-
公开(公告)号:CN104749788A
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201310723857.1
申请日:2013-12-25
Applicant: 南京理工大学
IPC: G02B27/28
CPC classification number: G02B27/285
Abstract: 本发明公开了一种实现全斯托克斯偏振成像的分束器,包括部分偏振分光棱镜、直角棱镜、第一相位延迟器、第二相位延迟器、第一Wollaston棱镜、第二Wollaston棱镜;部分偏振分光棱镜为立方体,直角棱镜的包含两条长直角边的面与部分偏振分光棱镜的侧面固定,重合的面形状和大小完全相同,部分偏振分光棱镜的胶合面与直角棱镜包含两条斜边的面平行;第二相位延迟器夹在直角棱镜和第二Wollaston棱镜之间,紧贴直角棱镜包含两条短直角边的面,第一相位延迟器夹在部分偏振分光棱镜和第一Wollaston棱镜之间,且紧贴第二相位延迟器。本发明系统结构紧凑轻小;单次测量便可获得探测目标全Stokes偏振信息图像。
-
公开(公告)号:CN104748855A
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201310728659.4
申请日:2013-12-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明提供一种双通道高通量干涉成像光谱装置及方法,该装置包括前置光学系统、双通道横向剪切分束系统、第一成像系统和第二成像系统;入射光经前置光学系统,确定目标视场,消除杂散光并形成准直光束,进入双通道横向剪切分束系统,经两个光通道出射,每个通道的出射光被横向剪切,进而引入光程差信息;在两个成像系统的成像物镜后焦面处的探测器靶面上得到携带干涉条纹的目标图像,提取干涉信息,对其进行傅里叶变换,复原目标图像,得到目标各点的光谱信息及各个谱段的二维图像信息。本发明具有高光通量、实现双通道成像的特点;利用双通道光束的横向剪切干涉原理,可以实现双视场拼接进行大画幅成像,也可以实现可见光和红外的双通道成像。
-
公开(公告)号:CN104713494A
公开(公告)日:2015-06-17
申请号:CN201310687470.5
申请日:2013-12-16
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种傅里叶变换移相标定的双波长调谐干涉测试装置及方法,测试装置采用不同中心波长的可调谐激光器作为光源同时进行工作,通过波长调谐实现干涉移相,并利用探测器采集两路干涉光叠加后形成的莫尔条纹干涉图。先对探测器采集得到的莫尔条纹干涉图进行时域傅里叶变换分析各频率分量,完成对移相步进量的标定,保证两种波长下的移相步进量;其次,作为光源的两个可调谐激光器按照标定后的移相步进量进行移相,采集得到包含了合成波长相位信息的移相莫尔条纹干涉图;最后,对移相莫尔条纹干涉图采用双波长移相干涉算法得到被测相位信息。本发明可扩大干涉测量的面形范围,单波长移相标定无需附加光路,光路结构和干涉图处理算法简单。
-
公开(公告)号:CN104568150A
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201310480872.8
申请日:2013-10-15
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 本文发明公开了一种基于微偏振阵列的干涉成像全偏振光谱探测装置及方法,该装置沿光路方向依次放置前置成像物镜、准直物镜、Sagnac横向剪切分束器、成像物镜、微偏振调制阵列、探测器和信号处理系统。方法步骤为:第一步,入射光经过前置成像物镜成像,随后光束经过准直物镜准直。第二步,准直光束被Sagnac横向剪切分束器横向剪切;第三步,剪切光束经成像物镜到达微偏振调制阵列,同一物点对应四个偏振象元,通过推扫在探测器靶面获取场景中的四组干涉图像;第四步,信号处理系统经过光谱复原、偏振信息重构后获取场景的二维光强信息、光谱信息及各谱段的全偏振参量。该方法具有高光谱分辨率、高目标分辨率以及同步获取全偏振信息的优点。
-
公开(公告)号:CN104101994A
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:CN201310124780.6
申请日:2013-04-11
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜装置,包括显微物镜、第一套筒组件和第二套筒组件,第一套筒组件一端通过螺纹固定在显微物镜上,另一端与第二套筒组件连接,通过止螺固定,第一套筒组件与第二套筒组件连接面带有螺纹,第一套筒组件包括第一套筒、第一压圈、参考镜,第一套筒通过螺纹固定在显微物镜上,另一端带有三阶台阶,第一压圈通过螺纹将参考镜固定在第一套筒上,第二套筒组件包括第二套筒、第二压圈、分光镜,第二套筒底部带有两阶台阶,靠近待测件的台阶半径最小,第二压圈通过螺纹将分光镜固定在第二套筒上。本装置结构简单,体积小,加工容易,适用性高,应用在白光干涉显微镜中,可产生白光干涉条纹,为表面微观三维轮廓的高精度测量提供必要手段。
