使用单片带宽窄化设备的激光组合件及检验系统

    公开(公告)号:CN106688151B

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN201580046838.7

    申请日:2015-09-22

    IPC分类号: H01S3/00

    摘要: 一种脉冲UV激光组合件包含:部分反射器或分束器,其将每一基频脉冲分割成两个子脉冲且将一个子脉冲引导到布拉格光栅的一端且将另一脉冲引导到所述布拉格光栅的另一端(或另一布拉格光栅),使得两个子脉冲都被拉伸且接收相反(正及负)频率啁啾。所述两个经拉伸子脉冲经组合以产生和频光,其具有比可由直接来自所述基频的二次谐波产生而获得的带宽窄的带宽。可直接从所述和频光或从并入所述和频光的谐波转换方案产生UV波长。所述UV激光可进一步并入其它带宽减小方案。所述脉冲UV激光可用于检验或计量系统中。

    使用单片带宽窄化设备的激光组合件及检验系统

    公开(公告)号:CN106688151A

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201580046838.7

    申请日:2015-09-22

    IPC分类号: H01S3/00

    摘要: 一种脉冲UV激光组合件包含:部分反射器或分束器,其将每一基频脉冲分割成两个子脉冲且将一个子脉冲引导到布拉格光栅的一端且将另一脉冲引导到所述布拉格光栅的另一端(或另一布拉格光栅),使得两个子脉冲都被拉伸且接收相反(正及负)频率啁啾。所述两个经拉伸子脉冲经组合以产生和频光,其具有比可由直接来自所述基频的二次谐波产生而获得的带宽窄的带宽。可直接从所述和频光或从并入所述和频光的谐波转换方案产生UV波长。所述UV激光可进一步并入其它带宽减小方案。所述脉冲UV激光可用于检验或计量系统中。