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公开(公告)号：CN100526130C
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200510108713.0
申请日：2005-09-28
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: B60T11/16
Abstract: 一种主缸，在抽出空气时，可经由活塞油封和周槽的槽底部的间隙以及连通槽充分地补给制动液，其结果能够以最少次数完成抽气。活塞油封(35)设于在气缸主体(15)上形成的周槽(30)内，可将与容器连通的补给路(38)和向排出路供给液压的压力室(68)之间密封，其具有：圆环状的基部(90)；内周凸缘部91，其从基部(90)的内周侧突出，与活塞(19)的外周面滑动接触；外周凸缘部(92)，其从基部(90)的外周侧突出，与气缸主体(15)的周槽(30)接触；中间突出部(93)，其从基部(90)的内周凸缘部(91)和外周凸缘部(92)之间突出到外周凸缘部(92)前方，在中间突出部(93)的前端侧形成切口槽(95)。
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公开(公告)号：CN1807163A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200610004981.2
申请日：2006-01-11
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: B60T11/16
CPC classification number: F15B7/08 , B60T11/236
Abstract: 一种主缸，其在进行空气抽出时不限制制动液的补给，而且可抑制连通槽加工的成本增加。其中，在缸主体(15)内的形成压力室的部分，在滑动内径部(30、35)的周槽(43、47)的相反侧，与滑动内径部(30、35)同轴形成直径比滑动内径部(30、35)大的大径孔部(40、41)，在滑动内径部(30、35)的上部形成将周槽(43、47)和大径孔部(40、41)连通的连通槽(94、96)，该连通槽(94、96)的深度最深的位置比所述周槽的底部靠径向外侧。由此，在空气抽出时不会限制制动液的补给，可缩短连通槽(94、96)的长度，缩短加工时间，抑制成本的增加。
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公开(公告)号：CN105453242B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201380078836.7
申请日：2013-08-14
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L22/12 , G01R31/265 , H01L22/20 , H01L22/24
Abstract: 在本发明的半导体检查装置的半导体检查方法中，选择入射能量和负电位来进行控制，向晶圆的检查面扫描一次电子而检测二次电子，取得第一检查图像，通过基于预先确定的二次电子的信号量的阈值的图像处理，判别包含在第一检查图像中的宏观缺陷、层叠缺陷、基面位错和贯通位错。另外，选择入射能量和正电位来进行控制，向晶圆的检查面扫描一次电子而检测二次电子，取得第二检查图像，通过基于预先确定的二次电子的信号量的阈值的图像处理，判别包含在第二检查图像中的点形状图形的贯通螺旋位错。
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公开(公告)号：CN1781787A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510108713.0
申请日：2005-09-28
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: B60T11/16
Abstract: 一种主缸，在抽出空气时，可经由活塞油封和周槽的槽底部的间隙以及连通槽充分地补给制动液，其结果能够以最少次数完成抽气。活塞油封(35)设于在气缸主体(15)上形成的周槽(30)内，可将与容器连通的补给路(38)和向排出路供给液压的压力室(68)之间密封，其具有：圆环状的基部(90)；内周凸缘部(91)，其从基部(90)的内周侧突出，与活塞(19)的外周面滑动接触；外周凸缘部(92)，其从基部(90)的外周侧突出，与气缸主体(15)的周槽(30)接触；中间突出部(93)，其从基部(90)的内周凸缘部(91)和外周凸缘部(92)之间突出到外周凸缘部(92)前方，在中间突出部(93)的前端侧形成切口槽(95)。
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公开(公告)号：CN101134460B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200710148369.7
申请日：2007-08-31
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: B60T11/16 , B60T11/236
CPC classification number: B60T11/16 , B60T11/232 , F15B7/08 , F15B7/10 , Y10T29/4927
Abstract: 提供一种能防止活塞密封损伤的主液压缸及其制造方法。该主液压缸具有：设置有外周能被供给动作液的活塞密封的周槽(47)、在周槽(47)内开口且从周槽(47)向液压缸本体(15)的底部侧延伸并把压力室侧与周槽(47)连通的连通槽(96)，连通槽(96)形成为其中心相对周槽(47)的中心偏心，在由周槽(47)和连通槽(96)形成的角部整个范围上沿与连通槽(96)同心的圆轨道而形成倒角部(100)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100548762C
