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公开(公告)号:CN101880865A
公开(公告)日:2010-11-10
申请号:CN201010170313.3
申请日:2010-05-04
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , B05D1/02 , B05D1/60 , B05D3/0493 , C23C14/243 , C23C14/56 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统,其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程,使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少,从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括:室,其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域;有机材料沉积源,被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内,以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上;以及第一传送单元,用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。
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公开(公告)号:CN100505192C
公开(公告)日:2009-06-24
申请号:CN200610156657.2
申请日:2006-12-29
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Inventor: 车裕敏
CPC classification number: B23K26/244 , B23K26/206 , B23K26/324 , B23K2101/40 , H01L27/3244 , H01L51/5246 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种熔接密封设备和利用该设备的方法,所述熔接密封设备能够仅对基底的玻璃料部分照射红外线。所述设备包括:第一室;第二室,位于第一室中;灯,位于第二室中;台,位于第一室外部以容纳和固定第一母基底和第二母基底;发射部分,形成在第一室和第二室中并设置为向台引导由灯供给的热。所述设备还包括位于基底上方的掩模,所述掩模包括位于包含玻璃料的区域上方的一个或多个透射部分以及位于其它区域上的一个或多个阻断部分。
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公开(公告)号:CN101033111B
公开(公告)日:2010-12-15
申请号:CN200710008214.3
申请日:2007-01-25
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: B23K26/0876 , B23K26/067 , B23K26/0676
Abstract: 一种激光辐射设备包括多个激光头,激光从其中被辐射出,激光头的排列间隔可被调节,并且激光头自由地移动以沿着目标的外形辐射激光。激光振荡器用于振荡激光。多个激光头用于直线地辐射被所述激光振荡器振荡的激光。第一驱动装置用于调节所述激光头的排列间隔,并且沿着X方向移动所述激光头。第二驱动装置用于沿着不同于X方向的Y方向移动所述激光头。
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公开(公告)号:CN101906608A
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN201010193925.4
申请日:2010-06-01
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C16/54 , C23C14/568
Abstract: 本发明涉及一种包括多个反应室的沉积设备及控制该沉积设备的方法。该沉积设备包括:第一室,在沉积主体上沉积第一沉积材料;第二室,在沉积主体上沉积不同的第二沉积材料;第三室,在沉积主体上沉积第一沉积材料;传递室,连接到第一室至第三室,所述传递室将沉积主体传递到第一室至第三室中的至少一个;控制单元,将沉积主体从传递室运输到第一室至第三室中的至少一个。
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公开(公告)号:CN100481322C
公开(公告)日:2009-04-22
申请号:CN200610162739.8
申请日:2006-09-11
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: B32B37/10 , B32B37/1009 , B32B2457/206 , H01L21/187 , H01L21/50 , H01L51/524 , H01L51/5243 , H01L51/5259 , H01L51/56 , H01L2924/3025
Abstract: 本发明公开了一种基板粘结设备和基板粘结方法,当粘结上基板和下基板时,该基板粘结设备和基板粘结方法根据上基板和下基板的尺寸来施加压力。该设备包括:上按压单元,其具有用以按压上基板的上板和用以驱动所述上板以按压所述上基板的第一按压器;以及设置在上按压单元下面的下按压单元,其具有用以支撑并按压下基板以将其固定到上基板的下板、和用以驱动所述下板以按压所述下基板的第二按压器。该设备可用于粘结各种尺寸基板,例如,当粘结相对大尺寸的基板时,向上按压下基板,而上基板不会下垂,当粘结相对小尺寸的基板时,使用气体按压上基板。
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公开(公告)号:CN101880865B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201010170313.3
申请日:2010-05-04
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , B05D1/02 , B05D1/60 , B05D3/0493 , C23C14/243 , C23C14/56 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统,其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程,使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少,从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括:室,其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域;有机材料沉积源,被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内,以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上;以及第一传送单元,用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。
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