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公开(公告)号：CN110071410B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201811389243.3
申请日：2012-06-28
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 弗拉基米尔·德里宾斯基 , 勇-霍·亚历克斯·庄 , 约瑟夫·J·阿姆斯特朗 , 约翰·费尔登
Abstract: 本发明揭示一种具有高质量、稳定输出光束及长寿命高转换效率的非线性晶体的激光器。具体的，本发明揭示一种可以低温操作的锁模激光器系统，其可包含退火频率转换晶体及用以在所述低温标准操作期间维持所述晶体的退火状况的外壳。在一个实施例中，所述晶体可具有增加的长度。第一光束塑形光学器件可经配置以将来自光源的光束聚焦到位于所述晶体中或所述晶体接近处的光束腰处的椭圆形横截面。谐波分离块可将来自所述晶体的输出分成在空间上分离的不同频率的光束。在一个实施例中，所述锁模激光器系统可进一步包含第二光束塑形光学器件，其经配置以将椭圆形横截面的所要频率光束转换成具有例如圆形横截面的所要纵横比的光束。
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公开(公告)号：CN107342526A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710397661.6
申请日：2012-06-28
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 弗拉基米尔·德里宾斯基 , 勇-霍·亚历克斯·庄 , 约瑟夫·J·阿姆斯特朗 , 约翰·费尔登
CPC classification number: H01S5/0092 , C03B33/02 , C30B1/02 , C30B29/10 , C30B29/14 , C30B29/22 , C30B29/30 , C30B33/02 , G01N21/88 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N2201/06113 , G01N2201/0637 , G01N2201/068 , G02F1/353 , G02F1/3551 , G02F1/3553 , G02F1/37 , G02F2001/3505 , G02F2001/3507 , G02F2001/354 , G02F2202/20 , H01S3/0092 , H01S3/10 , H01S3/10038 , H01S3/10046 , H01S3/11
Abstract: 本发明揭示一种具有高质量、稳定输出光束及长寿命高转换效率的非线性晶体的激光器。具体的，本发明揭示一种可以低温操作的锁模激光器系统，其可包含退火频率转换晶体及用以在所述低温标准操作期间维持所述晶体的退火状况的外壳。在一个实施例中，所述晶体可具有增加的长度。第一光束塑形光学器件可经配置以将来自光源的光束聚焦到位于所述晶体中或所述晶体接近处的光束腰处的椭圆形横截面。谐波分离块可将来自所述晶体的输出分成在空间上分离的不同频率的光束。在一个实施例中，所述锁模激光器系统可进一步包含第二光束塑形光学器件，其经配置以将椭圆形横截面的所要频率光束转换成具有例如圆形横截面的所要纵横比的光束。
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公开(公告)号：CN103975272A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201280059827.9
申请日：2012-10-05
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 勇-霍·庄 , 弗拉基米尔·德里宾斯基
IPC: G02F1/35
CPC classification number: H01L21/3003 , C30B29/10 , C30B33/00 , C30B33/02 , G01N21/3563 , G01N21/59 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/3568 , G01N2021/3595 , G01N2021/8477 , G01N2021/8822 , G01N2201/06113 , H01L21/322 , H01S3/027 , H01S3/094 , H01S3/109 , H01S3/1666
Abstract: 本发明包括暴露室，其经配置以含纳具有选定氢浓度的钝化气体，所述暴露室进一步经配置以含纳供暴露于所述室内的所述钝化气体的至少一个NLO晶体；钝化气体源，其流体连接到所述暴露室，所述钝化气体源经配置以将钝化气体供应到所述暴露室的内部部分；及衬底，其经配置以将所述NLO晶体固持于所述室内，所述衬底进一步经配置以使所述NLO晶体的温度维持处于或接近选定温度，所述选定温度低于所述NLO晶体的熔化温度。
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公开(公告)号：CN107887779B
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201711153410.X
申请日：2013-05-17
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 勇-霍·亚历克斯·庄 , J·约瑟夫·阿姆斯特朗 , 弗拉基米尔·德里宾斯基 , 约翰·费尔登
Abstract: 本发明实施例涉及使用193nm激光器的固态激光器及检验系统。本发明揭示改进的激光器系统及相关联技术，其由接近1064nm的基谐波真空波长产生大约193.368nm的紫外线UV波长。优选实施例分离出至少一级的输入波长的未消耗部分且重新定向所述未消耗部分以在另一级中使用。所述改进的激光器系统及相关联技术导致比当前用于工业中的激光器更便宜、寿命更长的激光器。这些激光器系统可用易于获得、相对便宜的组件构造。
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公开(公告)号：CN107887779A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201711153410.X
申请日：2013-05-17
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 勇-霍·亚历克斯·庄 , J·约瑟夫·阿姆斯特朗 , 弗拉基米尔·德里宾斯基 , 约翰·费尔登
Abstract: 本发明实施例涉及使用193nm激光器的固态激光器及检验系统。本发明揭示改进的激光器系统及相关联技术，其由接近1064nm的基谐波真空波长产生大约193.368nm的紫外线UV波长。优选实施例分离出至少一级的输入波长的未消耗部分且重新定向所述未消耗部分以在另一级中使用。所述改进的激光器系统及相关联技术导致比当前用于工业中的激光器更便宜、寿命更长的激光器。这些激光器系统可用易于获得、相对便宜的组件构造。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107255898A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201710439378.5
