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公开(公告)号：CN101906608A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010193925.4
申请日：2010-06-01
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C16/54 , C23C14/568
Abstract: 本发明涉及一种包括多个反应室的沉积设备及控制该沉积设备的方法。该沉积设备包括：第一室，在沉积主体上沉积第一沉积材料；第二室，在沉积主体上沉积不同的第二沉积材料；第三室，在沉积主体上沉积第一沉积材料；传递室，连接到第一室至第三室，所述传递室将沉积主体传递到第一室至第三室中的至少一个；控制单元，将沉积主体从传递室运输到第一室至第三室中的至少一个。
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公开(公告)号：CN101880865A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010170313.3
申请日：2010-05-04
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , B05D1/02 , B05D1/60 , B05D3/0493 , C23C14/243 , C23C14/56 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统，其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程，使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少，从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括：室，其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域；有机材料沉积源，被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内，以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上；以及第一传送单元，用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。
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公开(公告)号：CN101880865B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010170313.3
申请日：2010-05-04
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , B05D1/02 , B05D1/60 , B05D3/0493 , C23C14/243 , C23C14/56 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统，其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程，使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少，从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括：室，其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域；有机材料沉积源，被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内，以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上；以及第一传送单元，用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。
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