公开(公告)号：CN105209156B

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201480027798.7

申请日：2014-03-14

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： 陈星 ,  I·泊齐多夫 ,  田丰 ,  K·特兰 ,  D·兰姆 ,  K·W·文策尔

IPC: B01D53/32 ,  B01J12/00 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32449 ,  B01D53/323 ,  B01D53/76 ,  B01D2257/2064 ,  H01J37/32339 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/32651 ,  H01J37/32669 ,  H01J37/32844 ,  H01J37/32935 ,  H01J2237/3321 ,  H01J2237/334 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4667 ,  H05H2245/121 ,  Y02C20/30

Abstract: 提供用于减少气体的设备。该设备包含环形等离子体腔室，其具有多个进口和一个出口,和至少一个腔室壁。一个或多个磁芯相对于环形等离子体腔室设置。等离子体腔室限定环形等离子体。第二气体进口设置在环形等离子体腔室上，且设置在第一气体进口和气体出口之间并与该气体出口相距距离d,从而第一气体进口和第二气体进口之间的环形等离子体通道体积基本上由惰性气体填充，该距离d基于所需的要减少的气体的停留时间。

公开(公告)号：CN102484396A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080037077.6

申请日：2010-06-16

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·纳加拉卡迪 ,  田丰 ,  D·兰姆 ,  A·拉什德 ,  S·本泽洛克 ,  I·贝斯特亚克 ,  D·孟哲 ,  J·J·苏斯 ,  J·E·安布罗西纳

IPC: H02J17/00

CPC classification number: H03K5/01 ,  H03F3/189 ,  H03F3/217 ,  H03F2200/105 ,  H03F2200/375 ,  H03F2200/387 ,  H03G3/3047

Abstract: 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。

公开(公告)号：CN105209156A

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：CN201480027798.7

申请日：2014-03-14

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： 陈星 ,  I·泊齐多夫 ,  田丰 ,  K·特兰 ,  D·兰姆 ,  K·W·文策尔

IPC: B01D53/32 ,  B01J12/00 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32449 ,  B01D53/323 ,  B01D53/76 ,  B01D2257/2064 ,  H01J37/32339 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/32651 ,  H01J37/32669 ,  H01J37/32844 ,  H01J37/32935 ,  H01J2237/3321 ,  H01J2237/334 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4667 ,  H05H2245/121 ,  Y02C20/30

Abstract: 提供用于减少气体的设备。该设备包含环形等离子体腔室，其具有多个进口和一个出口,和至少一个腔室壁。一个或多个磁芯相对于环形等离子体腔室设置。等离子体腔室限定环形等离子体。第二气体进口设置在环形等离子体腔室上，且设置在第一气体进口和气体出口之间并与该气体出口相距距离d,从而第一气体进口和第二气体进口之间的环形等离子体通道体积基本上由惰性气体填充，该距离d基于所需的要减少的气体的停留时间。

公开(公告)号：CN102484396B

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201080037077.6

申请日：2010-06-16

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·纳加拉卡迪 ,  田丰 ,  D·兰姆 ,  A·拉什德 ,  S·本泽洛克 ,  I·贝斯特亚克 ,  D·孟哲 ,  J·J·苏斯 ,  J·E·安布罗西纳

IPC: H02J17/00

CPC classification number: H03K5/01 ,  H03F3/189 ,  H03F3/217 ,  H03F2200/105 ,  H03F2200/375 ,  H03F2200/387 ,  H03G3/3047

Abstract: 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。