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公开(公告)号：CN1253921C
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN02123126.5
申请日：2002-05-14
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 铃木昭夫
Abstract: 本发明提供一种无电极电灯装置，包括微波发生源、通过天线供给由微波发生源产生的微波的微波空腔、配设在微波空腔内的棒状无电极电灯和聚焦由无电极电灯产生的光线的半开筒状凹面镜。其中，在棒状无电极电灯附近设有喷出用于冷却无电极电灯的冷却风的喷嘴，喷嘴从凹面镜的凹面底部延伸到无电极电灯的附近，喷嘴在棒状无电极电灯的轴方向上分布地配置多个，向着棒状无电极电灯的外周面延伸。其目的是提供一种通过提高电灯的冷却效率能增大电灯亮度的无电极电灯装置，从送风机(9)送出的风通过通风孔(12)从电灯冷却用喷嘴(15)的前端喷出口吹向无电极电灯(1)表面。在无电极电灯(1)附近冷却风的风速足够快，因此提高了电灯的冷却效率，增大了电灯的输入密度即亮度。
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公开(公告)号：CN1246940C
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN03153336.1
申请日：2003-08-07
Applicant: 株式会社ORC制作所
CPC classification number: H01S3/025 , G02F2001/354 , H01S3/005 , H01S3/0092 , H01S3/09415 , H01S3/11 , H01S3/1317
Abstract: 本发明提供一种可长时间安心使用的由非线性光学晶体进行波长变换的波长变换激光装置。从作为固体激光光源的泵激室单元3射出的基本波激光由第一非线性光学晶体单元20变换为第二高次谐波。由第二非线性光学晶体单元30变换为第三(或第四)高次谐波。在非线性光学晶体单元容器内填充干燥惰性气体，并使用湿度传感器来检测容器内的湿度。湿度传感器的输出与激光控制部连接，如果湿度超过规定值，则停止激光振荡。当密封结构部发生缺陷时，可防止损伤非线性光学晶体。
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公开(公告)号：CN1704848A
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN200510073458.0
申请日：2005-05-30
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 一种曝光装置，防止由感光树脂层所挥发的挥发物质附着于凹面镜，从而可防止凹面镜的反射率降低。该曝光装置在壳体(5)内具有光源(10)、平面镜(21、23)、复眼透镜(22)、凹面镜(24)、掩模框架(31)以及承载台(30)，所述曝光装置还具有：送风口(40)，设于该壳体(5)内并沿着凹面镜的凹面送风；设于该送风路径的空气净化过滤器(42)；以及排气孔(60)，设置于设有承载台的底板上，沿着凹面镜的凹面将送来的空气排出至壳体(5)外。并且，曝光装置(1)在经由凹面镜而与送风口相对置的壳体(5)内的壁面上具有导风板(50)，其将沿凹面镜的凹面送来的空气引导至排气孔。
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公开(公告)号：CN1518177A
公开(公告)日：2004-08-04
申请号：CN03153336.1
申请日：2003-08-07
Applicant: 株式会社ORC制作所
CPC classification number: H01S3/025 , G02F2001/354 , H01S3/005 , H01S3/0092 , H01S3/09415 , H01S3/11 , H01S3/1317
Abstract: 本发明提供一种可长时间安心使用的由非线性光学晶体进行波长变换的波长变换激光装置。从作为固体激光光源的泵激室单元3射出的基本波激光由第一非线性光学晶体单元20变换为第二高次谐波。由第二非线性光学晶体单元30变换为第三(或第四)高次谐波。在非线性光学晶体单元容器内填充干燥惰性气体，并使用湿度传感器来检测容器内的湿度。湿度传感器的输出与激光控制部连接，如果湿度超过规定值，则停止激光振荡。当密封结构部发生缺陷时，可防止损伤非线性光学晶体。
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公开(公告)号：CN1506993A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN02155400.5
申请日：2002-12-06
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供一种受激准分子灯，可防止受激准分子灯的双重管灯泡接合部由于紫外线而变脆。在受激准分子灯的有效发光部和接合部3之间的内管1和外管2的管体设有用于阻止紫外线的遮光部4。遮光部4是用于使吸收或散射紫外线的遮光材料分散的不透明石英玻璃或维科尔高硼硅酸耐热玻璃。本发明可对由于光纤效果而引起的紫外线向接合部3的集中进行抑制，并可防止在接合部3产生微裂纹。并且，在双重管灯泡的有效发光部以外的外表面上涂敷粘合材料等硬化剂5，从而可提高机械强度，并可抑制微裂纹的扩散。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1407599A
公开(公告)日：2003-04-02
申请号：CN02130129.8
申请日：2002-08-23
Applicant: 株式会社ORC制作所
CPC classification number: H01J65/044 , H05B41/24
Abstract: 通过从磁控管2发射的微波的电磁场来激发封装于无电极灯5中的发光元素使得该无电极灯5发光。提供一种软启动方法来把电功率逐渐增加到足以驱动磁控管2。该软启动方法是为了防止由于微波的反射波引起的自加热所造成的磁控管损坏，并且在无电极灯5开始发光时使用该方法。因此，所提供的无电极灯系统可以防止由于微波的反射波引起的自加热所造成的磁控管损坏。
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公开(公告)号：CN113903652B
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202110264313.8
申请日：2021-03-11
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 酒井规行
IPC: H01J61/073 , H01J61/86 , H01J61/88
Abstract: 本发明提供放电灯。对于放射i线的放电灯，能够抑制电弧的波动。在放射i线的放电灯中，在发光管(12)内将阴极(20)和阳极(30)沿着电极轴(E)偏置配置。而且，在规定了从阴极前端中心(C)以相对于电极轴(E)的最大倾斜角度(α)通过阳极(30)的缩径部(32)的外轮廓线的第1线(L1)以及将第1线(L1)与发光管(12)的内轮廓线(N)的交点作为切点(P)而与发光管内轮廓线(N)相切的第2线(L2)时，使第1线(L1)与第2线(L2)的夹角(θ)为60°以上。
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公开(公告)号：CN119472159A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202410213729.0
申请日：2024-02-27
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供中间掩模检查装置和投影曝光装置。在检查矩形的中间掩模的异物的情况下，抑制或者防止无法检查范围。一种中间掩模检查装置，其具有：照明部，其向矩形的中间掩模照射光；拍摄部，其拍摄中间掩模；以及检查部，其通过检查拍摄到的图像来检测异物，其中，照明部以中间掩模的检查面的整个面作为光的照射范围，拍摄部以检查面的整个面作为视野范围。
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公开(公告)号：CN112859532B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202011296878.6
申请日：2020-11-18
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 绿川悟
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种直接曝光装置和基板的曝光方法。能够良好地保持曝光区域的平面度，即使是焦点深度浅的曝光光学系统，也能够对可进行高分辨率的图案曝光的基板的两个面同时进行曝光。直接曝光装置具有：一对曝光单元，它们隔着基板对置配置；以及一对吸附部，它们在各曝光单元的曝光区域中吸附所述基板的与所述曝光区域相反的面。
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公开(公告)号：CN119340194A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202311403151.7
申请日：2023-10-26
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供准分子灯。在点照射型准分子灯中，朝向照射对象物有效地照射紫外线等光。准分子灯(10)具有：放电管(20)；箔电极(30)，其在放电管(20)内沿着管轴(C)延伸；外侧电极(40)，其覆盖放电管(20)的外表面；以及电介质(50)，其覆盖箔电极(30)。电介质(50)在箔电极(30)的宽度方向(Y方向)上呈扁平形。
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