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公开(公告)号：CN115087903A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202180013384.9
申请日：2021-03-23
申请人： 松下知识产权经营株式会社
摘要： 本发明涉及光学反射元件以及光学反射系统。光学反射元件(100)具备：一对振子组(101)，具有以振动中心排列在假想的旋转轴(299)上的方式连结的多个音叉振子(110)；反射体(120)，配置在一对振子组(101)之间；一对支承部(130)，分别将一对振子组(101)和反射体(120)连结；和基体(140)，分别以能够振动的方式连结一对振子组(101)。
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公开(公告)号：CN108778983B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN201780017095.X
申请日：2017-03-17
申请人： 住友精密工业株式会社
摘要： 位移放大机构包括：固定部(2)；与固定部(2)连结的第一驱动器(3)及第二驱动器(4)；具有第一端部(5a)及第二端部(5b)且第一端部(5a)与第一驱动器(3)连结的第一光纤束(5)；具有第三端部(6b)及第四端部(6c)且第三端部(6b)与第二驱动器(4)连结的第二光纤束(6)；与第一光纤束(5)及第二光纤束(6)互相并排地布置而构成的并排布置部(56)连结的被驱动部件(7)。第一驱动器(3)以从第二端部(5b)侧将第一光纤束(5)拉向其延伸方向的方式进行驱动，第二驱动器(4)以从第四端部(6c)侧将第二光纤束(6)按向其延伸方向的方式进行驱动。
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公开(公告)号：CN115050712A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210635663.5
申请日：2022-06-06
申请人： 北京海创微芯科技有限公司
IPC分类号： H01L23/467 , B81B3/00 , B81C1/00
摘要： 本发明涉及芯片封装技术领域，尤其涉及一种芯片散热装置，该芯片散热装置包括：基板、第一悬臂梁、第二悬臂梁和空气通道；所述空气通道的第一开口和第二开口均设置在所述基板的上表面，所述空气通道设置在所述基板的内部；所述第一悬臂梁设置在所述第一开口上，所述第二悬臂梁设置在所述第二开口上。该芯片散热装置构建了三维芯片的散热结构，有利于散热结构和多芯片的集成，提高芯片的散热效率，在保障三维芯片中的多芯片的散热效率的条件下，不影响芯片的性能和利用率。
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公开(公告)号：CN110799890B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN201880042541.7
申请日：2018-06-18
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 致动器装置具备：支撑部；可动部；第一连结部，其以可动部能够在第一轴线周围摇动的方式在第一轴线上将可动部连结于支撑部；以及第一配线，其被设置于第一连结部上。第一配线具有由维氏硬度为50HV以上的金属材料构成的第一主体部。第一主体部包括面对第一连结部的第一表面和第一表面以外的第二表面。第二表面在垂直于第一配线的延伸方向的截面上具有曲率在整个第二表面上连续的形状。
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公开(公告)号：CN114994906A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210741004.X
申请日：2018-07-23
申请人： 浜松光子学株式会社
发明人： 櫻井直人
摘要： 本发明中的扫描装置具备：MEMS镜机构(3)，其以第1轴线(A1)为中心线使镜(3A)摆动，且以第2轴线(A2)为中心线使镜(3A)摆动；及控制部(5)，其产生用于以第1轴线(A1)为中心线使镜(3A)摆动的第1驱动信号(S1)、及用于以第2轴线(A2)为中心线使镜(3A)摆动的第2驱动信号(S2)。控制部(5)通过以与第1驱动信号(S1)中的1个周期以下的期间的第1信号要素对应的方式，重复产生构成第2驱动信号(S2)的第2信号要素，而以第1方向上的照射区域的m次(m：2以上的整数)往返及第2方向上的照射区域的1次往返彼此对应的方式产生第1驱动信号(S1)及第2驱动信号(S2)。
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公开(公告)号：CN111547675B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202010323012.3
申请日：2020-04-22
