公开(公告)号：CN108496088A

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201680080046.6

申请日：2016-05-09

申请人： 株式会社日立制作所

发明人： 木村嘉伸 ,  坂野顺一 ,  古川公久 ,  小川贵史 ,  山田廉一

IPC分类号： G01R31/26

摘要： 本发明公开了一种电力变换装置的诊断系统，该电力变换装置具备半导体装置，并进行将向主电路的主电流导通、切断的开关动作。该系统具备：触发电路，其获取开关动作的基准时间；以及延迟时间计算电路，其获取主电流的第一主电流设定值的第一时间以及第二主电流设定值的第二时间，并检测第一时间与基准时间的差的数值数据以及第二时间与基准时间的差的数值数据。

公开(公告)号：CN105453242A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201380078836.7

申请日：2013-08-14

申请人： 株式会社日立制作所

发明人： 木村嘉伸 ,  津野夏规 ,  太田洋也 ,  山田廉一 ,  滨村浩孝 ,  大野俊之 ,  冲野泰之 ,  毛利友纪

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： H01L22/12 ,  G01R31/265 ,  H01L22/20 ,  H01L22/24

摘要： 在本发明的半导体检查装置的半导体检查方法中，选择入射能量和负电位来进行控制，向晶圆的检查面扫描一次电子而检测二次电子，取得第一检查图像，通过基于预先确定的二次电子的信号量的阈值的图像处理，判别包含在第一检查图像中的宏观缺陷、层叠缺陷、基面位错和贯通位错。另外，选择入射能量和正电位来进行控制，向晶圆的检查面扫描一次电子而检测二次电子，取得第二检查图像，通过基于预先确定的二次电子的信号量的阈值的图像处理，判别包含在第二检查图像中的点形状图形的贯通螺旋位错。

公开(公告)号：CN108496088B

公开(公告)日：2020-09-25

申请号：CN201680080046.6

申请日：2016-05-09

申请人： 株式会社日立制作所

发明人： 木村嘉伸 ,  坂野顺一 ,  古川公久 ,  小川贵史 ,  山田廉一

IPC分类号： G01R31/26

摘要： 本发明公开了一种电力变换装置的诊断系统，该电力变换装置具备半导体装置，并进行将向主电路的主电流导通、切断的开关动作。该系统具备：触发电路，其获取开关动作的基准时间；以及延迟时间计算电路，其获取主电流的第一主电流设定值的第一时间以及第二主电流设定值的第二时间，并检测第一时间与基准时间的差的数值数据以及第二时间与基准时间的差的数值数据。

公开(公告)号：CN105453242B

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201380078836.7

申请日：2013-08-14

申请人： 株式会社日立制作所

发明人： 木村嘉伸 ,  津野夏规 ,  太田洋也 ,  山田廉一 ,  滨村浩孝 ,  大野俊之 ,  冲野泰之 ,  毛利友纪

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： H01L22/12 ,  G01R31/265 ,  H01L22/20 ,  H01L22/24

摘要： 在本发明的半导体检查装置的半导体检查方法中，选择入射能量和负电位来进行控制，向晶圆的检查面扫描一次电子而检测二次电子，取得第一检查图像，通过基于预先确定的二次电子的信号量的阈值的图像处理，判别包含在第一检查图像中的宏观缺陷、层叠缺陷、基面位错和贯通位错。另外，选择入射能量和正电位来进行控制，向晶圆的检查面扫描一次电子而检测二次电子，取得第二检查图像，通过基于预先确定的二次电子的信号量的阈值的图像处理，判别包含在第二检查图像中的点形状图形的贯通螺旋位错。