-
公开(公告)号：CN101461029B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200680053351.2
申请日：2006-12-15
申请人： MKS仪器股份有限公司
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32449
摘要： 用于活化和离解气体的方法和装置，该方法包括用等离子体腔室内的等离子体产生活化气体。下游气体入口相对于等离子体腔室的出口定位，以便能使活化气体促进由气体入口引入的下游气体的离解，其中，离解的下游气体基本上不与等离子体腔室的内表面互相作用。
-
公开(公告)号：CN101461029A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200680053351.2
申请日：2006-12-15
申请人： MKS仪器股份有限公司
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32449
摘要： 用于活化和离解气体的方法和装置，该方法包括用等离子体腔室内的等离子体产生活化气体。下游气体入口相对于等离子体腔室的出口定位，以便能使活化气体促进由气体入口引入的下游气体的离解，其中，离解的下游气体基本上不与等离子体腔室的内表面互相作用。
-
公开(公告)号：CN102484396A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080037077.6
申请日：2010-06-16
申请人： MKS仪器股份有限公司
IPC分类号： H02J17/00
CPC分类号： H03K5/01 , H03F3/189 , H03F3/217 , H03F2200/105 , H03F2200/375 , H03F2200/387 , H03G3/3047
摘要： 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。
-
公开(公告)号：CN102484396B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201080037077.6
申请日：2010-06-16
申请人： MKS仪器股份有限公司
IPC分类号： H02J17/00
CPC分类号： H03K5/01 , H03F3/189 , H03F3/217 , H03F2200/105 , H03F2200/375 , H03F2200/387 , H03G3/3047
摘要： 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。
-
-
-
搜索结果
4 条记录 (耗时 0.022 秒)