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种柔性电子器件、微结构柔性电极及其制备方法，包括柔性衬底，所述柔性衬底的上表面设置有若干分割条，每个所述分割条呈倒V形状，每个所述分割条的两侧分别设置有电极单元；每个所述分割条的顶部至所述柔性衬底上表面的距离大于所述电极单元的厚度；记每个所述分割条及其两侧的所述电极单元用于与柔性电子器件接触的区域为被覆盖区域，则每个所述分割条的两端均超出其对应的所述被覆盖区域。本发明可以使用成本较低、技术成熟且粘结性好的各向同性导电胶进行粘接，能够避免相邻电极之间的短路问题。
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公开(公告)号：CN114902092A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN201980102490.7
申请日：2019-09-25
申请人： 深圳市海谱纳米光学科技有限公司
发明人： 郭斌
摘要： 一种可调光学滤波器件，器件包括设置有第一布拉格反射器(3)的第一衬底(2)和设置有第二布拉格反射器(7)的第二衬底(8)，第一布拉格反射器(3)和第二布拉格反射器(7)的表面的外围通过键合物相互键合以在两布拉格反射器之间形成腔体，第一布拉格反射器(3)与键合物之间设置有第一电极(4)，第二布拉格反射器(7)在腔体内设置有与第一电极(4)相对的第二电极(6)。该可调光学滤波器件，体积小便于加工和组装，可以推广应用于手机、手持高光谱相机等小型高光谱光学设备上。
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公开(公告)号：CN114895454A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210475441.1
申请日：2022-04-29
申请人： 四川大学
摘要： 本发明公开了一种基于MEMS工艺的薄膜压电微变形镜，包括SOI基板、Ti粘结层、Pt下电极、PZT压电薄膜、Al顶部电极、SiO2活性层以及Al镜面，所述Ti粘结层位于SOI基板的顶部，Pt下电极位于Ti粘结层的顶部，PZT压电薄膜位于Pt下电极的顶部，Al顶部电极位于PZT压电薄膜的顶部，所述SiO2活性层位于Ti粘结层的底部，Al镜面位于SiO2活性层的底部，且SiO2活性层以及Al镜面位于SOI基板内。本发明通过设计变形镜上下电极、压电薄膜和基板等结构的材料以及尺寸参数，并选取合适的MEMS技术制备变形镜，降低制作难度与成本，实现变形镜的小型化与批量化制作；同时，制备的压电薄膜厚度足够小，能够使变形镜实现低电压驱动且具有较大行程。
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公开(公告)号：CN111417884B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN201880077358.0
申请日：2018-11-26
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 致动器装置包括：支承部；第1可动部；第2可动部；将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部；将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部；设置于第2可动部的螺旋状的线圈；产生作用于线圈的磁场的磁场产生部；设置于支承部的第1外部端子；和与线圈的内侧端部和上述第1外部端子连接的第1配线。第1配线具有：与第1外部端子连接的引出配线；和以跨越线圈的方式设置于第2可动部且与线圈的内侧端部和引出配线连接的跨接配线。跨接配线的宽度比线圈的宽度宽，跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。
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公开(公告)号：CN110945404B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN201880047747.9
申请日：2018-07-23
申请人： 浜松光子学株式会社
发明人： 櫻井直人
摘要： 本发明中的扫描装置具备：MEMS镜机构(3)，其以第1轴线(A1)为中心线使镜(3A)摆动，且以第2轴线(A2)为中心线使镜(3A)摆动；及控制部(5)，其产生用于以第1轴线(A1)为中心线使镜(3A)摆动的第1驱动信号(S1)、及用于以第2轴线(A2)为中心线使镜(3A)摆动的第2驱动信号(S2)。控制部(5)通过以与第1驱动信号(S1)中的1个周期以下的期间的第1信号要素对应的方式，重复产生构成第2驱动信号(S2)的第2信号要素，而以第1方向上的照射区域的m次(m：2以上的整数)往返及第2方向上的照射区域的1次往返彼此对应的方式产生第1驱动信号(S1)及第2驱动信号(S2)。
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