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公开(公告)号:CN105061454A
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201510477325.3
申请日:2012-06-14
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C07D493/18 , C07D307/93 , C07D307/77
Abstract: 通过具有硼氢化反应工序和酸处理工序的方法,能够以高收率制造杂质少的醇化合物,上述硼氢化反应工序是在溶剂中使式(C)表示的化合物与选自乙硼烷和硼烷配位化合物中的硼化剂反应而得到反应液,上述酸处理工序是将该反应液进行过氧化氢处理后,加入酸而使得pH为0.5~4。式中,A1~A6各自独立地表示氢原子、甲基、或乙基,X表示氧原子、硫原子、亚甲基、或亚乙基。
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公开(公告)号:CN104231154A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201410260961.6
申请日:2014-06-12
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C08F220/32 , C08F220/18 , C08F220/34 , G03F7/004
CPC classification number: C08F220/18 , C08F220/28 , C08F220/42 , C08F2220/283 , G03F7/0233 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂用共聚物,使用该抗蚀剂用共聚物时,灵敏度良好,形成的抗蚀剂图案的形状良好,抗蚀剂图案作为掩膜进行干蚀刻时的耐干蚀刻性良好,能够控制对基板进行干蚀刻加工时形成的图案的表面粗糙度。该抗蚀剂用共聚物具有基于具有金刚烷环等的环烃基、及与该环烃基键合的2个以上氰基的(甲基)丙烯酸酯衍生物的结构单元(1)、具有内酯骨架和桥环结构的结构单元(2)和具有酸离去基团的结构单元(3)。
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公开(公告)号:CN101001912B
公开(公告)日:2010-11-17
申请号:CN200580023102.4
申请日:2005-09-09
Applicant: 三菱丽阳株式会社
CPC classification number: C09D7/70 , B29C39/006 , B29C39/26 , B29C39/42 , B82Y30/00 , C08K3/041 , C09D5/24 , C09D133/14 , C08L2666/04 , C08L33/14 , C08L33/20
Abstract: 本发明提供一种含纳米物质组合物,该组合物由于含有纳米物质(a)、具有极性基团的(甲基)丙烯酸系聚合物(b)、及溶剂(c)或聚合性单体(i-1),所以不会损害纳米物质自身的特性,能够分散或溶解于有机溶剂、含水有机溶剂等各种溶剂、聚合性单体中,即使长期保存纳米物质也不会分离或凝集,导电性、成膜性、成型性优异,能够以简单的方法涂布和披覆到基材上。在基材的至少一面上具有由该组合物构成的涂膜或固化膜的复合体,其涂膜显示出高的透明性,并且耐水性、耐候性及硬度优异。
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公开(公告)号:CN102472982B
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201080031212.6
申请日:2010-07-05
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: G03F7/26 , C08F220/10
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 提供不用实际制备光刻用组合物也可以评价含有光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性的方法。根据将光刻用共聚物溶解在溶剂中制备测试溶液的工序,及将所述测试溶液中的凝胶状物质分离的工序,及求出所述凝胶状物质中结构单元的组成比减去所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的差相对于所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的比例表示的组成比变化率的工序,以及所述组成比变化率,评价含有所述光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性。
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公开(公告)号:CN102472982A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201080031212.6
申请日:2010-07-05
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: G03F7/26 , C08F220/10
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 提供不用实际制备光刻用组合物也可以评价含有光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性的方法。根据将光刻用共聚物溶解在溶剂中制备测试溶液的工序,及将所述测试溶液中的凝胶状物质分离的工序,及求出所述凝胶状物质中结构单元的组成比减去所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的差相对于所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的比例表示的组成比变化率的工序,以及所述组成比变化率,评价含有所述光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性。
