公开(公告)号：CN101903740B

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN200880121428.4

申请日：2008-11-10

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  S·格拉奇

IPC: G01C19/5755

CPC classification number: G01C19/5755

Abstract: 本发明涉及一种具有衬底和第一科氏元件的偏航率传感器，其中，设有用于激励所述第一科氏元件在第一方向上振动的激励装置，其中，设有用于检测所述第一科氏元件在与所述第一方向基本上垂直的第三方向上的第一偏移的第一检测装置，其特点在于，所述第一科氏元件构造为等臂梁。

公开(公告)号：CN102030302A

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN201010510986.9

申请日：2010-10-08

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  C·比尔霍夫

IPC: B81B7/02 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01P15/125

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B2201/0235 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814 ,  Y10T29/49204

Abstract: 本发明涉及一种微机械结构，设有一个具有主延伸平面的衬底和一个可相对于该衬底沿着一个平行于该主延伸平面的第一方向运动的振动质量，其中，该微机械结构具有一个与该衬底连接的第一电极结构和一个与该衬底连接的第二电极结构，其中，该振动质量具有一个反电极结构，其中，该反电极结构的第三指形电极沿着第一方向设置在该第一电极结构的第一指形电极与该第二电极结构的第二指形电极之间，该第一电极结构还借助一个设置在该微机械结构的中心区域中的第一锚定元件固定在该衬底上，该第二电极结构借助一个设置在该中心区域中的第二锚定元件锚定在该衬底上。本发明还涉及一种用于制造微机械结构的方法。

公开(公告)号：CN102016603A

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：CN200980115376.4

申请日：2009-04-01

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  L·特杰

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0817 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明涉及一种微机械结构元件，具有衬底、振动质量、第一检测装置和第二检测装置，其中，衬底具有主延伸平面，第一检测装置被设置用于检测振动质量沿着基本上平行于主延伸平面的第一方向的基本上平移的第一偏移，此外，第二检测装置被设置用于检测振动质量围绕平行于与主延伸平面基本上垂直的第二方向的第一旋转轴线的基本上旋转的第二偏移。该振动质量可以构造为等臂梁，由此可检测作为旋转的加速度。该检测可以通过电容式传感器实现。

公开(公告)号：CN102012436A

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：CN201010282277.X

申请日：2010-09-08

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  B81B3/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0831

Abstract: 一种用于感测加速度的微机械系统，包括：基底，具有第一和对置的第二杠杆臂的摆臂式质量结构以及在基底上构造的第一和第二电极，这些杠杆臂设置得与基底间隔开并且可绕一转动轴线翻转，其中，每一个电极与一个杠杆臂对置，并且，每个杠杆臂包括一个从转动轴线延伸出的区段，所述区段位于电极之间的中间空隙的上方，两个区段具有不同的质量。

公开(公告)号：CN101666647A

公开(公告)日：2010-03-10

申请号：CN200910168652.5

申请日：2009-09-02

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森

IPC: G01C19/56 ,  B81C5/00 ,  B81C1/00 ,  B81B7/02

CPC classification number: G01C25/00 ,  G01C19/5712

Abstract: 本发明涉及一种用于旋转传感器装置(150)的制造方法，该旋转传感器装置具有支架(126，130，134，162，164)、振动质量(152)和至少一个弹簧(124)，振动质量(152)与支架(126，130，134，162，164)通过所述至少一个弹簧(124)连接，其中，所述至少一个弹簧(124)如此地设计，使得能够借助驱动装置将振动质量(152)置于相对于支架(126，130，134，162，164)绕振动轴线的振动运动中，该制造方法具有以下步骤：形成具有由半导体材料和/或金属制成的第一层和由半导体材料和/或金属制成的第二层的层序，其中，第一层(108)的面向第二层(112)的边界面至少部分地被一绝缘层所覆盖；由第一层结构化出所述至少一个弹簧(124)；和由第二层结构化出振动质量(152)的至少一个能够借助驱动装置(128，130)置于绕振动轴线的振动运动中的振动质量亚单元。此外本发明还涉及一种旋转传感器装置(150)。

公开(公告)号：CN119497818A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202380052302.0

申请日：2023-05-17

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： H·韦伯 ,  J·克拉森 ,  A·朔伊尔勒 ,  V·森兹

