公开(公告)号：CN102484396A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080037077.6

申请日：2010-06-16

申请人： MKS仪器股份有限公司

发明人： S·纳加拉卡迪 ,  田丰 ,  D·兰姆 ,  A·拉什德 ,  S·本泽洛克 ,  I·贝斯特亚克 ,  D·孟哲 ,  J·J·苏斯 ,  J·E·安布罗西纳

IPC分类号： H02J17/00

CPC分类号： H03K5/01 ,  H03F3/189 ,  H03F3/217 ,  H03F2200/105 ,  H03F2200/375 ,  H03F2200/387 ,  H03G3/3047

摘要： 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。

公开(公告)号：CN102484396B

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201080037077.6

申请日：2010-06-16

申请人： MKS仪器股份有限公司

发明人： S·纳加拉卡迪 ,  田丰 ,  D·兰姆 ,  A·拉什德 ,  S·本泽洛克 ,  I·贝斯特亚克 ,  D·孟哲 ,  J·J·苏斯 ,  J·E·安布罗西纳

IPC分类号： H02J17/00

CPC分类号： H03K5/01 ,  H03F3/189 ,  H03F3/217 ,  H03F2200/105 ,  H03F2200/375 ,  H03F2200/387 ,  H03G3/3047

摘要： 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。