公开(公告)号：CN113746447A

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN202111060953.3

申请日：2017-08-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  金泰润 ,  金大虎 ,  林昶贤 ,  李泰勋 ,  尹湘基 ,  金锺云 ,  韩源 ,  李文喆

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17 ,  H03H9/54 ,  H03H9/56 ,  H03H9/60 ,  H03H3/02 ,  H01L41/047

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板，具有上表面，所述上表面上设置有基板保护层；及膜层，与所述基板一起形成腔，其中，所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为或更小。

公开(公告)号：CN107786182B

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN201710740128.5

申请日：2017-08-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  金泰润 ,  金大虎 ,  林昶贤 ,  李泰勋 ,  尹湘基 ,  金锺云 ,  韩源 ,  李文喆

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板，具有上表面，所述上表面上设置有基板保护层；及膜层，与所述基板一起形成腔，其中，所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为或更小。

公开(公告)号：CN107404304B

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN201611233848.4

申请日：2016-12-28

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金大虎 ,  丁大勋 ,  韩源 ,  孙尚郁

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02

Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在基板上的下电极、压电层和上电极以及沿着上电极的边缘形成在上电极上的框架；沟槽部，形成在谐振部的至少一侧并使得谐振部的厚度是不均匀的。

公开(公告)号：CN107094003A

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201610916306.0

申请日：2016-10-20

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩成 ,  金大虎 ,  申兰姬 ,  李华善 ,  林昶贤 ,  李泰京 ,  金成善

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02

Abstract: 提供一种具有框架的谐振器以及制造该谐振器的方法。所述谐振器包括：谐振部，包括第一电极、第二电极和位于第一电极和第二电极之间的压电层；框架，设置在谐振部的外缘处，框架的至少一部分覆盖第二电极的外端部。