公开(公告)号：CN1316281C

公开(公告)日：2007-05-16

申请号：CN200410085274.1

申请日：2004-10-18

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 宓晓宇 ,  曾根田弘光 ,  上田知史 ,  佐胁一平

IPC: G02B26/08

CPC classification number: B81B7/0006 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/0841

Abstract: 一种微镜元件，包括微镜基板、布线基板、以及置于所述两基板之间的导电衬垫。该微镜基板整体地形成有框、具有镜部的活动部分、以及将该框连接到该活动部分的扭杆。该布线基板设有布线图案。该导电衬垫将该微镜基板从该布线基板隔离，并且将该框电连接到该布线图案。该布线基板具有朝向该微镜基板的表面。在该表面上设有检测器，用于检测该镜部的旋转角，该检测器包括光源以及二维光接收器。

公开(公告)号：CN1925321A

公开(公告)日：2007-03-07

申请号：CN200610128807.9

申请日：2006-08-30

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 宓晓宇 ,  水野义博 ,  松本刚 ,  奥田久雄 ,  上田知史

IPC: H03H7/00

CPC classification number: H01L27/0688 ,  H01F17/0006 ,  H01L23/5227 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种集成电子器件及其制造方法，该集成电子器件包括衬底、无源元件、用于外部连接的焊盘和三维布线。无源元件包括设置在衬底上的多级线圈电感器。多级线圈电感器具有设置在多层中的多个线圈。相邻的线圈线彼此隔开。三维布线包括在衬底上延伸的第一布线区、与衬底隔开但沿着衬底延伸的第二布线区以及与第一布线区和第二布线区连接的第三布线区。

公开(公告)号：CN1815646A

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN200510066849.X

申请日：2005-04-29

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 岛内岳明 ,  今井雅彦 ,  中谷忠司 ,  阮俊英 ,  上田知史

IPC: H01G5/16 ,  H01G5/00

CPC classification number: H01G5/18 ,  H01G5/16 ,  Y10T29/417 ,  Y10T29/435

Abstract: 本发明涉及可变电容器及制造可变电容器的方法。第一可动电极是平坦的，但第二可动电极变形为凸形。在第二可动电极的相对面上设置电介质层。通过调节施加在第一可动电极和第二可动电极之间的电压，通过在所述两个电极之间产生的静电吸引力来在所述两个电极之间形成任意距离，从而获得所需的静电电容。当缩短两个电极之间的距离时，首先，在中心，第一可动电极的一部分和第二可动电极的一部分相互接触，其间夹有电介质层。然后，第一可动电极和电介质层(第二可动电极)从所述接触部分向外围依次相互接触，接触面积逐渐增加。

公开(公告)号：CN1242285C

公开(公告)日：2006-02-15

申请号：CN03101716.9

申请日：2003-01-17

Applicant: 富士通株式会社 ,  富士通媒体器件株式会社

Inventor： 水野义博 ,  上田知史 ,  壶井修 ,  佐脇一平 ,  奥田久雄 ,  高马悟觉 ,  曽根田弘光 ,  山岸文雄

IPC: G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  H01L21/3213

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0136 ,  B81C1/00182 ,  B81C2203/0109 ,  Y10S359/904

Abstract: 微镜单元包含带有镜部分的运动件、框架以及连接运动件与框架的扭杆。运动件、框架和扭杆集成制作在材料衬底上。框架含有比运动件厚的部分。

公开(公告)号：CN1696759A

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN200410085274.1

申请日：2004-10-18

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 宓晓宇 ,  曾根田弘光 ,  上田知史 ,  佐胁一平

IPC: G02B26/08

CPC classification number: B81B7/0006 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/0841

Abstract: 一种微镜元件，包括微镜基板、布线基板、以及置于所述两基板之间的导电衬垫。该微镜基板整体地形成有框、具有镜部的活动部分、以及将该框连接到该活动部分的扭杆。该布线基板设有布线图案。该导电衬垫将该微镜基板从该布线基板隔离，并且将该框电连接到该布线图案。该布线基板具有朝向该微镜基板的表面。在该表面上设有检测器，用于检测该镜部的旋转角。

公开(公告)号：CN1467521A

公开(公告)日：2004-01-14

申请号：CN03101716.9

申请日：2003-01-17

Applicant: 富士通株式会社 ,  富士通媒体器件株式会社

Inventor： 水野义博 ,  上田知史 ,  壶井修 ,  佐脇一平 ,  奥田久雄 ,  高马悟觉 ,  曽根田弘光 ,  山岸文雄

IPC: G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  H01L21/3213

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0136 ,  B81C1/00182 ,  B81C2203/0109 ,  Y10S359/904

Abstract: 微镜单元包含带有镜部分的运动件、框架以及连接运动件与框架的扭杆。运动件、框架和扭杆集成制作在材料衬底上。框架含有比运动件厚的部分。

公开(公告)号：CN1459643A

公开(公告)日：2003-12-03

申请号：CN03102321.5

申请日：2003-01-30

Applicant: 富士通株式会社 ,  富士通媒体器件株式会社

Inventor： 曾根田弘光 ,  上田知史 ,  奥田久雄 ,  佐脇一平 ,  壺井修 ,  水野义博 ,  高马悟觉 ,  中村义孝 ,  山岸文雄

IPC: G02B6/35 ,  G02B6/12 ,  H04B10/12

CPC classification number: G02B6/3518 ,  G02B6/3556 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/4232 ,  G02B26/0841 ,  Y10S359/904

Abstract: 一种微镜面单元包括：微镜面基片、布线基片和置于这些基片之间的导电衬垫。该微镜面基片具有运动部分、框架以及把该运动部分连接到该框架的扭杆。该运动部分具有镜面形成部分。该布线基片形成有布线图案。该导电衬垫把该框架电连接到布线图案，并且还提供用于使微镜面基片与布线基片相互隔开的间隔。