蒸发装置及使用该装置的燃料电池系统

    公开(公告)号:CN105377413A

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201480037701.0

    申请日:2014-07-01

    Inventor: 平川诚

    Abstract: 本发明提供一种高效率的蒸发装置,其在不降低用于从外部对水蒸气生成用的加热室内进行加热的加热力或对加热室进行绝热,由此将加热室内的加热面维持在受到莱顿弗罗斯特现象影响的高温域的状态下,能有效地避免由该莱顿弗罗斯特现象引起的水蒸气生成效率的下降。为了实现该装置,在形成于从外部被加热的管体(67)的内部中的加热室(68)内的加热面(69)附近,以与所述加热面(69)接触的状态遍及全周地配置有套筒状片材,所述套筒状片材为以金属为主体的发泡性部件(64),且由发泡镍构成。供给到套筒状片材内侧的水在通过该内侧的中途扩散浸透到周围的套筒状片材中,并在到达加热面(69)之前结束蒸发。

    6方向指向装置
    104.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103221776B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201180055611.0

    申请日:2011-09-26

    Inventor: 孙崎太

    CPC classification number: G01C19/38

    Abstract: 本发明提供一种仅利用一个驱动源就能够指向六个方向的6方向指向装置。6方向指向装置(1)设置在XYZ正交坐标系内。6方向指向装置(1)包括转轴(20)、旋转构件(21)、驱动源(3)以及引导构件(4)。转轴沿着X轴方向延伸。旋转构件(21)能够绕相对于转轴(20)倾斜αdeg的倾斜轴线旋转,并与转轴(20)相连结。旋转构件(21)具有xyz正交动坐标系。旋转构件(21)还包括球体状表面和球体状表面的绕x轴形成的轨道部(OP)。驱动源(3)使转轴(20)绕X轴旋转。引导构件(4)固定在XYZ正交坐标系中,并与轨道部(OP)相接触。轨道部(OP)具有在利用转轴(20)的旋转一边与引导构件(4)接触一边旋转时,使旋转构件(21)的y轴依次朝向绕X轴每隔60deg地彼此相交的U轴、V轴、W轴的+方向和-方向的形状。

    湿蚀刻装置和湿蚀刻方法
    107.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102473627B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201080032902.3

    申请日:2010-07-14

    Abstract: 湿蚀刻装置(1)具备:蚀刻处理槽(5),其使蚀刻药液附着于基板(10)而进行蚀刻处理;和水洗处理槽(6)及干燥处理槽(7),其与蚀刻处理槽(5)连接而连续地处理基板(10),设有除去基板(10)上的液滴的空气刀(14、15)。另外,湿蚀刻装置(1)具备:管道(9),其至少与蚀刻处理槽(5)连接,内部保持负压;和排气管(21、24),其将水洗处理槽(6)及干燥处理槽(7)连接到管道(27)。在排气管(21、24)中,设有进行排气管(21、24)的开闭的自动档板(23、26)和取入外部气体(29)的取入口(22、25)。根据该构成,当空气刀动作时,也可以将湿蚀刻装置的内部的压力保持为比外部的压力低。

    蚀刻方法
    110.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102154648A

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:CN201110032036.4

    申请日:2011-01-28

    Abstract: 本发明公开一种蚀刻方法,其含有蚀刻步骤及金属除去步骤,该蚀刻步骤从储存有含草酸的蚀刻液的储存槽,将蚀刻液供给至喷嘴体并使其吐出,来将形成有氧化铟锡膜的基板蚀刻,同时将从喷嘴体吐出的蚀刻液回收至储存槽内;而该金属除去步骤使在储存槽内所储存的蚀刻液通液至填充有钳合剂的吸附容器内,来将因蚀刻而被包含在蚀刻液中的铟离子及锡离子吸附、除去后,使其回流至储存槽内;将被储存在储存槽内的蚀刻液的铟离子浓度维持在260ppm以下。本发明能够将在蚀刻液所含有的铟离子及锡离子之中、特别是铟离子的浓度维持在适当的浓度。

Patent Agency Ranking