一种低成本无污染单根硼氮纳米线可控生长方法

    公开(公告)号:CN104674187A

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201510101325.3

    申请日:2015-03-08

    CPC classification number: C23C16/342 C23C16/505

    Abstract: 一种低成本无污染单根硼氮纳米线可控生长方法属于无机化合物半导体材料的制备领域。本发明采用PECVD方法,未使用任何催化剂,首次在硅衬底上水平生长出了规则排列的硼氮纳米线。纳米线在Si(110)衬底上仅沿着一个方向生长;在Si(100)衬底上生长的纳米线互相垂直;在Si(111)衬底上纳米线有三个生长方向,且任意两个方向之间的夹角为60°。通过不同硅衬底表面晶体微结构特征以及电镜分析,发现纳米线总是在基底表面沿着Si 取向定向生长。TEM显示纳米线是由一系列生长进衬底里的非晶量子点组成,电子能量损失谱(EELS)表明纳米线确实由硼氮组成。本发明简单,将对推动纳米器件的制造具有重要的意义。

    一种应用于能量收集器件的无铅压电陶瓷材料及制备方法

    公开(公告)号:CN104211395A

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201410459529.X

    申请日:2014-09-10

    Abstract: 一种应用于能量收集器件的无铅压电陶瓷材料及制备方法,属于压电陶瓷材料领域。将Nb2O5与KOH混合煅烧后溶于去离子水,用硝酸滴定所得白色沉淀溶于草酸得到可溶性铌;用氨水滴定pH=10~11,获得白色沉淀;溶解于柠檬酸得溶液A;K2CO3、Na2CO3、Li2CO3溶于水形成溶液B,再把Mn(CH3COO)2溶解于溶液B中;将溶液A与B混合加热得溶胶,经干燥、热处理后得到粉体。将粉体造粒成型后,950~1050℃烧结成陶瓷体。本发明方法简单、能耗低;所制备无铅压电陶瓷材料具有较高机电转换系数,满足能量收集器件要求。

    一种栅极电介质材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN102503400B

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201110345065.6

    申请日:2011-11-04

    Abstract: 一种栅极电介质材料及其制备方法,属于电子陶瓷材料技术领域。本发明公开了一种高介电、低损耗、新型栅极电介质材料,(1-x)LaAlO3-x?BiAlO3,其中BiAlO3的固溶量是5-20%摩尔比;本发明还公布了一种高介电、低损耗、新型栅极电介质材料的制备方法,包括按(1-x)LaAlO3-x?BiAlO3的固溶量进行配料、混料、一次球磨、煅烧、二次球磨、排塑、烧结、被覆电极。利用本发明提供的方法获得的陶瓷材料,具有高于LaAlO3陶瓷材料的介电常数、低于LaAlO3陶瓷材料的介电损耗和烧结温度,所以本发明所提供的陶瓷材料可作为集成电路中新型栅极电介质材料使用。

    一种凹面转盘式单辊快淬制备非晶薄带的方法

    公开(公告)号:CN103691897A

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201310664316.6

    申请日:2013-12-09

    Abstract: 一种凹面转盘式单辊快淬制备非晶薄带的方法,属于非晶薄带制备技术领域,采用凹面转盘式单辊,凹面转盘式单辊,在圆柱的顶端向内缺失一倒立的圆锥所得单辊为凹面转盘式单辊,凹面转盘式单辊内侧表面为所述的凹面,凹面直径向内逐渐变小,即缺失的圆锥的底面在圆柱的顶端,熔体喷射在围绕圆锥中心轴旋转的凹面转盘式单辊内侧的凹面上,使熔体所受离心力的方向由圆筒式单辊的垂直于接触面向上变为与接触面有夹角并指向接触面内部,在内侧凹面边缘非晶薄带冷却自身收缩和离心力作用下自行脱离辊轮。本发明制备的薄带尺寸更薄、表面光洁度更高、性能更好。

    一种低成本低污染的氮化镓纳米线的制备生成方法

    公开(公告)号:CN102936006B

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201210410794.X

    申请日:2012-10-24

    Abstract: 一种低成本低污染的氮化镓纳米线的制备生成方法,属于无机化合物半导体材料领域。本发明步骤:(1)GaN粉体通过掺胶、研磨,压片,经过煅烧后,烧制成GaN靶;(2)将清洗烘干后的硅片在SBC-12小型离子溅射仪沉积30s-60s,得到表面有厚度为10nm-30nm金膜的衬底;(3)利用等离子体辅助热丝化学气象沉积法:在气压为1500Pa-2500Pa,衬底温度800℃-1000℃,偏压电流100mA-180m,通入氮气流速为10-50厘米3/分钟,通入氢气流速为10-50厘米3/分钟,沉积时间为5min~30min。本发明得到实心、线形氮化镓纳米线,产物形貌平直整齐、排列有序、均匀、成线性,光学、化学、物理性能稳定,制备流程短,产物生长快,直径达40-150nm,单根线平均长度为10-15μm。

    一种改进多晶硅基薄膜连续性和表面形貌的方法

    公开(公告)号:CN103280490A

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201310193772.7

    申请日:2013-05-23

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 一种改进多晶硅基薄膜连续性和表面形貌的方法,属于晶硅薄膜太阳能电池领域。首先,分别采用磁控溅射法和等离子增强型化学气相沉积法,制备铝薄膜和非晶硅薄膜,通过控制铝层/非晶硅层厚度比例在0.5-1之间,叠层薄膜总厚度在100-400nm之间,能够有效优化多晶硅薄膜的连续性。本发明中还提出了新的薄膜腐蚀工艺,与传统腐蚀工艺相比,不但可以移除退火后薄膜内的铝,还能够起到消除多晶硅薄膜表面“硅岛”结构的作用。采用本发明的方法,能够获得表面平滑且连续性良好的高质量多晶硅薄膜。

Patent Agency Ranking