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公开(公告)号:CN105153186A
公开(公告)日:2015-12-16
申请号:CN201510477309.4
申请日:2012-06-14
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C07D493/18 , C07D307/89 , C07D307/00 , C07D307/88 , C08F220/18 , G03F7/039 , G03F7/00
Abstract: 通过具有硼氢化反应工序和酸处理工序的方法,能够以高收率制造杂质少的醇化合物,上述硼氢化反应工序是在溶剂中使式(C)表示的化合物与选自乙硼烷和硼烷配位化合物中的硼化剂反应而得到反应液,上述酸处理工序是将该反应液进行过氧化氢处理后,加入酸而使得pH为0.5~4。式中,A1~A6各自独立地表示氢原子、甲基、或乙基,X表示氧原子、硫原子、亚甲基、或亚乙基。
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公开(公告)号:CN102471387B
公开(公告)日:2014-10-08
申请号:CN201080031198.X
申请日:2010-07-07
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C08F2/00 , C08F220/10 , G03F7/26
CPC classification number: C08F24/00 , C08F2/00 , C08F297/026 , C08F2500/06 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/0397 , G03F7/085
Abstract: 本发明提供一种聚合物的制造方法,所述聚合物可改善共聚物中构成单元的含有比率的分散性、以及分子量的分散性,能提高在溶剂中的溶解性、以及在抗蚀剂组合物中使用时的灵敏度。所述制造方法具有聚合工序,其中,一边向反应器内滴入单体以及聚合引发剂,一边聚合2种以上单体而得到聚合物,在聚合工序的初期供给第1溶液,所述第1溶液按照第1组成含有单体。在开始供给第1溶液之后或者开始供给的同时,开始滴入第2溶液,所述第2溶液按照第2组成含有单体。第2组成与计划得到的聚合物的目标组成相同,第1组成是考虑到目标组成和聚合中使用的各单体的反应性预先求出的组成。另外,在聚合工程的初期加大聚合引发剂的滴入速度。
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公开(公告)号:CN104487484A
公开(公告)日:2015-04-01
申请号:CN201380034210.6
申请日:2013-06-25
Applicant: 三菱丽阳株式会社
CPC classification number: B01J41/12 , B01J39/18 , C08G63/6856 , C08G63/916
Abstract: 本发明的高分子化合物的制造方法包括下述工序(a)、(b)。工序(a):在酸催化剂或碱催化剂的存在下得到高分子化合物的工序。工序(b):使工序(a)所得到的含有高分子化合物的溶液接触阴离子交换树脂和阳离子交换树脂的混合树脂的工序。
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公开(公告)号:CN103619850A
公开(公告)日:2014-03-05
申请号:CN201280028977.3
申请日:2012-06-14
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C07D493/18
CPC classification number: G03F7/004 , C07D307/93 , C07D493/08 , C07D493/18 , G03F7/0041 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/20 , G03F7/38 , C07C33/12 , C07C33/14 , C07C2601/16 , C07C2602/42 , C07C2602/44 , C07D307/00 , C07D307/88 , C08F220/18 , C08F2220/285 , C08F220/34 , C08F2222/1026
Abstract: 通过具有硼氢化反应工序和酸处理工序的方法,能够以高收率制造杂质少的醇化合物,上述硼氢化反应工序是在溶剂中使式(C)表示的化合物与选自乙硼烷和硼烷配位化合物中的硼化剂反应而得到反应液,上述酸处理工序是将该反应液进行过氧化氢处理后,加入酸而使得pH为0.5~4。式中,A1~A6各自独立地表示氢原子、甲基、或乙基,X表示氧原子、硫原子、亚甲基、或亚乙基。
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公开(公告)号:CN102471387A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201080031198.X
申请日:2010-07-07
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C08F2/00 , C08F220/10 , G03F7/26
CPC classification number: C08F24/00 , C08F2/00 , C08F297/026 , C08F2500/06 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/0397 , G03F7/085
Abstract: 本发明提供一种聚合物的制造方法,所述聚合物可改善共聚物中构成单元的含有比率的分散性、以及分子量的分散性,能提高在溶剂中的溶解性、以及在抗蚀剂组合物中使用时的灵敏度。所述制造方法具有聚合工序,其中,一边向反应器内滴入单体以及聚合引发剂,一边聚合2种以上单体而得到聚合物,在聚合工序的初期供给第1溶液,所述第1溶液按照第1组成含有单体。在开始供给第1溶液之后或者开始供给的同时,开始滴入第2溶液,所述第2溶液按照第2组成含有单体。第2组成与计划得到的聚合物的目标组成相同,第1组成是考虑到目标组成和聚合中使用的各单体的反应性预先求出的组成。另外,在聚合工程的初期加大聚合引发剂的滴入速度。
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