申请日：2012-10-05
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 勇-霍·庄 , 弗拉基米尔·德里宾斯基
CPC classification number: H01L21/3003 , C30B29/10 , C30B33/00 , C30B33/02 , G01N21/3563 , G01N21/59 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/3568 , G01N2021/3595 , G01N2021/8477 , G01N2021/8822 , G01N2201/06113 , H01L21/322 , H01S3/027 , H01S3/094 , H01S3/109 , H01S3/1666 , G02F1/3551 , C30B33/12 , G01N21/55
Abstract: 本发明是关于非线性光学晶体的钝化。本发明的一实施例包括暴露室，其经配置以含纳具有选定氢浓度的钝化气体，所述暴露室进一步经配置以含纳供暴露于所述室内的所述钝化气体的至少一个NLO晶体；钝化气体源，其流体连接到所述暴露室，所述钝化气体源经配置以将钝化气体供应到所述暴露室的内部部分；及衬底，其经配置以将所述NLO晶体固持于所述室内，所述衬底进一步经配置以使所述NLO晶体的温度维持处于或接近选定温度，所述选定温度低于所述NLO晶体的熔化温度。
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公开(公告)号：CN103782458B
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201280044059.X
申请日：2012-06-28
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 弗拉基米尔·德里宾斯基 , 勇-霍·亚历克斯·庄 , 约瑟夫·J·阿姆斯特朗 , 约翰·费尔登
CPC classification number: H01S5/0092 , C03B33/02 , C30B1/02 , C30B29/10 , C30B29/14 , C30B29/22 , C30B29/30 , C30B33/02 , G01N21/88 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N2201/06113 , G01N2201/0637 , G01N2201/068 , G02F1/353 , G02F1/3551 , G02F1/3553 , G02F1/37 , G02F2001/3505 , G02F2001/3507 , G02F2001/354 , G02F2202/20 , H01S3/0092 , H01S3/10 , H01S3/10038 , H01S3/10046 , H01S3/11
Abstract: 本发明揭示一种可以低温操作的锁模激光器系统，其可包含退火频率转换晶体及用以在所述低温标准操作期间维持所述晶体的退火状况的外壳。在一个实施例中，所述晶体可具有增加的长度。第一光束塑形光学器件可经配置以将来自光源的光束聚焦到位于所述晶体中或所述晶体接近处的光束腰处的椭圆形横截面。谐波分离块可将来自所述晶体的输出分成在空间上分离的不同频率的光束。在一个实施例中，所述锁模激光器系统可进一步包含第二光束塑形光学器件，其经配置以将椭圆形横截面的所要频率光束转换成具有例如圆形横截面的所要纵横比的光束。
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公开(公告)号：CN104488146A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201380037266.7
申请日：2013-05-17
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 勇-霍·亚历克斯·庄 , J·约瑟夫·阿姆斯特朗 , 弗拉基米尔·德里宾斯基 , 约翰·费尔登
IPC: H01S3/00
CPC classification number: H01S3/0092 , G01N21/8806 , G01N21/956 , G01N2021/95676 , G02F1/353 , G02F2001/3507 , G02F2001/354 , H01S3/1611 , H01S3/2308 , H01S3/2383
Abstract: 本发明揭示改进的激光器系统及相关联技术，其由接近1064nm的基谐波真空波长产生大约193.368nm的紫外线UV波长。优选实施例分离出至少一级的输入波长的未消耗部分且重新定向所述未消耗部分以在另一级中使用。所述改进的激光器系统及相关联技术导致比当前用于工业中的激光器更便宜、寿命更长的激光器。这些激光器系统可用易于获得、相对便宜的组件构造。
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公开(公告)号：CN109898140B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201910013932.2
申请日：2014-04-10
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 弗拉基米尔·德里宾斯基 , 勇-霍·亚历克斯·庄
Abstract: 本申请涉及非线性光学晶体的钝化。供在检查工具中使用的非线性光学晶体的钝化包含：在存在氟、氟化物离子及含氟化物化合物中的至少一者的情况下生长非线性光学晶体；机械地制备所述非线性光学晶体；对所述非线性光学晶体执行退火过程；及将所述非线性光学晶体暴露于含氢或含氘钝化气体。
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公开(公告)号：CN109898140A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910013932.2
申请日：2014-04-10
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 弗拉基米尔·德里宾斯基 , 勇-霍·亚历克斯·庄
Abstract: 本申请涉及非线性光学晶体的钝化。供在检查工具中使用的非线性光学晶体的钝化包含：在存在氟、氟化物离子及含氟化物化合物中的至少一者的情况下生长非线性光学晶体；机械地制备所述非线性光学晶体；对所述非线性光学晶体执行退火过程；及将所述非线性光学晶体暴露于含氢或含氘钝化气体。
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