IPC: G01L15/00 ,  G01L9/00

Abstract: 根据本发明的微机械压力传感器具有第一膜类型的至少一个膜，借助于所述膜能够检测第一压力范围内的第一压力传感器参量。为了使膜能够弯曲，第一膜构造在尤其由半导体材料制成的衬底中/上的第一空腔上方。在该衬底中/上，第二膜类型的至少一个第二膜构造在第二空腔上方，借助该第二膜能够检测第二压力范围内的第二压力传感器参量。在此，两种膜类型构型为，使得其弯曲特性分别产生在不同压力范围内求取的压力传感器参量。在此设置，不同的压力范围能够部分重叠。本发明的核心在于，通过至少一个第一膜和至少一个第二膜在至少一个横向方向上的几何延展的不同构型引起不同膜类型的膜的不同弯曲特性。此外还设置，第一膜类型的膜下方的至少一个空腔和第二膜类型的膜下方的空腔借助压力补偿通道互相连接。

公开(公告)号：CN114450248B

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202080066834.6

申请日：2020-09-04

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  J·赖因穆特 ,  L·特伯杰

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01L9/00 ,  G01L19/00 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明涉及一种用于压力和惯性传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有衬底(10)、撑开的膜片(12)和布置在所述内部容积(16)中的振动质量(14)，所述衬底具有衬底表面(10a)，所述膜片具有朝向所述衬底表面(10a)定向的膜片内侧(12a)和远离所述衬底表面(10a)指向的膜片外侧(12b)，其中，所述膜片内侧(12a)邻接于内部容积(16)，在所述内部容积中封锁有参考压力(p0)，并且其中，所述膜片(12)借助存在于其膜片外侧(12b)上的压力(p)与所述参考压力(p0)之间的压力差能够被翘曲，其中，在所述膜片内侧(10a)上突出的且伸入到所述内部容积(16)中的传感器电极(18)借助所述膜片(12)的翘曲相对于所述衬底(10)能够被调整。同样地，本发明涉及一种压力和惯性传感器设备。另外，本发明涉及一种用于制造用于压力和惯性传感器设备的微机械构件的制造方法。

公开(公告)号：CN111285325B

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN201911238508.4

申请日：2019-12-06

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明涉及一种用于调设借助于衬底和衬底罩构造的腔中的压力的方法，其中，腔是半导体系统、尤其晶片系统的部分，其中，半导体系统包括借助于衬底和衬底罩构造的另外的腔，其中，在腔中布置有微机电系统，其中，在另外的腔中布置有另外的微机电系统，其中，在衬底和/或衬底罩中布置有扩散区域，其中，方法至少包括以下扩散步骤：在扩散步骤中气体借助于扩散区域从环境扩散到腔中，其中，在扩散步骤期间，气体从环境到腔中的扩散性和/或扩散流量高于气体从环境到另外的腔中的另外的扩散性和/或另外的扩散流量，和/或，在扩散步骤期间，另外的腔至少基本上受保护以防止气体侵入到另外的腔中。

公开(公告)号：CN114076830A

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202110964922.4

申请日：2021-08-20

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： W·盖格尔 ,  I·卡达尔-内梅特 ,  J·克拉森

IPC: G01P3/38

Abstract: 要求保护一种传感器系统，所述传感器系统包括芯片布置，其中，所述芯片布置具有传感器和加速度传感器，其中，所述传感器系统具有处理器电路，其特征在于，所述处理器电路如此配置，使得求取所述传感器的一个或多个温度相关的参量和/或属性，并且借助所求取的、所述传感器的一个或多个温度相关的参量和/或属性，校正所述加速度传感器的信号的由温度梯度引起的偏移。

公开(公告)号：CN113607974A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202110478505.9

申请日：2021-04-30

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森

IPC: G01P15/18 ,  G01P15/125 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明提出了一种微机械的传感器组件、尤其是加速度传感器，其具有带有主延伸平面的基底，其中，所述传感器组件包括第一质量和第二质量，其中，所述第一和第二质量分别至少部分可运动地沿垂直方向、即垂直于所述基底的主延伸平面构造，其中，所述第一质量具有止挡结构，其特征在于，所述止挡结构沿所述垂直方向具有与所述第二质量的重叠。