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公开(公告)号：CN117163656A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311119911.1
申请日：2023-08-31
申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种搬运手臂及具有其的曝光机，搬运手臂包括基座组件、驱动组件、传动组件和吸附组件，驱动组件设于基座组件上；传动组件设于基座组件上，且传动组件与驱动组件传动连接；传动组件包括第一传动件和第二传动件，第一传动件和第二传动件传动连接，第一传动件设于驱动组件的输出端；吸附组件设于第二传动件上，吸附组件用于吸附基板。这样，通过设有驱动组件、传动组件和吸附组件，以让驱动组件提供驱动力并通过传动组件传递到吸附组件上，以驱动吸附组件运动到指定位置，从而让吸附组件可以吸附基板到指定位置以实现基板的快速搬运，且结构紧凑、便于维护、能够实现小型化设计。
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公开(公告)号：CN113707596A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202111004539.0
申请日：2021-08-30
申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687
摘要： 本发明公开了一种吸盘装置及具有其的基板处理设备，根据本发明实施例的吸盘装置，包括：第一平移组件、至少两个第二平移组件和至少四个吸盘组件，至少两个第二平移组件设置于第一平移组件上且在第一平移组件的驱动下可沿第一方向移动；至少四个吸盘组件两两设置于至少两个第二平移组件，设置于第二平移组件上的两个吸盘组件在第二平移组件的驱动下沿第二方向相向或相背移动，第二方向与第一方向垂直。这样，通过设有第一平移组件和第二平移组件对吸盘组件的位置进行调整，从而让四个吸盘组件所限制的吸附范围能够针对基板的尺寸进行调整，吸盘装置能够吸附多种尺寸的基板，以使吸盘装置的适用性得到提升，进而提升吸盘装置的使用性能。
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公开(公告)号：CN118295217A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410553564.1
申请日：2024-05-07
申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种单机双面曝光自动线，包括：支架、搬运装置、输送装置和翻转装置；搬运装置设于支架的两侧，且搬运装置用于搬运PCB板；输送装置设于支架上，且输送装置与搬运装置相对设置，输送装置用于输送搬运装置所搬运的PCB板到指定位置进行曝光；翻转装置设于支架上，且翻转装置用于对设于指定位置的PCB板进行翻转。通过使用输送装置将搬运装置所搬运的基板输送到指定位置进行曝光，并使用翻转装置对进行单面曝光的基板进行翻转，以让未得到曝光在翻转后能够在指定位置进行曝光，以实现对基板的双面曝光。而进行双面曝光后的基板能够通过搬运装置和输送装置运输到后续工序中，以实现单机双面曝光自动线的自动化生产使用。
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公开(公告)号：CN116101785A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202310250964.0
申请日：2023-03-10
申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
IPC分类号： B65G49/06
摘要： 本发明公开了一种移载收板机，包括输送模块、曝光模块、集板模块、移栽机模块和机器人模块，移栽机模块包括吸盘组件、安装板和底座，吸盘组件与安装板固定连接，安装板与底座可滑动地连接，且吸盘组件位于曝光模块的上方，吸盘组件用于将待曝光件吸附在曝光模块上。机器人模块设在吸盘组件的上方，机器人模块包括可伸缩的机械臂和第一吸盘，第一吸盘设在机械臂的自由端，第一吸盘用于将曝光模块上的被曝光件移动至集板模块上。根据本发明的移载收板机，减小了移载收板机的尺寸，从而减小了移载收板机的占用空间，同时有效简化了运动控制流程，可以提高移载收板机的工作效率，提高产能，降低成本。
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公开(公告)号：CN113548465B
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202110851672.3
申请日：2021-07-27
申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种吸附装置，包括：机架；第一吸附组件，第一吸附组件包括：多个第一吸附件；驱动组件，驱动组件与第一吸附组件在机架上间隔设置，驱动组件为电控驱动组件或液控驱动组件；第二吸附组件，第二吸附组件与驱动组件传动连接，以在驱动组件的驱动作用下靠近或远离第一吸附组件，第二吸附组件包括：多个第二吸附件；控制阀，控制阀设置于第一吸附组件和/或第二吸附组件，以控制第一吸附件和/或第二吸附件的开闭，控制阀为电控阀或液控阀。通过调节第二吸附组件与第一吸附组件之间的距离，以及第一吸附件和/或第二吸附件的开闭，可以使吸附装置适用于不同尺寸的电路板等板块。而且该吸附装置为自动调节，使调节更加方便和准确。
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公开(公告)号：CN113548466B
