发明授权
- 专利标题： Catadioptric objective
- 专利标题（中）： 反射折射目标
-
申请号： US10118479申请日： 2002-04-08
-
公开(公告)号： US06842294B2公开(公告)日： 2005-01-11
- 发明人: Hubert Holderer , Ulrich Weber , Alexander Kohl , Toralf Gruner , Christoph Zaczek , Jens Ullmann , Martin Weiser , Bernhard Gellrich , Hartmut Muenker
- 申请人： Hubert Holderer , Ulrich Weber , Alexander Kohl , Toralf Gruner , Christoph Zaczek , Jens Ullmann , Martin Weiser , Bernhard Gellrich , Hartmut Muenker
- 申请人地址： DE Oberkochen
- 专利权人： Carl Zeiss SMT AG
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT AG
- 当前专利权人地址： DE Oberkochen
- 代理机构： Welsh & Katz, Ltd.
- 优先权： DE10118047 20010411
- 主分类号： G02B17/08
- IPC分类号： G02B17/08 ; G03F7/20 ; H01L21/027 ; G02B3/00 ; G02B17/00
摘要：
A catadioptric objective comprises a plurality of lenses and at least two deflecting mirrors that have reflecting surfaces that are at a specific angle, in particular of 90°, to one another. The two deflecting mirrors are arranged with their reflecting surfaces on a common base member whose position in the objective can be set.
公开/授权文献
- US20020181125A1 Catadioptric objective 公开/授权日：2002-12-05
信息查询
IPC分类:
| G | 物理 |
| G02 | 光学 |
| G02B | 光学元件、系统或仪器 |
| G02B17/00 | 有或无折射元件的具有反射面的系统 |
| G02B17/08 | .折反射系统 |
