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公开(公告)号：CN118435098A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202280080543.1
申请日：2022-09-26
申请人： 松下知识产权经营株式会社
摘要： 本发明的光学反射元件具备：可动部(30)；反射面，配置在可动部(30)；框部(16、26)，在俯视下，在可动部(30)的外侧具有给定的间隙地配置，与可动部(30)连接；梁状的扭转部(14、24)，沿着转动轴(R0)延伸；连接部(15、25)，将扭转部(14、24)的一端与框部(16、26)连接；一对驱动部，与扭转部(14、24)的另一端连接；和固定部，支承一对驱动部。连接部(15、25)的刚性高于扭转部(14、24)。在扭转部(14、24)与连接部(15、25)的边界形成有至少包括一对接合面(S12)的接合面。一对接合面(S12)相对于转动轴(R0)对称，并且与扭转部(14、24)侧的转动轴(R0)的夹角分别是锐角。
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公开(公告)号：CN109119530A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810642504.1
申请日：2018-06-21
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： H01L41/18 , H01L41/083 , H01L41/314 , H01L41/316 , C30B29/16 , C30B25/02
CPC分类号： C30B29/68 , C30B23/025 , C30B29/16 , C30B29/20 , C30B29/26 , C30B29/32 , H01F41/18 , H01L41/187 , H01L41/27 , H01L41/312 , H01L41/313 , H01L41/316 , H01L41/319 , H01L41/18 , C30B25/02 , H01L41/083 , H01L41/314
摘要： 本发明提供薄膜结构体及其制造方法。在蓝宝石基板上直接地使外延氧化物薄膜生长的以往方法中，外延氧化物薄膜不具有{100}面主面，而是具有{110}或{111}面主面。本发明涉及一种制造薄膜结构体的方法，该方法具备在作为蓝宝石基板的第1基板的主面上使第1外延薄膜生长的工序。所述蓝宝石基板的主面为{11-26}面，因此所述第1外延薄膜具有{100}面主面。
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公开(公告)号：CN109119530B
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN201810642504.1
申请日：2018-06-21
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： H10N30/85 , H10N30/50 , H10N30/074 , H10N30/076 , C30B29/16 , C30B25/02
摘要： 本发明提供薄膜结构体及其制造方法。在蓝宝石基板上直接地使外延氧化物薄膜生长的以往方法中，外延氧化物薄膜不具有{100}面主面，而是具有{110}或{111}面主面。本发明涉及一种制造薄膜结构体的方法，该方法具备在作为蓝宝石基板的第1基板的主面上使第1外延薄膜生长的工序。所述蓝宝石基板的主面为{11‑26}面，因此所述第1外延薄膜具有{100}面主面。
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公开(公告)号：CN116710830A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202180090937.0
申请日：2021-11-25
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： G02B26/10
摘要： 驱动元件(1)具备：可动部(30)；驱动部(11、21)，使可动部(30)相对于转动轴(R0)转动；和连接部(13、23)，将驱动部(11、21)与固定部(12、22)连接。可动部(30)、驱动部(11、21)以及固定部(12、22)沿着转动轴(R0)并排。连接部(13、23)经由与转动轴(R0)不正交并且关于转动轴(R0)对称的至少一对接合面(S11、S21)而与固定部(12、22)连接。
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公开(公告)号：CN115087903A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202180013384.9
申请日：2021-03-23
申请人： 松下知识产权经营株式会社
摘要： 本发明涉及光学反射元件以及光学反射系统。光学反射元件(100)具备：一对振子组(101)，具有以振动中心排列在假想的旋转轴(299)上的方式连结的多个音叉振子(110)；反射体(120)，配置在一对振子组(101)之间；一对支承部(130)，分别将一对振子组(101)和反射体(120)连结；和基体(140)，分别以能够振动的方式连结一对振子组(101)。
