化操作,且硅料的整个酸洗过程清洗时间短,清洗效果洁净,降低了清洗成本,达到了降本增效的目的,可更好的提升生产效率。硅料放置于料箱内,前输送单元将每个料箱逐一输送到靠近酸洗池位置后,搬运组件完成每个料箱的搬运,料箱放置于酸洗池内进行酸洗后,搬运组件将酸洗池内的料箱搬入后烘干单元内进行烘干操作。

    一种带喷淋功能的清洗机用慢提拉槽体

    公开(公告)号:CN115458439A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202211031171.1

    申请日:2022-08-26

    摘要: 本发明的一种带喷淋功能的清洗机用慢提拉槽体,包括:清洗槽、安装板、喷淋装置,所述清洗槽内设置有安装板,所述安装板与所述清洗槽的底面平行,所述清洗槽顶部设置有所述喷淋装置,将放置有硅片的花篮安装在所述安装板上,置于所述清洗槽内清洗,清洗完成后所述安装板将花篮从清洗液中抬出,此时喷淋装置启动,将附着在所述硅片上的浮沫冲下,避免硅片后续干燥时留下污迹。

    一种新式的单晶硅双棒双工位开方机

    公开(公告)号:CN113134918B

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202110428087.2

    申请日:2021-04-21

    IPC分类号: B28D5/04 B28D7/04

    摘要: 本发明公开了一种新式的单晶硅双棒双工位开方机,其包括储料平台、检测平台、进料平台、双工位上料装置和双工位切割装置,检测平台和双工位上料装置布置于储料平台和进料平台之间,双工位切割装置扣设于进料平台外侧,检测平台顶端远离双工位上料装置的一侧设置有晶线检测装置,双工位上料装置、双工位切割装置和晶线检测装置与控制器电连接。本发明在储料平台和进料平台之间设置检测平台,通过上料装置转动对硅棒进行夹取上料操作,在硅棒上料过程中对硅棒进行晶线检测,硅棒切割操作和检测操作同步进行,大幅缩减作业时间,将开方机设置为双棒双工位,在保证操作可靠性的基础上,进一步加快开方机的切割和检测速度,提高生产效率。

    一种单晶硅生产设备
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113151892B

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202110456606.6

    申请日:2021-04-27

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06 C30B15/20

    摘要: 本发明涉及一种单晶硅生产设备,其中,直拉单晶用热屏装置包括:内层隔热筒;外层隔热筒,所述外层隔热筒围绕设置在所述内层隔热筒外侧;热反射片,所述热反射片固定连接在所述外层隔热筒内侧周壁上;隔热垫,所述隔热垫固定安装在所述内层隔热筒和所述热反射片之间;其中单晶硅生产设备包括:炉体;坩埚,所述坩埚安装在所述炉体内底壁上,所述坩埚底部安装有旋转装置;热屏装置,所述热屏装置用于单晶硅生产过程中的热屏蔽;充气装置,所述充气装置用于往炉体内充入气体;直拉装置,所述直拉装置用于单晶硅的直拉生长。通过上述结构的设计,能增大纵向温度梯度,提高单晶硅的生长速度,从而提高单晶硅的产量和生产效率。