一种单晶硅片边缘修复装置及修复工艺

    公开(公告)号:CN118682608A

    公开(公告)日:2024-09-24

    申请号:CN202410904660.6

    申请日:2024-07-08

    摘要: 本发明属于硅片修复技术领域,尤其涉及一种单晶硅片边缘修复装置及修复工艺,包括单晶硅片夹持部件,单晶硅片夹持部件侧面设有打磨修复部件,打磨修复部件上装设有四个打磨石外壳,四个打磨石外壳内均交叉装设有两个打磨石支撑部件,两个打磨石支撑部件上均设有打磨石,且两个打磨石形成一定夹角,形成一定夹角的两个打磨石对单晶硅片两侧的边缘棱角同时打磨修复,相对传统单边打磨效率更高,同时四个打磨石外壳上的打磨石支撑部件分别装设四组不同粗糙程度的打磨石,依次对单晶硅片边缘打磨修复,使得打磨后的单晶硅片边缘光滑平整。

    一种单晶毛棒检测装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118670449A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410768143.0

    申请日:2024-06-14

    摘要: 本发明提供了一种单晶毛棒检测装置,通过对单晶毛棒依次进行长度,直径和晶线状态的测量,得到测量参数,实现对单晶毛棒的参数检测,通过基于测量参数对单晶毛棒进行自动化检测评估,确定单晶毛棒的质量信息,并基于质量信息对单晶毛棒进行标记,是现在检测后对单晶毛棒的质量评估,为单晶毛棒的后续处理提供基础,最后,将测量模块,质量评估模块与自动化生产线进行集成,在测量评估完成后自动对单晶毛棒进行后续操作,实现在检测单晶毛棒测量参数过程中,不干扰单晶毛棒的生产流程,实现自动化高效准确测量。

    钨丝开方环线结构及应用其的开方机的切割方法

    公开(公告)号:CN118493658A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410770847.1

    申请日:2024-06-14

    摘要: 本发明属于单晶硅加工技术领域,尤其涉及一种钨丝开方环线结构及应用其的开方机的切割方法,包括支撑壳体,支撑壳体内设有四个支撑柱,四个支撑柱上均安装有三角钨丝支架,钨丝环绕在四个三角钨丝支架和调节部件上,形成两个横位钨丝和两个纵位钨丝,支撑柱与三角钨丝支架连接处设有喷液部件,三角钨丝支架上安装有驱动部件,驱动部件带动钨丝在四个三角钨丝支架上转动,启动驱动部件,带动钨丝在四个三角钨丝支架上转动,单晶硅棒接触转动中的两个横位钨丝和两个纵位钨丝,被两个横位钨丝和两个纵位钨丝切割形成方形的单晶硅棒,相比较传统工艺对单晶硅棒四面分别切割,本结构可四面同时切割,对单晶硅棒开方方便快捷。

    协同工作的双根立式开方装置及其协同工作的方法

    公开(公告)号:CN118478450A

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202410772212.5

    申请日:2024-06-17

    IPC分类号: B28D5/00 B28D5/04

    摘要: 本发明提供了协同工作的双根立式开方装置及其协同工作的方法,通过基于待加工材料的需求,结合工艺设备参数范围,确定对待加工材料的多种加工工艺参数方案,基于工艺设备的设备使用参数,对每种加工工艺参数方案进行第一评估,基于每种加工工艺参数方案的环线双根协同特征进行第二评估,并根据综合评估结果,确定目标加工工艺参数方案,实现对加工材料的环线加工,保证双根协同工作的最优性,然后,按照目标加工工艺参数方案对待加工材料进行加工并进行监测,得到监测数据,对所述监测数据进行协同切割效果评估,根据效果评估结果对环线双根协同参数进行实时调整,实现在加工过程中对环线双根协同参数进行实时调整,保证加工效率和工件质量。

    用于切割晶体硅棒的金刚线切片机

    公开(公告)号:CN115401808B

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN202211223467.3

    申请日:2022-10-08

    IPC分类号: B28D5/00 B28D5/04

    摘要: 本发明公开了用于切割晶体硅棒的金刚线切片机,包括:机架,所述机架左右两侧分别设置有切割单元和收放线单元,所述切割单元上方设置有硅棒进给单元,所述切割单元包括两个并列布置的切割辊,所述切割辊转动连接于机架内壁,所述切割辊一端连接有驱动电机,金刚线缠绕于两个切割辊上,且所述金刚线两端与收放线单元连接,所述收放线单元内设置有金刚线调节单元。本发明有效实现了金刚线拉力的调节,保证了金刚线的张紧状态,降低金刚线松动对收线的影响,使金刚线在卷线辊上整齐的排列,防止金刚线收卷过程中发生抖动,无需频繁停机检修,提高切片机的智能化程度和生产效率。

