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发明专利
形成安全的金屬閘極反熔絲結構之方法有权
简体标题：形成安全的金属闸极反熔丝结构之方法

公开(公告)号：TWI524493B

公开(公告)日：2016-03-01

申请号：TW100149533

申请日：2011-12-29

申请人： 英特爾公司 , INTEL CORPORATION

发明人： 童香紅 , TONG, XIANGHONG , 陳震平 , CHEN, ZHANPING , 哈弗茲華利德M , HAFEZ, WALID M. , 馬志勇 , MA, ZHIYONG , 庫卡尼沙維雪H , KULKARNI, SARVESH H. , 張凱文X , ZHANG, KEVIN X. , 皮德森馬修B , PEDERSEN, MATTHEW B. , 強森凱文D , JOHNSON, KEVIN D.

IPC分类号： H01L23/525 , G11C17/16

CPC分类号： H01L23/5252 , H01L21/44 , H01L27/0207 , H01L27/0629 , H01L27/11206 , H01L29/861 , H01L2924/0002 , H01L2924/00