公开(公告)号：CN102484396A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080037077.6

申请日：2010-06-16

申请人： MKS仪器股份有限公司

发明人： S·纳加拉卡迪 ,  田丰 ,  D·兰姆 ,  A·拉什德 ,  S·本泽洛克 ,  I·贝斯特亚克 ,  D·孟哲 ,  J·J·苏斯 ,  J·E·安布罗西纳

IPC分类号： H02J17/00

CPC分类号： H03K5/01 ,  H03F3/189 ,  H03F3/217 ,  H03F2200/105 ,  H03F2200/375 ,  H03F2200/387 ,  H03G3/3047

摘要： 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。

公开(公告)号：CN102484396B

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201080037077.6

申请日：2010-06-16

申请人： MKS仪器股份有限公司

发明人： S·纳加拉卡迪 ,  田丰 ,  D·兰姆 ,  A·拉什德 ,  S·本泽洛克 ,  I·贝斯特亚克 ,  D·孟哲 ,  J·J·苏斯 ,  J·E·安布罗西纳

IPC分类号： H02J17/00

CPC分类号： H03K5/01 ,  H03F3/189 ,  H03F3/217 ,  H03F2200/105 ,  H03F2200/375 ,  H03F2200/387 ,  H03G3/3047

摘要： 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。

公开(公告)号：CN102365705B

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN200980158583.8

申请日：2009-04-13

申请人： MKS仪器股份有限公司

发明人： S·本泽洛克 ,  S·P·纳加拉卡迪 ,  A·考韦 ,  A·沙基 ,  J·E·安布罗西纳 ,  K·特兰 ,  陈星

IPC分类号： H01J37/32

CPC分类号： H01J37/32009 ,  H01J37/321

摘要： 描述了包括计算机程序产品的用于在活性气体发生器中激发和/或维持等离子体的方法和装置。从激发电源向等离子体激发电路提供功率。测量等离子体激发电路的预激发信号。基于测得的预激发信号与可调整的预激发控制信号之间的差异来调整提供给等离子体激发电路的功率。在经过一时段之后调整可调整的预激发控制信号。

公开(公告)号：CN102365705A

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN200980158583.8

申请日：2009-04-13

申请人： MKS仪器股份有限公司

发明人： S·本泽洛克 ,  S·P·纳加拉卡迪 ,  A·考韦 ,  A·沙基 ,  J·E·安布罗西纳 ,  K·特兰 ,  陈星

IPC分类号： H01J37/32

CPC分类号： H01J37/32009 ,  H01J37/321

摘要： 描述了包括计算机程序产品的用于在活性气体发生器中激发和/或维持等离子体的方法和装置。从激发电源向等离子体激发电路提供功率。测量等离子体激发电路的预激发信号。基于测得的预激发信号与可调整的预激发控制信号之间的差异来调整提供给等离子体激发电路的功率。在经过一时段之后调整可调整的预激发控制信号。