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200610004981.2
申请日：2006-01-11
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: B60T11/16
CPC classification number: F15B7/08 , B60T11/236
Abstract: 一种主缸，其在进行空气抽出时不限制制动液的补给，而且可抑制连通槽加工的成本增加。其中，在缸主体(15)内的形成压力室的部分，在滑动内径部(30、35)的周槽(43、47)的相反侧，与滑动内径部(30、35)同轴形成直径比滑动内径部(30、35)大的大径孔部(40、41)，在滑动内径部(30、35)的上部形成将周槽(43、47)和大径孔部(40、41)连通的连通槽(94、96)，该连通槽(94、96)的深度最深的位置比所述周槽的底部靠径向外侧。由此，在空气抽出时等不会限制制动液的补给，可缩短连通槽(94、96)的长度，缩短加工时间，抑制成本的增加。
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公开(公告)号：CN101264760A
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200810083003.0
申请日：2008-03-17
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: B60T11/224
CPC classification number: B60T11/224 , B60T11/28
Abstract: 一种主缸，即使设有逆止阀装置，也可以通过精简通路构成，控制增加加工工时，提高生产性，其具有：具有大径缸部和小径缸部的阶梯形缸(15)、插入在阶梯形缸内的阶梯形活塞、将阶梯形缸内分隔成大径增压室(70)和小径液压室(61)的逆止开闭部及控制阀装置(75)，该控制阀装置的控制阀体(112)将大径增压室液压向储油室(R)侧放出，使大径增压室液压随着小径液压室液压的上升而慢慢下降；还设有具有逆止阀室(153)和逆止阀体(140)的逆止阀装置(76)，该逆止阀室分别与将大径增压室液压经由控制阀装置向储油室放出的开放通路(161)和小径液压室连通，该逆止阀体收纳在逆止阀室内，允许制动液从开放通路流向小径液压室，但阻止反方向流通。
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公开(公告)号：CN101143584A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200710167605.X
申请日：2007-08-31
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: B60T11/20
CPC classification number: F15B7/08 , B60T11/22 , B60T17/04 , Y10T29/49236 , Y10T137/7837
Abstract: 一种容易实现单向阀的组装和调整作业的主缸。在与储液箱2相连的缸本体3上设置了从储液箱2向压力室6补给工作液的补给通路。设置了绕过补给通路将压力室6和储液箱2连通的迂回通路37。在迂回通路37上设置了在压力室6的压力比储液箱2的压力低时开启的单向阀机构34。由阀壳38和盖部件32构成筒39。将阀体41和施力弹簧42收容在筒39内，构成单向阀机构34。将筒39设置在迂回通路37内的阀室33中。
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公开(公告)号：CN105453242A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201380078836.7
申请日：2013-08-14
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L22/12 , G01R31/265 , H01L22/20 , H01L22/24
Abstract: 在本发明的半导体检查装置的半导体检查方法中，选择入射能量和负电位来进行控制，向晶圆的检查面扫描一次电子而检测二次电子，取得第一检查图像，通过基于预先确定的二次电子的信号量的阈值的图像处理，判别包含在第一检查图像中的宏观缺陷、层叠缺陷、基面位错和贯通位错。另外，选择入射能量和正电位来进行控制，向晶圆的检查面扫描一次电子而检测二次电子，取得第二检查图像，通过基于预先确定的二次电子的信号量的阈值的图像处理，判别包含在第二检查图像中的点形状图形的贯通螺旋位错。
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公开(公告)号：CN101143584B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200710167605.X
申请日：2007-08-31
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: B60T11/20
CPC classification number: F15B7/08 , B60T11/22 , B60T17/04 , Y10T29/49236 , Y10T137/7837
Abstract: 一种容易实现单向阀的组装和调整作业的主缸。在与储液箱2相连的缸本体3上设置了从储液箱2向压力室6补给工作液的补给通路。设置了绕过补给通路将压力室6和储液箱2连通的迂回通路37。在迂回通路37上设置了在压力室6的压力比储液箱2的压力低时开启的单向阀机构34。由阀壳38和盖部件32构成筒39。将阀体41和施力弹簧42收容在筒39内，构成单向阀机构34。将筒39设置在迂回通路37内的阀室33中。
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