一种制备P型掺杂非晶硅碳薄膜的装置

    公开(公告)号:CN103572256B

    公开(公告)日:2016-03-09

    申请号:CN201310552032.8

    申请日:2013-11-08

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明公开一种制备P型掺杂非晶硅碳薄膜的装置,包括真空腔室(1),真空腔室(1)内底部设有衬底板(5)、衬底加热器(13)与衬底挡板(14)并连接有真空泵通道(15);真空腔室(1)内顶部设有与直流电源(4)连接的钽丝(2)以及混合反应气体进气通道(10);真空腔室(1)的侧壁两侧分别设有铝磁控溅射装置(7)与碳磁控溅射装置(9)以及第一氩气通道(11)与第二氩气通道(12);钽丝(2)发热后发射电子电离出氩离子,氩离子轰击铝靶(6)与碳靶(8)溅射出铝原子与碳原子,然后进行化学气相沉积完成P型掺杂的非晶硅碳薄膜的制备;将化学气相沉积技术与磁控溅射技术相结合,掺杂效率高且掺杂均匀,能有效提高电导率。

    一种硼硅酸盐闪烁微晶玻璃的制备方法

    公开(公告)号:CN102910826B

    公开(公告)日:2015-12-16

    申请号:CN201110224156.4

    申请日:2011-08-06

    IPC分类号: C03C10/04

    摘要: 本发明公开一种以硼硅酸盐玻璃为基本组成的一种硼硅酸盐闪烁微晶玻璃的制备方法,其基本成分为:SiO230~85%,Al2O30~10%,B2O30~35%,Na2O+K2O0~10%,CaO0~10%, MgO0~5%,BaO0~10%,使用TiO2、ZrO2或P2O中的一种或几种为晶核剂。于基础玻璃成分中添加稀土元素铽(Tb)、镨(Pr)、铒(Er)、铕(Eu)中的一种或几种。本发明在保证基体本身具有优良力学和热学性能的基础上,满足了作为闪烁材料的发光性能,提高闪烁光输出,该玻璃具有良好的闪烁性能、抗辐照性能、易于大规模工业化生产,能够有效的降低制造成本,具有广阔的市场前景。

    玻璃配合料超常规投料法及其投料预热装置

    公开(公告)号:CN102653439B

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201210142746.7

    申请日:2012-05-10

    IPC分类号: C03B3/02

    CPC分类号: Y02P40/56

    摘要: 本发明涉及一种玻璃配合料超常规投料法及其投料预热装置,采用立式间断螺旋配合料预热器(3),包括外筒(3b)和内筒(3d),它们之间的环形空间为配合料通道(3c),内筒(3d)的内孔为烟气中心通道(3e);内筒(3d)外圆柱上沿轴向设有间断式螺旋铰刀(3f)与配合料通道(3c)配合,内筒(3d)下端设有齿轮圈(11),熔窑框架中设有电机(10),其输出轴上连接的齿轮(9)与齿轮圈(11)配合传动。本发明的方法是将配合料先送入立式间断螺旋配合料预热器,预热到300~500℃后流入投料机保温料斗,再由投料机推入熔窑,有利于玻璃熔化并可节约燃料11~20%。

    一种自陷光AZO薄膜玻璃的制备方法

    公开(公告)号:CN103396010B

    公开(公告)日:2015-08-12

    申请号:CN201310355833.5

    申请日:2013-08-15

    IPC分类号: C03C17/23

    摘要: 本发明提出一种自陷光AZO薄膜玻璃的制备方法,通过采用Ar与氧或Ar与水蒸气的混合等离子体,首先高速生长一层AZO薄膜,厚度为50~100nm,接着再用单独的Ar等离子体,并采用更高的离子等量,以相对此前较慢的生长速度继续生长AZO薄膜,厚度为500~600nm,如此得到的总厚度为600~700nm的AZO薄膜具有绒面的结构形貌,避免了常规AZO制绒工艺中的酸刻蚀环节,有效地降低AZO薄膜所需厚度和生产制造成本。

