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公开(公告)号：CN101880865A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010170313.3
申请日：2010-05-04
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , B05D1/02 , B05D1/60 , B05D3/0493 , C23C14/243 , C23C14/56 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统，其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程，使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少，从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括：室，其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域；有机材料沉积源，被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内，以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上；以及第一传送单元，用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。
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公开(公告)号：CN100564577C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200610002583.7
申请日：2006-01-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/24 , C23C14/54 , H01L21/677
Abstract: 一种用于以高速传送垂直托盘的装置，该装置能够感知该托盘的进入和卸下。该装置包括传送单元，该传送单元具有由驱动源驱动以形成传送路径的滑轮。这些滑轮与固定部件接触，该固定部件被附着到固定到托盘上的基板和罩板的底边上。该装置还包括传感单元，该传感单元具有安装在该传送路径下以探测托盘的进入和卸下的传感器。该装置还可以包括被布置以与托盘上部两侧接触的辊子，并且这些辊子可以与嵌入沿着传送路径的导轨的运动部件连接，以便当托盘经过两个辊子之间时，辊子能够平移。这些沿托盘两侧的辊子可以对称布置或者以锯齿形交替布置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101880865B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010170313.3
申请日：2010-05-04
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , B05D1/02 , B05D1/60 , B05D3/0493 , C23C14/243 , C23C14/56 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统，其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程，使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少，从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括：室，其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域；有机材料沉积源，被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内，以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上；以及第一传送单元，用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。
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公开(公告)号：CN1800433B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200610000350.3
申请日：2006-01-06
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Inventor： 黄珉婷
Abstract: 沉积系统及其控制方法利用噪声消除器消除在测量沉积率的过程中产生的噪声的影响，以精确地控制沉积率，并获得理想厚度的薄膜。沉积系统包括沉积设备。沉积率传感器测量沉积设备的沉积率。噪声消除器消除所测量的沉积率的噪声成分。能量供给单元根据噪声消除器的输出调整提供给沉积设备的能量。
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公开(公告)号：CN101906608A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010193925.4
申请日：2010-06-01
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C16/54 , C23C14/568
Abstract: 本发明涉及一种包括多个反应室的沉积设备及控制该沉积设备的方法。该沉积设备包括：第一室，在沉积主体上沉积第一沉积材料；第二室，在沉积主体上沉积不同的第二沉积材料；第三室，在沉积主体上沉积第一沉积材料；传递室，连接到第一室至第三室，所述传递室将沉积主体传递到第一室至第三室中的至少一个；控制单元，将沉积主体从传递室运输到第一室至第三室中的至少一个。
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公开(公告)号：CN1800434B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610000374.9
申请日：2006-01-06
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Abstract: 本发明提供了一种用于控制喷射器的方法。在控制沉积系统中的包括熔罐、引导通路和喷射喷嘴的喷射器的方法中，加热引导通路和喷射喷嘴。在加热引导通路和喷射喷嘴后加热熔罐。此外，在冷却包括熔罐、引导通路和喷射喷嘴的喷射器中，冷却熔罐。在冷却熔罐后，冷却引导通路和喷射喷嘴。这种方法的优点在于通过防止由熔罐中蒸发的沉积材料导致喷射喷嘴形成阻塞或喷溅来提高形成在基底上的有机层的均匀性。
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公开(公告)号：CN100582294C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200610000429.6
申请日：2006-01-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/54 , C23C16/52 , H01L21/205 , H01L51/56 , G05D5/02
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/546
Abstract: 一种测量沉积材料的沉积厚度的方法，包括利用传感器测量从喷射室喷射的材料的沉积率，以及利用采用所测量的沉积率和传感器的使用时间的寿命值作为参数的转化公式计算沉积在基板上的材料的沉积厚度。
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