一种拉晶炉及其高效调节拉晶炉内氧气浓度的方法

    公开(公告)号:CN119507048A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202411661905.3

    申请日:2024-11-20

    Abstract: 本发明提供一种拉晶炉及其高效调节拉晶炉内氧气浓度的方法,其中,拉晶炉包括:主炉室、附炉室、拉晶头、坩埚、真空系统和保护气充入系统;还包括:碳化硅棒加热组件,固定设置在主炉室的侧壁。方法包括:在将材料放置到坩埚内且关闭主炉室的舱门后,控制真空系统工作对主炉室和附炉室内的空气进行真空处理;当真空处理完成后,通过保护气充入系统向主炉室和附炉室内充入保护气;在保护气通过过程中控制碳化硅棒加热组件工作。本发明的拉晶炉及其高效调节拉晶炉内氧气浓度的方法,实现高效调节拉晶炉内的氧气浓度。

    一种单晶硅生产设备
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113151892B

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202110456606.6

    申请日:2021-04-27

    Abstract: 本发明涉及一种单晶硅生产设备,其中,直拉单晶用热屏装置包括:内层隔热筒;外层隔热筒,所述外层隔热筒围绕设置在所述内层隔热筒外侧;热反射片,所述热反射片固定连接在所述外层隔热筒内侧周壁上;隔热垫,所述隔热垫固定安装在所述内层隔热筒和所述热反射片之间;其中单晶硅生产设备包括:炉体;坩埚,所述坩埚安装在所述炉体内底壁上,所述坩埚底部安装有旋转装置;热屏装置,所述热屏装置用于单晶硅生产过程中的热屏蔽;充气装置,所述充气装置用于往炉体内充入气体;直拉装置,所述直拉装置用于单晶硅的直拉生长。通过上述结构的设计,能增大纵向温度梯度,提高单晶硅的生长速度,从而提高单晶硅的产量和生产效率。

    防止产生谐振抖动的重锤结构

    公开(公告)号:CN118441353A

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202410651533.X

    申请日:2024-05-24

    Abstract: 本发明涉及单晶硅制造设备领域,更具体地说,涉及一种用于单晶炉的防止产生谐振抖动的重锤结构,包括:上重锤组件、下重锤组件和降振连接座,降振连接座上具有一用于与钢丝绳连接的接头;上重锤组件的顶部和底部分别与降振连接座和下重锤组件;下重锤组件装配有重心调节组件。本发明的防止产生谐振抖动的重锤结构,其采用分体式的结构设置,上重锤组件、下重锤组件可进行拆卸,便于检修维修或是更换,可降低受损后的维修成本;在上重锤组件上连接降振连接座,通过降振连接座与钢丝绳连接,可起到一定程度的缓冲降振的作用,提高本发明的平衡稳定性。

    一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉

    公开(公告)号:CN116657236B

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202310649445.1

    申请日:2023-06-02

    Abstract: 本发明公开了一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉,包括:熔晶炉、拉晶炉,所述拉晶炉设置在所述熔晶炉顶部,所述拉晶炉底部与所述拉晶炉顶部连通,所述熔晶炉内设置有坩埚,所述坩埚安装在旋转机构顶部,所述旋转机构底部安装在熔晶炉底面,所述坩埚顶部设置有防硅跳组件,所述拉晶炉顶部设置有提拉机构,所述提拉机构用于将坩埚内熔融状态的硅向上牵引在拉晶炉内形成硅棒,所述拉晶炉内设置有塑形机构,所述塑形机构设置在坩埚上部,所述塑形机构用于对提拉机构上拉熔融状态的硅进行塑形;用以避免坩埚内发生硅跳对拉晶炉造成的危害。

    一种以导流筒为参照的单晶炉液口距单点测量方法及装置

    公开(公告)号:CN113249781B

    公开(公告)日:2022-02-22

    申请号:CN202110592043.3

    申请日:2021-05-28

    Abstract: 本发明涉及一种以导流筒为参照的单晶炉液口距单点测量方法,包括:步骤A1:用CCD相机拍摄并获取导流筒下沿图像及导流筒下沿倒影图像;步骤A2:对获取的图像通过边界捕捉,获得边界图形,将椭圆的半圆弧还原为圆形的半圆弧,再拟合获得导流筒下沿拟合图像及导流筒下沿倒影拟合图像;步骤A3:根据透视原理计算得到液口距H。一种以导流筒为参照的单晶炉液口距单点测量装置,其特征在于,包括:CCD相机,所述CCD相机通过定位装置安装在单晶炉上侧,所述定位装置安装在所述单晶炉上;导流筒,所述导流筒固定安装在所述单晶炉内侧壁上。通过上述方法及装置的设计,可避免预设系数、寻找边界对应点等不可控因素,可实时对液口距进行精准计算与控制。

    一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法及装置

    公开(公告)号:CN113308731B

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202110591277.6

    申请日:2021-05-28

    Abstract: 本发明提供了一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法,包括步骤1:在重锤下端安装带尖籽晶,然后将所述重锤放入主炉室内部,获取带尖籽晶末端到导流筒下沿平面的距离;步骤2:使用CCD相机获取所述带尖籽晶尖端的实际像素位置图像与所述带尖籽晶尖端倒影的像素位置图像,然后根据所述实际像素位置与所述带尖籽晶尖端倒影的像素位置计算所述带尖籽晶尖端到熔硅液面的距离;步骤3:基于所述带尖籽晶末端到导流筒下沿平面的距离及所述带尖籽晶尖端到熔硅液面的距离,计算单晶炉液口距。本发明中,通过CCD相机获取的图像能够准确计算液口距,消除了人为误差,提高了液口距的准确性,从而实现了液口距的精准定位,便于单晶炉液口距的精准控制。

    一种拉晶炉及用于拉晶炉的真空泵控制系统

    公开(公告)号:CN119392353A

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202411587557.X

    申请日:2024-11-08

    Abstract: 本发明提供一种拉晶炉及用于拉晶炉的真空泵控制系统,其中拉晶炉包括:主炉室、附炉室、拉晶头、坩埚和两个真空装置;真空装置分别与通过一个三通电控阀与主炉室和附炉室连通。当控制模块通过通讯模块接收到从拉晶炉的控制器发送的预工作指令时,控制真空泵组动作对真空室进行抽真空操作,至通过真空检测模块检测到真空室内的气压符合预先配置的第一气压条件;当接收到控制器发送的工作指令时,控制三通电控阀连通并控制真空泵组启动,至通过真空检测模块检测到真空室内的气压符合预先配置的第二气压条件。本发明通过配置两个真空装置以保证任一装置损坏时拉晶炉的正常工作,以保证拉晶炉内的真空环境。

    防止产生谐振抖动的重锤结构

    公开(公告)号:CN118441353B

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202410651533.X

    申请日:2024-05-24

    Abstract: 本发明涉及单晶硅制造设备领域,更具体地说,涉及一种用于单晶炉的防止产生谐振抖动的重锤结构,包括:上重锤组件、下重锤组件和降振连接座,降振连接座上具有一用于与钢丝绳连接的接头;上重锤组件的顶部和底部分别与降振连接座和下重锤组件;下重锤组件装配有重心调节组件。本发明的防止产生谐振抖动的重锤结构,其采用分体式的结构设置,上重锤组件、下重锤组件可进行拆卸,便于检修维修或是更换,可降低受损后的维修成本;在上重锤组件上连接降振连接座,通过降振连接座与钢丝绳连接,可起到一定程度的缓冲降振的作用,提高本发明的平衡稳定性。

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