Invention Publication
CN118256150A 一种化学机械抛光液
审中-公开
- Patent Title: 一种化学机械抛光液
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Application No.: CN202211697964.7Application Date: 2022-12-28
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Publication No.: CN118256150APublication Date: 2024-06-28
- Inventor: 刘天奇 , 周文婷 , 荆建芬 , 王苗苗 , 姚颖 , 宋凯 , 蔡鑫元 , 李昀 , 王拓 , 王正 , 唐浩杰
- Applicant: 安集微电子科技(上海)股份有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区(南区)T6-9幢底层
- Assignee: 安集微电子科技(上海)股份有限公司
- Current Assignee: 安集微电子科技(上海)股份有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区(南区)T6-9幢底层
- Agency: 北京大成律师事务所
- Agent 李佳铭; 王芳
- Main IPC: C09G1/02
- IPC: C09G1/02
Abstract:
本发明提供了一种无定形碳材料抛光的化学机械抛光液。本发明中的化学机械抛光液，包括研磨颗粒，含有羧基基团的化合物及含有两个或多个羟基的化合物。本发明中的化学机械抛光液具有较高的无定形碳材料的去除速率，具有良好的市场前景。
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