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202110853043.4
申请日：2021-07-27
申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
IPC分类号： B65G47/91
摘要： 本发明公开了一种吸附装置，包括：机架；第一吸附组件，第一吸附组件包括：多个第一吸附件；第二吸附组件，第二吸附组件在靠近或远离第一吸附组件的方向上运动，第二吸附组件包括：多个第二吸附件；锁止组件，锁止组件包括：弹性保持件、第一锁止件和第二锁止件，第一锁止件设置于第二吸附组件，第一锁止件与弹性保持件配合，以保持第一锁止件和第二锁止件的锁止状态；控制阀，控制阀设置于第一吸附组件和/或第二吸附组件，以控制第一吸附件和/或第二吸附件的开闭。调节第二吸附组件与第一吸附组件之间的距离，以及控制第一吸附件和/或第二吸附件的开闭，可以使吸附装置适用于不同尺寸的电路板等板块，吸附装置可以起到更好的吸附作用。
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公开(公告)号：CN115113492A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210808510.6
申请日：2022-07-11
申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种卷对卷曝光机和用于卷对卷曝光机的控制方法，卷对卷曝光机包括：用于提供料带的放料装置和用于卷收料带的收料装置；曝光装置，曝光装置位于放料装置与收料装置之间，曝光装置沿第一方向依次设置有对位组件、曝光机构和多个精密运动平台；曝光机构包括两个曝光组件，两个曝光组件沿与第一方向垂直的第二方向相对设置，用于在料带悬空于两个曝光组件之间时，对料带同步进行双面曝光；多个精密运动平台交替夹持料带，以沿第一方向匀速拉动料带，并根据对位孔位置信息对料带进行纠偏，以校准料带的对位孔。采用该卷对卷曝光机可以实现连续不断地对料带的双面同时进行曝光，提高曝光效率，解决曝光产品双面对位精度的问题。
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公开(公告)号：CN113548465A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110851672.3
申请日：2021-07-27
申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种吸附装置，包括：机架；第一吸附组件，第一吸附组件包括：多个第一吸附件；驱动组件，驱动组件与第一吸附组件在机架上间隔设置，驱动组件为电控驱动组件或液控驱动组件；第二吸附组件，第二吸附组件与驱动组件传动连接，以在驱动组件的驱动作用下靠近或远离第一吸附组件，第二吸附组件包括：多个第二吸附件；控制阀，控制阀设置于第一吸附组件和/或第二吸附组件，以控制第一吸附件和/或第二吸附件的开闭，控制阀为电控阀或液控阀。通过调节第二吸附组件与第一吸附组件之间的距离，以及第一吸附件和/或第二吸附件的开闭，可以使吸附装置适用于不同尺寸的电路板等板块。而且该吸附装置为自动调节，使调节更加方便和准确。
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公开(公告)号：CN118419593A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410689878.4
申请日：2024-05-30
申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于机械臂抓取的板材输送机构，包括输送组件，该输送组件包括传动轴，该传动轴的外周面的相切面形成输送面；上压滚轮组件，该上压滚轮组件为平行四边形框架，上压滚轮组件包括上压滚轮，该上压滚轮的轴线处端面与输送面垂直；板材，该板材与传动轴、上压滚轮相切。本发明通过设置的旋转伸缩气缸带动连接杆转动，连接杆带动可调节摆臂相对远离，可调节摆臂又与滚轮安装板转动连接，使得上压滚轮组件为边可转动的平行四边形框架，使得安装在滚轮安装板上的上压滚轮在旋转伸缩气缸的带动下能够远离板材后离开板材上方空间，使得吸盘能够抓取板材，也可以与纠偏轮一起挤压板材，使得板材弯曲部分贴紧纠偏轮，提高输送稳定性。
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公开(公告)号：CN113548466A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110853043.4
申请日：2021-07-27
申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
IPC分类号： B65G47/91
摘要： 本发明公开了一种吸附装置，包括：机架；第一吸附组件，第一吸附组件包括：多个第一吸附件；第二吸附组件，第二吸附组件在靠近或远离第一吸附组件的方向上运动，第二吸附组件包括：多个第二吸附件；锁止组件，锁止组件包括：弹性保持件、第一锁止件和第二锁止件，第一锁止件设置于第二吸附组件，第一锁止件与弹性保持件配合，以保持第一锁止件和第二锁止件的锁止状态；控制阀，控制阀设置于第一吸附组件和/或第二吸附组件，以控制第一吸附件和/或第二吸附件的开闭。调节第二吸附组件与第一吸附组件之间的距离，以及控制第一吸附件和/或第二吸附件的开闭，可以使吸附装置适用于不同尺寸的电路板等板块，吸附装置可以起到更好的吸附作用。
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