发明授权
- 专利标题： Copolymers
- 专利标题（中）： 共聚物
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申请号： US434955申请日： 1995-05-04
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公开(公告)号： US5616667A公开(公告)日： 1997-04-01
- 发明人: Recai Sezi , Horst Borndoerfer , Hellmut Ahne , Siegfried Birkle , Eberhard Kuehn , Rainer Leuschner , Eva Rissel , Michael Sebald
- 申请人： Recai Sezi , Horst Borndoerfer , Hellmut Ahne , Siegfried Birkle , Eberhard Kuehn , Rainer Leuschner , Eva Rissel , Michael Sebald
- 申请人地址： DEX M unchen
- 专利权人： Siemens Aktiengesellschaft
- 当前专利权人： Siemens Aktiengesellschaft
- 当前专利权人地址： DEX M unchen
- 优先权： DEX4041000.5 19901220
- 主分类号： C08F212/32
- IPC分类号： C08F212/32 ; C08F12/00 ; C08F220/10 ; C08F220/18 ; C08F222/06 ; G03F7/004 ; G03F7/027 ; G03F7/038 ; G03F7/039 ; G03F7/26 ; H01L21/027
摘要：
New mixed polymers which can serve as base polymers for high-resolution resists are structured from 40 to 99 mole % of a tert. butyl ester of an unsaturated carboxylic acid and 1 to 60 mole % of an anhydride of an unsaturated carboxylic acid.
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