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公开(公告)号：CN112563103B
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN202011014963.9
申请日：2020-09-24
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，能够使自动微采样高速化。带电粒子束装置是从试样自动地制作试样片的带电粒子束装置，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置着所述试样移动；试样片移设单元，其保持并运送从所述试样分离及摘出的所述试样片；保持器固定台，其保持供移设所述试样片的试样片保持器；以及计算机，其根据学习第1信息而得到的机器学习的模型和第2信息来进行与第2对象物相关的位置的控制，其中，所述第1信息包含第1对象物的第1图像，所述第2信息包含通过所述带电粒子束的照射而取得的第2图像。
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公开(公告)号：CN110243318B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201910163613.X
申请日：2019-03-05
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B15/04
Abstract: 提供截面加工观察装置及其方法、程序以及形状测定方法，提高试样的形状的测定精度。具有：保持试样的试样台；向试样照射聚焦离子束的聚焦离子束镜筒；在与照射聚焦离子束的方向垂直的方向上向试样照射电子束的电子束镜筒；检测二次电子或反射电子的电子检测器；照射位置控制部，根据作为示出针对试样的波束的照射目标位置的信息的照射目标位置信息来控制聚焦离子束和电子束的照射位置；工序控制部，按照照射位置控制部控制的每个照射位置，对朝向试样照射聚焦离子束以使试样的截面露出的截面露出工序和向截面照射电子束而取得截面的截面像的截面像取得工序进行控制；画质校正部，对在照射位置取得的所述截面像的画质进行校正。
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公开(公告)号：CN109817502A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201811363931.2
申请日：2018-11-16
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/22 , G06T3/60 , G06T5/00 , G06T5/50 , G06T7/00
Abstract: 提供带电粒子束装置，自动地重复进行摘出试样片并将其移设于试样片保持器的动作，该试样是通过基于离子束的试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机对聚焦离子束照射光学系统进行控制，以使得在通过针保持试样片后，设定包含与试样的加工时的深度方向对应的试样片的厚度方向的底部在内的整形加工区域，对整形加工区域照射聚焦离子束而对试样片进行整形加工。
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公开(公告)号：CN106461516A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580030690.8
申请日：2015-06-29
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N1/28 , H01J37/31 , H01J37/317
CPC classification number: G01N1/44 , G01N1/28 , H01J37/31 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置(10a)，具备计算机(21)，该计算机(21)至少基于样品片保持件(P)、机针(18)以及样品片(Q)的预先获取的多个带电粒子束的图像来控制多个带电粒子束照射光学系统、机针(18)以及气体供给部(17)，以使样品片(Q)移设至预定的样品片保持件(P)的位置。
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公开(公告)号：CN110335800B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201910183164.5
申请日：2019-03-12
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/20 , H01J37/305 , G01N1/28 , G01N23/04
Abstract: 提供带电粒子束装置。自动反复进行摘出试样片而将其移设于试样片保持器的动作，其中，该试样片是通过离子束对试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机实施如下控制：在不使将试样片固定在试样保持器上的针旋转的情况下，从带电粒子束照射光学系统对附着于针的沉积膜照射带电粒子束。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109817502B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201811363931.2
申请日：2018-11-16
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/22 , G06T3/60 , G06T5/00 , G06T5/50 , G06T7/00
Abstract: 提供带电粒子束装置，自动地重复进行摘出试样片并将其移设于试样片保持器的动作，该试样是通过基于离子束的试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机对聚焦离子束照射光学系统进行控制，以使得在通过针保持试样片后，设定包含与试样的加工时的深度方向对应的试样片的厚度方向的底部在内的整形加工区域，对整形加工区域照射聚焦离子束而对试样片进行整形加工。
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公开(公告)号：CN112635277A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202010985029.5
申请日：2020-09-18
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供带电粒子束照射装置和控制方法，能够缩短观察多层试样中包含的多个观察对象层各自的物质或构造所需的时间。带电粒子束照射装置具备：会聚离子束镜筒，其对多层试样照射会聚离子束；电子束镜筒，其对多层试样照射电子束；电子检测器，其检测从多层试样产生的二次电子或反射电子；像形成部，其形成基于从电子检测器输出的信号的观察像；以及控制部，其控制会聚离子束镜筒来反复进行如下露出控制：利用会聚离子束朝向层叠方向使多层试样的截面露出，控制部在反复进行露出控制的过程中，每检测出观察对象层在多层试样的截面上露出时，控制电子束镜筒来进行如下观察控制：照射电子束而使像形成部形成多层试样的截面的观察像。
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公开(公告)号：CN112635276A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202010660895.7
申请日：2020-07-10
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供一种液体金属离子源和聚焦离子束装置，能够长期间稳定地释放离子束。该液体金属离子源(50)具备：贮存室(10)，其对形成液体金属的离子材料(M)进行保持；针状电极(20)，其表面由从贮存室供给的离子材料覆盖；引出电极(22)，其使离子材料的离子从针状电极的前端释放；射束光圈(24)，其配置于引出电极的下游侧，对离子的束径进行限制；以及真空室(30)，其对这些进行收纳并保持为真空，该液体金属离子源(50)的特征在于，进一步具有氧化性气体导入部(40)，氧化性气体导入部与真空室连通而向针状电极的周围导入氧化性气体。
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公开(公告)号：CN105910855B
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201610086197.4
申请日：2016-02-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N1/28
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动重复这样的动作：取出通过利用离子束的试样的加工而形成的试样片并使其移设到试样片保持器。该带电粒子束装置具有计算机，该计算机使用由吸收电流图像形成的模板、和从二次电子图像取得的针的前端坐标，以使针接近试样片的方式控制针驱动机构，该吸收电流图像是将带电粒子束照射到针而得到的，该二次电子图像是将带电粒子束照射到针而得到的。
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公开(公告)号：CN105910855A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610086197.4
申请日：2016-02-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N1/28
CPC classification number: G01N1/28
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动重复这样的动作：取出通过利用离子束的试样的加工而形成的试样片并使其移设到试样片保持器。该带电粒子束装置具有计算机，该计算机使用由吸收电流图像形成的模板、和从二次电子图像取得的针的前端坐标，以使针接近试样片的方式控制针驱动机构，该吸收电流图像是将带电粒子束照射到针而得到的，该二次电子图像是将带电粒子束照射到针而得到的。
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