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公开(公告)号：CN117908325A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311342291.8
申请日：2023-10-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题是提供为高感度且高对比度、线的LWR及孔洞的CDU经改善、图案形成后的蚀刻耐性仍优良的化学增幅抗蚀剂组成物，以及提供使用其的图案形成方法。该课题的解决手段是一种化学增幅抗蚀剂组成物，含有：(A)聚合物，因酸的作用而对碱水溶液的溶解性会增加，其含有下式(A1)表示的重复单元及下式(B1)表示的重复单元，且不含因曝光而产生酸的重复单元，及(B)光酸产生剂，以下式(PAG‑a)或(PAG‑b)表示，且因KrF准分子激光、ArF准分子激光、电子束或极紫外线的作用而产生酸。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN117384130A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202310849357.6
申请日：2023-07-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07D333/76 , C07D333/54 , C07D327/08 , C07C381/12 , C07C211/63 , C07C25/18 , C07C65/26 , C07C65/24 , C07C69/96 , G03F7/20 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039
Abstract: 本发明涉及鎓盐、抗蚀剂组成物、及图案形成方法。本发明提供于光刻中，正型、负型皆为高感度且分辨性优异、LWR、CDU有所改善且能抑制抗蚀剂图案崩塌的抗蚀剂组成物使用的新颖鎓盐。一种鎓盐，其特征为以下列通式(1)表示。式中，RALU表示和相邻的氧原子一起形成的具有环状结构的叔醚、叔碳酸酯、或缩醛中的任一者。RF为氟原子、碳数1～6的含氟烷基、硝基中的任一者。又，Ra为碳数1～20的烃基。n1为0或1的整数。n2及n3为1或2的整数。RF与‑O‑RALU中的各1个键结于互相相邻的碳原子。n4为0～3的整数。Z+表示鎓阳离子。
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公开(公告)号：CN116893576A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310311665.3
申请日：2023-03-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及正型抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题为提供具有超过已知的正型抗蚀剂材料的感度及分辨率，边缘粗糙度、尺寸偏差小，且曝光后的图案形状良好的正型抗蚀剂材料，以及提供图案形成方法。该课题的解决手段为一种正型抗蚀剂材料，含有：含下式(a)表示的重复单元的基础聚合物。#imgabs0#式中，R为下式(a1)表示的基团。#imgabs1#式中，R1为也可含有氧原子的直链状或分支状的碳数1～6的脂肪族烃基，R2为也可含有氧原子的直链状或分支状的碳数2～6的不饱和脂肪族烃基。又，R1与R2也可互相键结并和它们所键结的碳原子一起形成碳数5～12的环。
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公开(公告)号：CN114736578B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202210006689.3
申请日：2022-01-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C09D133/14 , C09D125/18 , C09D183/12 , C09D7/61 , A61B5/263 , A61B5/265 , A61B5/266 , A61B5/268 , A61B5/28
Abstract: 本发明涉及生物体电极组成物、生物体电极、及生物体电极的制造方法。本发明的课题是提供能形成贴附于皮肤后可快速地取得信号，不会造成残留于皮肤的生物体电极用的生物体接触层的生物体电极组成物、以该生物体电极组成物形成生物体接触层的生物体电极、及其制造方法。一种生物体电极组成物，其特征为分别含有：高分子化合物(A)，含有具有选自氟磺酸、氟磺酰亚胺、及N‑羰基氟磺酰胺中的任一者的铵盐、钠盐、钾盐、及银盐的结构的重复单元a；及填料粒子(B)，选自二氧化硅粒子、氧化铝粒子、氧化钛粒子、氧化锆粒子中的1种以上。
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公开(公告)号：CN111789585B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202010255649.3
申请日：2020-04-02
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: A61B5/28 , A61B5/263 , C08F220/38 , C08F212/14 , C08F230/08 , C08F220/18 , C08F220/32 , C08F220/28 , C08F220/40 , C08F220/58