    一种用于拉晶炉的热场控制系统及拉晶炉

    公开(公告)号:CN116288661A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310358354.2

    申请日:2023-04-06

    IPC分类号: C30B15/20 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种用于拉晶炉的热场控制系统及拉晶炉,包括:炉体,硅熔体,炉体内下部设置有坩埚,坩埚内设置有熔融态的硅熔体;导流筒,坩埚上方沿炉体轴线设置有导流筒;隔热筒,硅熔体与从硅熔体拉制出的单晶硅棒之间设置有隔热筒,隔热筒与导流筒构成热屏蔽体;保温筒,炉体内设置有沿炉体轴线延伸的保温筒。本发明的目的在于提供一种结构简单、调节方便的用于拉晶炉的热场控制系统及拉晶炉。

    一种适用于不同规格晶篮的夹爪提取机构及其插片机

    公开(公告)号:CN115440649B

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN202211050544.X

    申请日:2022-08-30

    发明人: 姜君 潘皓 张帅 刘健

    摘要: 本发明提供了一种适用于不同规格晶篮的夹爪提取机构及其插片机,包括:安装板、第一连杆、驱动杆和夹持杆,所述安装板水平设置,两个所述第一连杆对称设置在所述安装板底面上,所述驱动杆水平设置在两个所述第一连杆之间,且通过设置在安装板上的主液压缸带动驱动杆上下运动,所述驱动杆两端滑动设置有驱动套筒,所述第一连杆上水平滑动设置有第二连杆,所述驱动套筒上铰接设置有第三连杆和第四连杆,所述第三连杆与第四连杆沿竖直方向对称设置且分别与第一连杆和第二连杆铰接,所述夹持杆与所述第二连杆固定连接。本发明的目的在于提供一种适用于不同规格晶篮的夹爪提取机构及其插片机,能够适用于各种大小规格晶篮的夹持。

    一种导流筒装置和拉晶炉

    公开(公告)号:CN115058772B

    公开(公告)日:2023-01-31

    申请号:CN202210853980.4

    申请日:2022-07-13

    IPC分类号: C30B27/02 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种导流筒装置,包括导流筒装置本体,导流筒装置本体的第一导流件、第二导流件,第一导流件位于第二导流件上方,第二导流件与第一导流件连接,第二导流件上表面设置有嵌位件,嵌位件位于第二导流件与第一导流件连接处。第二导流件上表面设置的嵌位件设置于第二导流件与第一导流件连接处,使得对晶棒降温的惰性气体从第一导流件的通孔进入,遇到第二导流件上的通孔被堵的情况下,从第一导流件与第二导流件之间的连接处流走,第二导流件对固液界面处的熔体起到保温作用,解决了现有拉晶炉的导流筒装置会使得对晶棒降温的惰性气体接触固液界面处的熔体,使得固液界面处的熔体的温度降低,影响晶棒的生长的问题。

    一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法

    公开(公告)号:CN115434005A

    公开(公告)日:2022-12-06

    申请号:CN202211010306.6

    申请日:2022-08-23

    IPC分类号: C30B15/10 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法,其中,直拉单晶硅埚缝测量用具包括:用具本体,用具本体采用石英材质制成,用具本体设为等腰锐角三角形状,用具本体的顶角贴靠硅液的液面设置,用具本体上预留有开孔;钼螺栓,所述钼螺栓穿设所述开孔,并连接于导流罩的底端;直拉单晶硅埚缝测量用具使用方法包括:步骤1、清洗用具本体,进而保证用具本体的表面无异物附着;步骤2、人工通过钼螺栓将用具本体安装在导流罩的底端,所述导流罩的底端预留有与所述钼螺栓连接的螺孔,所述用具本体自然下垂;步骤3、导流罩自直拉单晶硅埚上方下落,肉眼观察所述用具本体的顶角,当所述用具本体的顶角贴靠硅液的液面时,导流罩停止下移。