发明专利
- 专利标题： 形成安全的金屬閘極反熔絲結構之方法
- 专利标题（英）： Methods of forming secured metal gate antifuse structures
- 专利标题（中）： 形成安全的金属闸极反熔丝结构之方法
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申请号： TW100149533申请日： 2011-12-29
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公开(公告)号： TWI524493B公开(公告)日： 2016-03-01
- 发明人: 童香紅 , TONG, XIANGHONG , 陳震平 , CHEN, ZHANPING , 哈弗茲 華利德M , HAFEZ, WALID M. , 馬志勇 , MA, ZHIYONG , 庫卡尼 沙維雪H , KULKARNI, SARVESH H. , 張 凱文X , ZHANG, KEVIN X. , 皮德森 馬修B , PEDERSEN, MATTHEW B. , 強森 凱文D , JOHNSON, KEVIN D.
- 申请人： 英特爾公司 , INTEL CORPORATION
- 专利权人： 英特爾公司,INTEL CORPORATION
- 当前专利权人： 英特爾公司,INTEL CORPORATION
- 代理商 惲軼群; 陳文郎
- 优先权： 13/077,681 20110331
- 主分类号： H01L23/525
- IPC分类号： H01L23/525 ; G11C17/16
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