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公开(公告)号：CN115210627A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202180016565.7
申请日：2021-03-19
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： G02B26/10
摘要： 本发明提供的光控制系统(10)具备光学反射元件(100)和控制装置(20)。光学反射元件(100)具备反射体(110)、配置在夹着反射体的位置的第一摆动部(210)及第二摆动部(220)。控制装置(20)在按照绕着第一轴在相同的方向上旋转的方式使第一摆动部(210)及第二摆动部(220)摆动时，按照在第一摆动部的第一驱动体(214)及第二驱动体(215)中分别产生厚度方向上的振动的方向变为相反的第一部位以及第二部位的方式，使第一驱动体(214)及第二驱动体(215)振动，并按照在第二摆动部(220)的第一驱动体(224)及第二驱动体(225)中分别产生厚度方向上的振动的方向变为相反的第三部位及第四部位的方式，使第一驱动体(224)及第二驱动体(225)振动。
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公开(公告)号：CN114730072B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202080079441.9
申请日：2020-10-29
申请人： 松下知识产权经营株式会社
摘要： 本公开提供一种光控制系统以及光学反射元件，提高光学反射元件的性能。光控制系统(10)具有光学反射元件(100)和控制装置(20)。光学反射元件(100)具有反射体和配置在夹着反射体的位置的第一摆动部(210)及第二摆动部(220)。第一摆动部(210)及第二摆动部(220)各自具有与反射体连结的第一连接体、均与第一连接体连结的第一振动体及第二振动体、经由第一振动体使第一连接体动作的第一驱动体、经由第二振动体使第一连接体动作的第二驱动体、相对于基体连接第一及第二振动体的第二连接体。控制装置(20)使第一摆动部(210)的第一及第二驱动体以相同的相位振动，使第二摆动部(220)的第一及第二驱动体以相同的相位且与第一摆动部(210)相反的相位振动。
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公开(公告)号：CN117062771A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202280024976.5
申请日：2022-02-18
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： B81B3/00
摘要： 驱动元件(1)具备固定部、在固定部的侧方排列并与固定部连结的驱动部、以及由驱动部驱动的可动部。在固定部和驱动部的上表面区域依次形成有下部电极(111)、压电体层(112)和上部电极(114)，此外，在上表面区域中的固定部侧的布线区域(A1)中，在压电体层(112)的上表面形成有包含形成压电体层(112)的至少1种元素的低介电层(115)。
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公开(公告)号：CN116670559A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180089054.8
申请日：2021-11-25
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： G02B26/10
摘要： 压电驱动元件(1)具备：可动部(10)；一对压电驱动部(20)，端部(20a)与可动部(10)连接，使可动部(10)至少相对于转动轴(R10)而转动；和固定部(30)，与压电驱动部(20)的端部(20b)连接。一对压电驱动部(20)夹着可动部(10)在沿着转动轴(R10)的方向并排，在俯视下，可动部(10)的宽度比一对压电驱动部(20)的宽度窄，固定部(30)在俯视下被配置于可动部(10)的外侧并且被一对压电驱动部(20)夹着的间隙区域(G)。
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公开(公告)号：CN116368421A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202180073204.6
申请日：2021-08-31
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： G02B26/10
摘要： 本发明提供一种驱动元件以及驱动装置。驱动元件(1)具备：基部(13)；可动部(30)，在与转动轴(R0)平行的方向上与基部(13)分离；第1连接部(14)以及第2连接部(15)，将基部(13)和可动部(30)连接；一对第1臂部(11a、11b)，夹着转动轴(R0)，在与转动轴(R0)平行的第1方向上延伸；一对第2臂部(12a、12b)，夹着转动轴(R0)，在与第1方向相反的第2方向上延伸；连结部(16a、16b)，将一对第1臂部(11a、11b)及一对第2臂部(12a、12b)连结于第1连接部(14)及第2连接部(15)；压电驱动体(17a、17b、27a、27b)，配置于一对第1臂部(11a、11b)以及一对第2臂部(12a、12b)的至少一者。
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