发明公开
CN117642846A 基板清洗装置
审中-实审
- 专利标题： 基板清洗装置
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申请号： CN202280049929.6申请日： 2022-06-30
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公开(公告)号： CN117642846A公开(公告)日： 2024-03-01
- 发明人: 高桥拓马 , 筱原智之 , 石井淳一 , 中村一树 , 筱原敬 , 冲田展彬 , 冈田吉文
- 申请人： 株式会社斯库林集团
- 申请人地址： 日本京都府
- 专利权人： 株式会社斯库林集团
- 当前专利权人： 株式会社斯库林集团
- 当前专利权人地址： 日本京都府
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 范胜杰; 姚海
- 优先权： 2021-117423 2021.07.15 JP
- 国际申请： PCT/JP2022/026392 2022.06.30
- 国际公布： WO2023/286635 JA 2023.01.19
- 进入国家日期： 2024-01-15
- 主分类号： H01L21/304
- IPC分类号： H01L21/304
摘要：
本发明的基板清洗装置具备基板保持部、下表面刷、第1液体喷嘴及第2液体喷嘴。基板保持部以水平姿势保持基板。下表面刷构成为能够在用于清洗基板的处理位置与在上下方向上重叠于由基板保持部保持的基板的待机位置之间移动。另外，下表面刷构成为能够绕上下方向的轴旋转。下表面刷在处理位置与基板的下表面接触，由此清洗基板的下表面。第1液体喷嘴在待机位置，对下表面刷的中央部喷出清洗液。第2液体喷嘴在待机位置，对下表面刷的端部喷出清洗液。
IPC分类:
