发明授权
- 专利标题： Probe and a cantilever formed with same material
- 专利标题（中）： 探头和悬臂与相同的材料形成
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申请号： US786181申请日： 1997-01-21
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公开(公告)号： US5959957A公开(公告)日： 1999-09-28
- 发明人: Tsutomu Ikeda , Takayuki Yagi , Yasuhiro Shimada
- 申请人： Tsutomu Ikeda , Takayuki Yagi , Yasuhiro Shimada
- 申请人地址： JPX Tokyo
- 专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo
- 优先权： JPX8-025902 19960119
- 主分类号： G01B21/30
- IPC分类号： G01B21/30 ; G01B7/34 ; G01N37/00 ; G01Q60/16 ; G01Q60/38 ; G01Q70/14 ; G01Q70/16 ; G01Q80/00 ; G11B9/00 ; G11B9/14 ; G02B21/00
摘要：
A probe has a metal tip on a cantilever. A diffused layer made from a metal silicide is formed at an interface between the tip and the cantilever. In the diffused layer, a material for forming the cantilever and a material for forming the tip are diffused.
公开/授权文献
- US4144722A Air conditioning system with side stream filtering 公开/授权日：1979-03-20
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