    一种提高玻璃强度的方法

    公开(公告)号:CN103613290B

    公开(公告)日:2015-07-08

    申请号:CN201310550254.6

    申请日:2013-11-08

    IPC分类号: C03C23/00

    摘要: 本发明公开一种提高玻璃强度的方法,包括如下步骤:a)将CO2激光器(1)发出的激光束经扩束准直器(2)得到平行光束(12);b)将平行光束(12)经半透半反镜(3)分为上光束(13)与下光束(14);c)将上光束(13)经上动态聚焦镜(4)得到上汇聚光束(15),下光束(14)经下动态聚焦镜(6)得到下汇聚光束(16);d)将上汇聚光束(15)经上振镜(5)反射得到上光斑对准待处理玻璃(9)边缘的上部,下汇聚光束(16)经下振镜(7)反射得到下光斑对准待处理玻璃(9)边缘的下部;e)调节玻璃移动台(8)的移动速率,分别处理玻璃的四个边缘,形成强度得到提高的玻璃板;将CO2激光器(1)发出的激光束分成两路,分别扫描切割后玻璃边缘的上部棱边与下部棱边,能够消除玻璃边缘的微裂纹,进而提高玻璃的强度。

    一种减少铝硅酸盐玻璃微气泡的方法

    公开(公告)号:CN103395984B

    公开(公告)日:2015-07-08

    申请号:CN201310355029.7

    申请日:2013-08-15

    IPC分类号: C03C3/087 C03C6/04

    摘要: 本发明涉及一种减少铝硅酸盐玻璃微气泡的方法,通过对玻璃配合料按照特定的粒度级配来实现最佳的熔制与均化效果,获得残存气泡数量少、气泡直径小的铝硅酸盐玻璃,满足电子信息显示用特种玻璃的使用要求。具体地说,就是控制长石、硅砂、白云石、石灰石、纯碱、芒硝等玻璃配合料的颗粒大小在特定的范围内,通过较大颗粒的原料与较小颗粒的原料之间的优化配比,实现配合料之间反应的均匀性与完全性,达到最佳的熔制效果,获得气泡数目少、气泡直径小的优质铝硅酸盐玻璃。

    薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN104465890A

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201410842463.2

    申请日:2014-12-25

    IPC分类号: H01L31/18

    CPC分类号: Y02P70/521 H01L31/0236

    摘要: 一种薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法,包括如下步骤:(1)清洗玻璃基片,后用高压N2吹干;(2)采用反应离子束技术对所述玻璃基片表面进行刻蚀,使所述玻璃基片表面具有绒面结构;并且(3)采用磁控溅射技术在所述玻璃基片表面的绒面结构上沉积450~750纳米的AZO薄膜,从而得到绒面结构的AZO薄膜。本发明开发了一种新的用于薄膜太阳能电池前电极的绒面AZO薄膜的制备方法,先采用离子束技术,对玻璃基片表面进行刻蚀处理,获得绒面结构的玻璃基片,然后在玻璃基片上以磁控溅射技术沉积具有绒面结构的AZO薄膜,避免了现有刻蚀技术中对膜层厚度的浪费,同时也避免了湿法刻蚀工艺中产生的废酸腐蚀液对环境造成的污染。

    一种在玻璃基板上沉积形成半导体薄膜的方法和装置

    公开(公告)号:CN104451552A

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201410655071.5

    申请日:2014-11-17

    IPC分类号: C23C14/24 C03C17/22

    CPC分类号: C23C14/24 C03C17/22

    摘要: 本实发明涉及一种在玻璃基板上沉积形成半导体薄膜的方法和装置。方法具体包括以下步骤:第一步,用运载气体携带半导体材料经由进料分配器均匀地分布在坩锅内底部,即进行第一级浓度分布;第二步,加热升华成气相的半导体材料同运载气体一起穿过多孔透气膜进行第二级浓度分布后,进入坩锅和致密外壳之间的空间;第三步,气相半导体材料同运载气体在坩锅和致密外壳之间的空间内完成第三级浓度分布;第四步,气相半导体材料同运载气体经致密外壳底部的出气通道进行第四级浓度分布后,沉积在表面温度比气相半导体材料温度底的所述玻璃基板的上表面上,即形成半导体薄膜。本发明显著提高了在玻璃基板上沉积形成的薄膜的厚度和质量的均匀性。