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公开(公告)号：CN101331579A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200680047252.3
申请日：2006-11-03
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32174 , H01J37/321 , H01J37/32137 , H05H1/46
Abstract: 根据第一方面，提供一种供电以在活性气体发生器中点燃等离子体的电源和方法，包括：(i)将包括谐振电感和谐振电容的串联谐振电路耦合在开关电源和变压器之间，所述变压器具有变压器主动部分和等离子体继发部分；(ii)横跨变压器主动部分提供来自谐振电容的基本谐振的AC电压，由此在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流以产生等离子体继发部分；以及(iii)一旦产生等离子体继发部分，谐振电感限制流至开关电源的电流。根据另一方面，可将双极型高电压点燃电极与感性能量耦合协同使用以帮助等离子体点燃。
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公开(公告)号：CN102484396B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201080037077.6
申请日：2010-06-16
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H02J17/00
CPC classification number: H03K5/01 , H03F3/189 , H03F3/217 , H03F2200/105 , H03F2200/375 , H03F2200/387 , H03G3/3047
Abstract: 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。
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公开(公告)号：CN1930769A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200580007898.4
申请日：2005-03-09
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H02M7/5387
CPC classification number: H02M7/53871 , H02M1/32
Abstract: 一种用于开关式电源(115)的控制电路(200)对开关式电源中的过电流条件起作用，以使其工作点到达安全条件。该控制电路检测开关式电源中的负载(102)电流的方向和大小，然后利用该检测到的信息来控制开关式电源中的有源功率开关(104a－104d)。在过电流条件下，即使所检测的信息被延迟或被严重滤波，或者来自控制电路的开关信号在到达开关时被延迟，也控制该开关以积极地将负载电流驱向零。该开关式电源的所得的工作更能抵抗反常的负载条件，并在存在瞬时短路或电弧时被维持。同时更好地保护了该开关式电源的硬件。
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公开(公告)号：CN101933225A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200880126068.7
申请日：2008-12-22
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H03F3/20 , H01J37/32082 , H01J37/32183 , H03F1/565 , H03F3/195 , H03F2200/321 , H03F2200/387 , H03F2200/391 , H03F2200/393 , H03F2200/451 , H03H7/40 , Y10T307/305
Abstract: 提供一种向动态负载(260)输送功率的系统和方法。该系统包括：提供具有基本恒定的功率开环响应的DC功率的电源(210)；用于将DC功率变换成RF功率的功率放大器(220)；用于测量与RF功率相关联的电压、电流和电压与电流向量之间的相角的传感器(240)；用于将功率放大器(220)的阻抗修改为至少基本匹配的动态负载(260)阻抗的电控阻抗匹配系统(250)；以及用于控制电控阻抗匹配系统的控制器(252)。该系统还包括：用于确定由功率放大器输送的功率的传感器校准测量模块；用于确定输送给动态负载的功率的电子匹配系统校准模块；以及用于计算电控阻抗匹配系统中消耗的功率的功耗模块。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100561848C
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200580007898.4
申请日：2005-03-09
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H02M7/5387
CPC classification number: H02M7/53871 , H02M1/32
Abstract: 一种用于开关式电源(115)的控制电路(200)对开关式电源中的过电流条件起作用，以使其工作点到达安全条件。该控制电路检测开关式电源中的负载(102)电流的方向和大小，然后利用该检测到的信息来控制开关式电源中的有源功率开关(104a-104d)。在过电流条件下，即使所检测的信息被延迟或被严重滤波，或者来自控制电路的开关信号在到达开关时被延迟，也控制该开关以积极地将负载电流驱向零。该开关式电源的所得的工作更能抵抗反常的负载条件，并在存在瞬时短路或电弧时被维持。同时更好地保护了该开关式电源的硬件。
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公开(公告)号：CN102484396A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080037077.6
申请日：2010-06-16
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H02J17/00
CPC classification number: H03K5/01 , H03F3/189 , H03F3/217 , H03F2200/105 , H03F2200/375 , H03F2200/387 , H03G3/3047
Abstract: 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。
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公开(公告)号：CN101529551B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200680056240.7
申请日：2006-10-31
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J37/32935 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H05H1/46
Abstract: 一种用于控制电源的方法和装置，用于防止由于在从1MHz和1MHz以上的频率下工作的RF等离子体处理系统中的动态负载引起的不稳定性。该装置包括：功率源(32)；从该源(32)接收功率的功率变换器(72)，该功率变换器(72)提供通过改变输入电压或开关频率中的至少一个控制的恒定输出功率；以及从功率变换器接收恒定功率的RF发生器(75)。
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公开(公告)号：CN101331579B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200680047252.3
申请日：2006-11-03
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32174 , H01J37/321 , H01J37/32137 , H05H1/46
Abstract: 根据第一方面，提供一种供电以在活性气体发生器中点燃等离子体的电源和方法，包括：(i)将包括谐振电感和谐振电容的串联谐振电路耦合在开关电源和变压器之间，所述变压器具有变压器主动部分和等离子体继发部分；(ii)横跨变压器主动部分提供来自谐振电容的基本谐振的AC电压，由此在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流以产生等离子体继发部分；以及(iii)一旦产生等离子体继发部分，谐振电感限制流至开关电源的电流。根据另一方面，可将双极型高电压点燃电极与感性能量耦合协同使用以帮助等离子体点燃。
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公开(公告)号：CN101529551A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200680056240.7
申请日：2006-10-31
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J37/32935 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H05H1/46
Abstract: 一种用于控制电源的方法和装置，用于防止由于在从1MHz和1MHz以上的频率下工作的RF等离子体处理系统中的动态负载引起的不稳定性。该装置包括：功率源(32)；从该源(32)接收功率的功率变换器(72)，该功率变换器(72)提供通过改变输入电压或开关频率中的至少一个控制的恒定输出功率；以及从功率变换器接收恒定功率的RF发生器(75)。
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