Abstract: 本发明涉及生物体电极组成物、生物体电极、以及生物体电极的制造方法。本发明的课题为提供可形成导电性及生物相容性优异，轻量，且能以低成本制造，无论被水沾湿、予以干燥，导电性也不会大幅降低的生物体电极用的生物体接触层的生物体电极组成物、以该生物体电极组成物形成有生物体接触层的生物体电极、及其制造方法。解决该课题的手段为一种生物体电极组成物，含有(A)离子性材料及(B)钛酸锂粉，该(A)成分为含有重复单元a的高分子化合物，该重复单元a具有选自氟磺酸、氟磺酰亚胺、及N‑羰基氟磺酰胺中的任一者的铵盐、钠盐、钾盐、银盐的结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115141448A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210313294.8
申请日：2022-03-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C08L33/14 , C08L25/18 , C08L65/00 , C08K5/17 , C09D133/14 , C09D125/18 , C09D165/00 , C09D5/24 , C09D7/20 , C09D7/63 , H01L51/50 , H01L51/54 , H01L51/56
Abstract: 本发明的目的在于提供一种导电性高分子组合物，即使将该导电性高分子组合物用作喷涂或喷墨印刷用油墨也可形成均匀膜，在安装于有机EL元件而使元件发光时，能够防止除ITO电极面以外的部分发光。所述导电性高分子组合物通过使π共轭类聚合物(A)及通式(1)所表示的聚合物(B)的复合物分散于H2O(D)中而成，且该导电性高分子组合物包含水溶性的有机溶剂(C)及通式(2)所表示的化合物(E)，将所述导电性高分子组合物制成膜厚为20～200nm的膜时的膜电导率小于1.00E‑05S/cm。
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公开(公告)号：CN114989381A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210197586.X
申请日：2022-03-02
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及聚硅氧聚氨基甲酸酯、伸缩性膜、及其形成方法。本发明的课题为提供作为具有优异的伸缩性及强度且膜表面的拒水性亦优异的伸缩性膜的材料的聚硅氧聚氨基甲酸酯、伸缩性膜及伸缩性膜的形成方法。解决该课题的手段为一种聚硅氧聚氨基甲酸酯，其特征为至少在末端具有马来酰亚胺基。
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公开(公告)号：CN114533073A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111412135.5
申请日：2021-11-25
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 畠山润
IPC: A61B5/259 , A61B5/265 , A61B5/268 , C08F212/14 , C08F230/08 , C08F220/28 , C08F220/38 , C08F216/14 , C08F220/58
Abstract: 本发明涉及生物体电极组成物、生物体电极、生物体电极的制造方法、以及反应复合体。本发明提供能形成导电性及生物体适合性优异、轻量且能够以低成本制造，即使被水沾湿即使干燥，导电性仍不大幅下降的生物体电极用的生物体接触层的生物体电极组成物、以该生物体电极组成物形成了生物体接触层的生物体电极、及其制造方法。一种生物体电极组成物，含有(A)具有离子性官能团的单体与碳粒子的反应复合体，前述(A)成分含有：和具有选自氟磺酸、氟磺酰亚胺、及N‑羰基氟磺酰胺中的任一的铵盐、锂盐、钠盐、钾盐、银盐的结构的单体键结的碳粒子。
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公开(公告)号：CN114478987A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111334279.3
申请日：2021-11-11
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及聚氨基甲酸酯、聚氨基甲酸酯的制造方法、导电性糊剂组成物、导电配线及其制造方法。本发明提供用以形成伸缩时的导电性的变化少的伸缩性导电配线的导电性糊剂组成物、及提供该组成物的聚氨基甲酸酯。一种聚氨基甲酸酯，其特征为：含有pKa5～11的弱酸性官能团。
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公开(公告)号：CN111378271B
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN201911356778.5
申请日：2019-12-25
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 畠山润
Abstract: 本发明的目的是提供具有优良的伸缩性且膜表面的拨水性优良，而且表面不发粘的伸缩性膜及其形成方法。一种伸缩性膜，至少表面由含有有机硅聚氨酯树脂的伸缩性膜材料的固化物构成，其特征为：该伸缩性膜的表面形成有深度0.1μm～2mm、节距0.1μm～5mm的范围的凹凸的重复图案。
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