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公开(公告)号：CN108368214A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680071738.4
申请日：2016-11-17
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 提供显影性、耐热性及耐干蚀刻性优异的酚醛清漆型树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物及抗蚀膜。一种酚醛清漆型树脂，其特征在于，具有下述结构式(1)或(2)[式中，Ar表示亚芳基。R1各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、卤素原子中的任意者，m各自独立地为1～3的整数。X为氢原子、叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者。]所示的结构部位作为重复单元，树脂中存在的X中的至少一个为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者。
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公开(公告)号：CN105555820B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201480051789.1
申请日：2014-09-11
Applicant: DIC株式会社
CPC classification number: C08G8/28 , C08G8/36 , C08L61/14 , C09D161/14 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/0758
Abstract: 本发明的目的在于提供光灵敏度、分辨率、碱显影性高且耐热性、耐吸湿性也优异的、适于感光性组合物和抗蚀材料的改性羟基萘酚醛清漆树脂，提供一种改性羟基萘酚醛清漆树脂，其以下述结构式(1)所示的结构部位(I)(式中，R1为氢原子、叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者，m为1或2。R2各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任意者。)作为重复单元，树脂中存在的R1中的至少一个为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基。
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公开(公告)号：CN107531858B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201680025670.6
申请日：2016-04-21
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 本发明提供显影性、耐热性和基板追随性优异的酚醛清漆型含酚性羟基树脂以及抗蚀膜。一种酚醛清漆型含酚性羟基树脂，其特征在于，其是以下述结构式(1)[式中，Ar为下述结构式(Ar‑1)或(Ar‑2)所示的结构部位]所示的含酚性羟基化合物(A)、下述结构式(2)[式中，R3为碳原子数4～20的脂肪族烃基，j为1～3的整数]所示的含酚性羟基化合物(B)以及醛化合物(C)为必要反应成分的缩聚物。
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公开(公告)号：CN105392765B
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201480041092.6
申请日：2014-06-12
Applicant: DIC株式会社
CPC classification number: C08G8/20 , C07C39/17 , C07C2603/92 , C08G8/04 , C09D161/12 , G03F7/004 , G03F7/0226 , G03F7/0236 , G03F7/094 , G03F7/11
Abstract: 本发明提供耐热性优异的含酚羟基的化合物；耐热分解性、感光度以及分辨率优异的抗蚀剂用组合物；以及耐热分解性和干蚀刻耐性优异的抗蚀剂下层膜用组合物。一种含酚羟基的化合物，其特征在于，具有下述结构式(1)表示的分子结构。(式中，R1为氢原子、烷基或芳基，n为2～10的整数。R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任一种，m为0～4的整数。m为2以上时，多个R2任选各自相同或不同，并任选与萘骨架的2个芳香环之中的任意一个键合)。
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公开(公告)号：CN107001550A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580064208.2
申请日：2015-10-08
Applicant: DIC株式会社
CPC classification number: C08G8/20 , C07C39/15 , C08G8/04 , C08L61/12 , C08L2205/025 , C09D161/12 , G03F7/0236 , G03F7/039
Abstract: 提供耐热性优异、且对g射线、h射线及i射线的曝光波长的吸光度低、高灵敏度的感光性组合物、抗蚀材料、其涂膜、及适合于这些用途的酚醛清漆型酚醛树脂及其制造方法。具体而言，提供一种酚醛清漆型酚醛树脂，其特征在于，其是使酚系三核体化合物(A)与甲醛在酸催化剂下进行反应而得到的，所述酚系三核体化合物(A)包含通过二烷基取代苯酚与含羟基芳香族醛的缩合反应得到的酚系三核体化合物(A1)、以及通过在2,3位、2,5位、3,4位、或3,5位的位置具有烷基的二烷基取代苯酚与不具有羟基的芳香族醛的缩合反应得到的酚系三核体化合物(A2)，并且前述酚系三核体化合物(A1)与前述酚系三核体化合物(A2)的摩尔比为20：80～90：10。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106068292B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201580012715.1
申请日：2015-02-26
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种耐热性、透明性及透光性优异的酚醛清漆型含酚羟基树脂，提供一种酚醛清漆型含酚羟基树脂，其具有下述结构式(1)所示的结构部位作为重复单元[式(1)中，R1为氢原子、烷基、芳基中的任一者。X为下述结构式(2)所示的结构部位(α)(式(2)中，R2、R3为氢原子、烷基、芳基、芳烷基中的任意者，n及m为1～3的整数。n或m为2或3时，分子中存在的多个R2、R3可以各自相同也可以不同。Ar为苯基、萘基、蒽基、或它们的芳香核上的一个或多个氢原子被烷基、芳基、芳烷基中的任意者取代了的结构部位的任一者。)。]。
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公开(公告)号：CN109071744A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780023399.7
申请日：2017-03-23
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 提供耐热性、碱显影性、感光度、分辨率等各性能优异的酚醛清漆型树脂、含有前述酚醛清漆型树脂的感光性组合物、含有前述酚醛清漆型树脂的固化性组合物及其固化物、使用前述感光性组合物或固化性组合物而成的抗蚀剂材料。涉及将具有三(羟基芳基)次甲基的化合物(A)和醛化合物(B)作为必须反应原料的酚醛清漆型树脂、含有前述酚醛清漆型树脂的感光性组合物、含有前述酚醛清漆型树脂的固化性组合物及其固化物、使用前述感光性组合物或固化性组合物而成的抗蚀剂材料。
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公开(公告)号：CN107848926A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680043080.6
申请日：2016-07-21
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 提供显影性、耐热性及耐干蚀刻性优异的酚醛清漆型含酚性羟基树脂以及抗蚀膜。一种酚醛清漆型含酚性羟基树脂，其特征在于，其具有下述结构式(1)[式中，Ar表示亚芳基。R1各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任意者，m各自独立地为1～3的整数。]所示的结构部位(I)或下述结构式(2)[式中，Ar表示亚芳基。R1各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任意者，m各自独立地为1～3的整数。]所示的结构部位(II)作为重复单元。
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公开(公告)号：CN105392765A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201480041092.6
申请日：2014-06-12
Applicant: DIC株式会社
CPC classification number: C08G8/20 , C07C39/17 , C07C2603/92 , C08G8/04 , C09D161/12 , G03F7/004 , G03F7/0226 , G03F7/0236 , G03F7/094 , G03F7/11
Abstract: 本发明提供耐热性优异的含酚羟基的化合物；耐热分解性、感光度以及分辨率优异的抗蚀剂用组合物；以及耐热分解性和干蚀刻耐性优异的抗蚀剂下层膜用组合物。一种含酚羟基的化合物，其特征在于，具有下述结构式(1)表示的分子结构。(式中，R1为氢原子、烷基或芳基，n为2～10的整数。R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任一种，m为0～4的整数。m为2以上时，多个R2任选各自相同或不同，并任选与萘骨架的2个芳香环之中的任意一个键合)。
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公开(公告)号：CN107848926B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201680043080.6
申请日：2016-07-21
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 提供显影性、耐热性及耐干蚀刻性优异的酚醛清漆型含酚性羟基树脂以及抗蚀膜。一种酚醛清漆型含酚性羟基树脂，其特征在于，其具有下述结构式(1)[式中，Ar表示亚芳基。R1各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任意者，m各自独立地为1～3的整数。]所示的结构部位(I)或下述结构式(2)[式中，Ar表示亚芳基。R1各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任意者，m各自独立地为1～3的整数。]所示的结构部位(II)作为重复单元。
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