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公开(公告)号：CN111512118B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201880084368.7
申请日：2018-10-24
申请人： 应美盛股份有限公司
发明人： M·汤普森
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5719 , G01C19/5733 , G01C19/574 , G01P15/125
摘要： 一种微机电(MEMS)传感器包括位于MEMS层内并且相对于一个或多个电极定位的MEMS部件。多个检测质块位于MEMS层内并且在MEMS层内不彼此电耦合。第一检测质块和第二检测质块均相对于所述一个或多个电极中的至少一个公共电极而移动，使得可以感测每个检测质块相对于电极的相对位置。可以基于感测到的相对位置来确定感测到的参数。
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公开(公告)号：CN111964656B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202010655504.2
申请日：2020-07-09
申请人： 瑞声科技(南京)有限公司
IPC分类号： G01C19/5719
摘要： 本发明提供了一种陀螺仪，包括外部锚点结构、外层圆环结构、内层圆环结构、内层电极、外层电机以及耦合梁结构，所述耦合梁结构设置在所述外部锚点结构与所述外层圆环结构之间以及所述外层圆环结构与所述内层圆环结构之间，所述耦合梁结构用于支撑所述外层圆环结构和所述内层圆环结构振动。本发明陀螺仪整体上具有更大的刚度，更高的模态频率，更佳的抗振性能，以及更高的检测精度。
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公开(公告)号：CN110573835B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN201880027914.3
申请日：2018-04-13
申请人： 赛峰集团
发明人： 菲利普·瑟奇·克劳德·昂弗罗伊 , 文森特·拉戈
IPC分类号： G01C19/5719
摘要： 本发明涉及一种构造成结合到一惯性角度传感器内的共振器(1)，所述共振器(1)包括由机械弹簧(5)悬挂的至少一个块体，以及N对Pi(2≤i≤N)的静电弹簧(50)，所述共振器(1)限定至少四个对称轴线S1、S2、S3和S4，其特征在于：每对Pi包括两个静电弹簧(50)，每个静电弹簧都具有特定的动作轴线，这些静电弹簧(50)设置为使得它们的相应轴线形成一直角；并且，对于所述对中的一对的至少一个弹簧以及另一对的一个弹簧，由这两个弹簧形成的角度等于一预定角度。
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公开(公告)号：CN113483746B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202110861719.4
申请日：2021-07-29
申请人： 中国船舶重工集团公司第七0七研究所
IPC分类号： G01C19/5719 , G01C19/5726
摘要： 本发明涉及一种陀螺多维噪声抑制方法，包括以下步骤：步骤1、从振动场维度出发，设计疏型奇序止推槽结构，用于避免止推轴承各槽体支撑气流之间的对冲互扰；步骤2、从电磁场维度出发，设计无主磁通衰减结构，用于避免陀螺内部元件之间的近距磁交联干扰；步骤3、从热场维度出发，设计无源温度均热结构，用于降低外界环境热扰动。本发明能够在提高陀螺输出信噪比的同时，不增加系统复杂度，保证陀螺产品的可靠性不受损失。
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公开(公告)号：CN112113553B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202010967592.X
申请日：2020-09-15
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01C19/5719 , G01C19/5733
摘要： 本发明公开了一种陀螺全匹配调谐电极，将驱动模态和检测模态的调谐电极的栅结构均设置在中心质量块上，中心质量块可在驱动模态方向和检测模态方向上自由运动；所述驱动模态的调谐电极为两个，两个调谐电极的栅结构在中心质量块上对称分布且相互平行；所述检测模块的调谐电极为两个，两个调谐电极的栅结构在中心质量块上对称分布且相互平行；驱动模态的调谐电极的方向与检测模块的调谐电极的方向相互垂直。本发明的驱动模态和检测模态的调谐电极的栅结构直接设置在中心质量块上，使得中心质量块的质量占总质量的比重变大，陀螺仪的机械灵敏度会变大；而且在总面积一定的条件下，将调谐电极的栅结构放在中心质量块上能够充分利用中心质量块的空间。
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公开(公告)号：CN107850430B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN201680042151.0