-
公开(公告)号:CN104075655A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201310101855.9
申请日:2013-03-27
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明提供一种使用旋转径向光栅的斐索型同步移相干涉测试装置,包括斐索型干涉光路部分和多普勒频移调谐移相部分,且斐索型干涉光路部分位于多普勒频移调谐移相部分的前端,其中斐索型干涉光路部分由激光器、扩束镜、分光镜、第一准直物镜、参考镜和测试镜依次排列组成;多普勒频移调谐移相部分包括第二准直物镜、电机、径向光栅、成像透镜和探测器依次排列组成,上述所有光学器件相对于基底同轴等高,即相对于光学平台或仪器底座同轴等高;本发明具有能够实现大口径光学元件在长腔长测试环境下的面形动态测量的优点,且成本较低。
-
公开(公告)号:CN102629552B
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201210106604.5
申请日:2012-04-13
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种应用于非制冷红外焦平面的硅锗薄膜平行转移方法,包括清洗晶圆,对晶圆进行涂胶和前烘,用夹具固定晶圆形成晶圆对,对晶圆对进行热压键合,去除SI支撑层和BOX层等步骤,本发明无需考虑敏感材料沉积条件与CMOS晶圆的工艺兼容性问题,可以使用沉积温度在600℃以上的硅锗/硅量子阱材料,拓展了非制冷红外焦平面可使用的敏感材料范围;免去了对晶圆键合面的抛光工艺,平行转移后的材料黏附的也更好,更适应于大规模生产;本发明直接以键合胶作为牺牲层存在,无论是键合胶的涂布工艺还是去除工艺都更为简单,牺牲层的厚度也更加灵活可控。
-
公开(公告)号:CN103730535A
公开(公告)日:2014-04-16
申请号:CN201210388581.1
申请日:2012-10-12
Applicant: 南京理工大学
IPC: H01L31/18 , H01L27/146
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/1804 , H01L31/035254 , H01L31/035281
Abstract: 本发明公开了一种应用硅锗薄膜的非制冷红外焦平面阵列像元制造方法,包括将硅锗薄膜由SOI晶圆转移至CMOS晶圆,对薄膜刻蚀形成沟道,用lift-off法形成金属顶电极,对薄膜刻蚀形成敏感区块,PECVD法沉积氮化硅支撑薄膜,电镀生长出金属电极柱,溅射TiW形成电路,溅射红外吸收层,刻蚀氮化硅层、TiW层等形成L形悬臂梁等步骤。本发明在微测辐射热计领域成功的应用了硅锗/硅量子阱材料,拓展了非制冷红外焦平面可使用的敏感材料范围;考虑到硅锗/硅量子阱材料是一种“立体”导电材料,通过刻蚀沟道的方式形成U字形回路,增大了敏感区域的电阻;通过引入氮化硅薄膜,将λ/4共振红外吸收腔置于敏感区域内,更精确的控制了红外吸收腔尺寸,有效的增大了红外吸收率。
-
公开(公告)号:CN102680101B
公开(公告)日:2014-03-19
申请号:CN201210157888.0
申请日:2012-05-18
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种干涉光场成像高光谱全偏振探测装置,包括顺序配置的前置光学望远系统、横向剪切干涉系统、光场成像系统、面阵探测器和信号处理系统,被探测目标光线依次通过所述前置光学望远系统、横向剪切干涉系统、光场成像系统,到达面阵探测器,信号处理系统从面阵探测器提取被探测目标的二维空间图像、高光谱信息和全Stokes偏振分量。利用本探测装置,单次测量便可得到目标二维空间光强信息、目标各点全Stokes偏振分量、目标各点高分辨率的光谱信息,且结构简单。
-
公开(公告)号:CN103197382A
公开(公告)日:2013-07-10
申请号:CN201310066003.0
申请日:2013-03-01
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 一种光纤导出式的干涉仪激光光源系统包括:激光光源、耦合透镜、耦合调整系统、光纤、光纤滤波系统、激光出射端口。从激光器出来的光束入射到耦合透镜上,产生的汇聚光束耦合导入光纤,或者先通过一个由电机驱动的旋转毛玻璃后再耦合导入光纤;激光经光纤滤波系统传输后,在光纤端面形成一个点光源,通过耦合调整系统可以改变耦合效率,调节出射光的亮度。本发明可以作为不同类型干涉仪的照明系统,提高干涉图的均匀性和抑制相干噪声,提高了干涉仪在中高频段的测量精度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-