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公开(公告)号：CN105209156B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201480027798.7
申请日：2014-03-14
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J37/32449 , B01D53/323 , B01D53/76 , B01D2257/2064 , H01J37/32339 , H01J37/32357 , H01J37/32458 , H01J37/32651 , H01J37/32669 , H01J37/32844 , H01J37/32935 , H01J2237/3321 , H01J2237/334 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2245/121 , Y02C20/30
Abstract: 提供用于减少气体的设备。该设备包含环形等离子体腔室，其具有多个进口和一个出口,和至少一个腔室壁。一个或多个磁芯相对于环形等离子体腔室设置。等离子体腔室限定环形等离子体。第二气体进口设置在环形等离子体腔室上，且设置在第一气体进口和气体出口之间并与该气体出口相距距离d,从而第一气体进口和第二气体进口之间的环形等离子体通道体积基本上由惰性气体填充，该距离d基于所需的要减少的气体的停留时间。
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公开(公告)号：CN105978358A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610320044.1
申请日：2013-03-19
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90 , H02M5/458 , C01B13/11 , H02H9/02
Abstract: 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成，同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制，以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻，直至输入DC总线已被有效初始化，该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。
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公开(公告)号：CN104321273A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201380022479.2
申请日：2013-03-19
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90
Abstract: 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成，同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制，以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻，直至输入DC总线已被有效初始化，该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。
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公开(公告)号：CN104321273B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201380022479.2
申请日：2013-03-19
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: C01B13/11
CPC classification number: H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90
Abstract: 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成，同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制，以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻，直至输入DC总线已被有效初始化，该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101933225A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200880126068.7
申请日：2008-12-22
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H03F3/20 , H01J37/32082 , H01J37/32183 , H03F1/565 , H03F3/195 , H03F2200/321 , H03F2200/387 , H03F2200/391 , H03F2200/393 , H03F2200/451 , H03H7/40 , Y10T307/305
Abstract: 提供一种向动态负载(260)输送功率的系统和方法。该系统包括：提供具有基本恒定的功率开环响应的DC功率的电源(210)；用于将DC功率变换成RF功率的功率放大器(220)；用于测量与RF功率相关联的电压、电流和电压与电流向量之间的相角的传感器(240)；用于将功率放大器(220)的阻抗修改为至少基本匹配的动态负载(260)阻抗的电控阻抗匹配系统(250)；以及用于控制电控阻抗匹配系统的控制器(252)。该系统还包括：用于确定由功率放大器输送的功率的传感器校准测量模块；用于确定输送给动态负载的功率的电子匹配系统校准模块；以及用于计算电控阻抗匹配系统中消耗的功率的功耗模块。
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公开(公告)号：CN105978358B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201610320044.1
申请日：2013-03-19
Applicant: MKS仪器股份有限公司
Abstract: 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成，同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制，以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻，直至输入DC总线已被有效初始化，该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。
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公开(公告)号：CN102484396A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080037077.6
申请日：2010-06-16
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H02J17/00
CPC classification number: H03K5/01 , H03F3/189 , H03F3/217 , H03F2200/105 , H03F2200/375 , H03F2200/387 , H03G3/3047
Abstract: 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。
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公开(公告)号：CN105209156A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201480027798.7
申请日：2014-03-14
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J37/32449 , B01D53/323 , B01D53/76 , B01D2257/2064 , H01J37/32339 , H01J37/32357 , H01J37/32458 , H01J37/32651 , H01J37/32669 , H01J37/32844 , H01J37/32935 , H01J2237/3321 , H01J2237/334 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2245/121 , Y02C20/30
Abstract: 提供用于减少气体的设备。该设备包含环形等离子体腔室，其具有多个进口和一个出口,和至少一个腔室壁。一个或多个磁芯相对于环形等离子体腔室设置。等离子体腔室限定环形等离子体。第二气体进口设置在环形等离子体腔室上，且设置在第一气体进口和气体出口之间并与该气体出口相距距离d,从而第一气体进口和第二气体进口之间的环形等离子体通道体积基本上由惰性气体填充，该距离d基于所需的要减少的气体的停留时间。
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公开(公告)号：CN102484396B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201080037077.6
申请日：2010-06-16
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H02J17/00
CPC classification number: H03K5/01 , H03F3/189 , H03F3/217 , H03F2200/105 , H03F2200/375 , H03F2200/387 , H03G3/3047
Abstract: 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。
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