申请日：2016-05-24
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： G01C19/5719
摘要： 本发明提出一种转速传感器，该转速传感器具有带有主延伸平面的衬底和至少一个相对于衬底可运动的结构，其中，该结构能够被激励而从所述结构的静止位置中以与基本上平行于所述主延伸平面的驱动方向基本上平行的运动分量振动，其中，所述转速传感器为了激励所述振动而包括至少一个被所述结构携动的梳状电极和至少一个相对于所述衬底固定的梳状电极，其中，通过所述携动的梳状电极和/或所述固定的梳状电极的电压加载能够引起所述激励，其中，所述携动的梳状电极和所述固定的梳状电极如此构造，使得能够探测由于所述转速传感器的围绕基本上垂直于所述驱动方向并且基本上垂直于所述探测方向走向的轴线的转速而以沿着基本上垂直于所述驱动方向的探测方向的力分量作用到所述结构上的力。
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公开(公告)号：CN114599935A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202080072765.X
申请日：2020-10-15
申请人： 赛峰电子与防务公司
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5656 , G01C19/574 , G01C19/5642 , G01C19/5719 , G01C19/5705
摘要： 带有振动谐振器的角度传感器，包括支承结构(100)、同心的第一质量件(1)和第二质量件(2)，以及成对(13.1、13.2、13.3)对称布置的机械弹簧(10)，这些对本身相对于彼此对称布置。每个弹簧(10)包括通过一端彼此连接的第一弹性片(11)和第二弹性片(12)，每对(13.1、13.2、13.3)弹簧(10)中的一个弹簧的第一弹性片(11)与同一对弹簧(10)中的另一个弹簧的第二弹性片(12)平行。至少一对(13.1、13.2、13.3)的四个弹性片包括两个相邻对的使其之间的角度约为45°的片(11、12)。传感器未设有静电弹簧。
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公开(公告)号：CN112762918A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011582343.5
申请日：2020-12-28
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01C19/5719 , G01C19/5726
摘要： 本发明属于数据处理技术领域，具体涉及一种集成式数字角速度陀螺仪、预测滤波方法和电子设备。本发明一种集成式数字角速度陀螺仪，包括顺次信号连接的角速度陀螺仪、DSP微型控制器和串口接口，所述DSP微型控制器包括预测滤波模块，所述预测滤波模块根据角速度陀螺仪传输的角速度信号进行处理，从串口接口输出预测滤波信号。本发明集成式数字角速度陀螺仪能够准确的对角速度数据进行滤波处理，同时能够对角加速度进行准确预测，能够大幅度提高系统控制精度。
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公开(公告)号：CN111964656A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010655504.2
申请日：2020-07-09
申请人： 瑞声科技(南京)有限公司
IPC分类号： G01C19/5719
摘要： 本发明提供了一种陀螺仪，包括外部锚点结构、外层圆环结构、内层圆环结构、内层电极、外层电机以及耦合梁结构，所述耦合梁结构设置在所述外部锚点结构与所述外层圆环结构之间以及所述外层圆环结构与所述内层圆环结构之间，所述耦合梁结构用于支撑所述外层圆环结构和所述内层圆环结构振动。本发明陀螺仪整体上具有更大的刚度，更高的模态频率，更佳的抗振性能，以及更高的检测精度。
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公开(公告)号：CN107449414B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201610357769.8
申请日：2016-05-26
申请人： 中科芯未来微电子科技成都有限公司
IPC分类号： G01C19/5719
摘要： 一种MEMS陀螺仪的闭环锁相驱动电路，包括：MEMS陀螺敏感器件(101)、跨阻放大器(102)、反相放大器(103)、低通滤波器(104)和电阻分压器，其中，所述MEMS陀螺敏感器件(101)包括检测端和静电驱动端，所述检测端输出连接反相放大器(103)，反相放大器(103)后端接低通滤波器(104)，低通滤波器(103)后端连接至电阻分压器，所述电阻分压器输出接所述静电驱动端。该驱动电路为MEMS陀螺仪驱动系统提供一种简单、实用、高性能的解决方案。
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