-
公开(公告)号：CN104072131A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410054008.6
申请日：2014-02-18
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C04B35/491 , C04B35/622
CPC classification number: H01B3/448 , C23C18/1283 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种铁电薄膜形成用组合物的制造方法及其用途。该用于形成铁电薄膜的组合物的制造方法为PZT薄膜形成用组合物的制造方法，其特征在于，在0℃～10℃温度下对PZT薄膜形成用组合物前驱体进行至少30天的时效处理，所述PZT薄膜形成用组合物前驱体通过使相对于100质量%的组合物前驱体用原料以氧化物浓度换算包含23～38质量%的PZT前驱物质的组合物前驱体用原料与高分子反应而获得。
-
公开(公告)号：CN102790169A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210151102.4
申请日：2012-05-15
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01L41/22 , H01L21/24 , H01L41/187
CPC classification number: H01L21/02197 , B05D3/0254 , B05D5/00 , H01L21/022 , H01L21/02282 , H01L21/28291 , H01L28/55 , H01L28/65 , H01L28/75 , H01L41/0815 , H01L41/319 , Y10T428/249921 , Y10T428/25 , Y10T428/26 , Y10T428/265
Abstract: 本发明提供一种不设置晶种层、缓冲层，就能够简便地得到晶体取向被择优控制为（100）面的铁电薄膜的铁电薄膜的制造方法。通过在具有晶面为（111）轴向取向的下部电极的基板的下部电极上涂布铁电薄膜形成用组合物，进行加热使其结晶，从而在下部电极上制造铁电薄膜，该该制造方法中，铁电薄膜包含晶体取向被择优控制为（100）面的取向控制层，将取向控制层的结晶后的层厚设在35nm～150nm的范围内来形成。
-
公开(公告)号：CN111788706A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201980016233.1
申请日：2019-03-12
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01L41/318 , C01G29/00 , C01G53/00 , H01L41/187
Abstract: 一种用于形成由至少含有Bi、Na及Ti的金属氧化物构成的压电体膜的液体组合物。Na的原料为Na醇盐，Ti的原料为Ti醇盐，且所述液体组合物含有二醇和胺系稳定剂，胺系稳定剂相对于Ti醇盐的摩尔比(Ti醇盐:胺系稳定剂)为1:0.5～1:4。优选相对于液体组合物100质量％含有4质量％～20质量％的金属氧化物。
-
公开(公告)号：CN104072131B
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201410054008.6
申请日：2014-02-18
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C04B35/491 , C04B35/622
Abstract: 本发明提供一种铁电薄膜形成用组合物的制造方法及其用途。该用于形成铁电薄膜的组合物的制造方法为PZT薄膜形成用组合物的制造方法，其特征在于，在0℃～10℃温度下对PZT薄膜形成用组合物前驱体进行至少30天的时效处理，所述PZT薄膜形成用组合物前驱体通过使相对于100质量%的组合物前驱体用原料以氧化物浓度换算包含23～38质量%的PZT前驱物质的组合物前驱体用原料与高分子反应而获得。
-
公开(公告)号：CN105393338B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201480041141.6
申请日：2014-08-27
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01L21/316 , C01G33/00 , H01L21/8246 , H01L27/105 , H01L41/318
CPC classification number: H01L41/1876 , H01L21/02197 , H01L21/02282 , H01L28/56 , H01L28/75 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种膜中的各组成大致均匀，且压电特性及介电特性较高的PNbZT薄膜的制造方法。本发明的PNbZT薄膜的制造方法，其包含如下工序：准备满足组成式PbzNbxZryTi1‑yO3且锆及钛的浓度比Zr/Ti不同的多种溶胶‑凝胶液，其中，0＜x≤0.05、0.40≤y≤0.60及1.05≤z≤1.25；以浓度比Zr/Ti阶段性变小的方式从多种溶胶‑凝胶液中选择规定的溶胶‑凝胶液，在基板上将溶胶‑凝胶液的涂布及临时烧结重复进行两次以上，由此在基板(12)上层叠浓度比Zr/Ti阶段性变小的两层以上的临时烧结膜(11a～11c)；及将多个临时烧结膜(11a～11c)一并烧成，由此得到单一的PNbZT薄膜(11)的工序。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107431123A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680005012.0
申请日：2016-02-15
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01L41/187 , B41J2/14 , B41J2/16 , C01G35/00 , H01L41/318 , H01L41/319 , H01L41/43
Abstract: 本发明提供一种PTZT压电膜，其由含有Pb、Ta、Zr及Ti的钙钛矿型结构的金属氧化物构成，所述金属氧化物还含有碳，所述碳的含量为80～800质量ppm。该压电膜形成用液体组合物的制造方法中，使Ta醇盐、Zr醇盐、β-二酮类及二醇回流，向回流而得到的第1合成液中添加Ti醇盐并再次回流，向再次回流而得到的第2合成液中添加Pb化合物并进一步回流，从进一步回流而得到的第3合成液去除溶剂之后，用醇稀释来制造PTZT压电膜形成用液体组合物。该PTZT压电膜形成用液体组合物在将总计Ta醇盐、Zr醇盐及Ti醇盐的量设为1摩尔时，分别以成为7～11摩尔、1.5～3.0摩尔的比例包含二醇、β-二酮类。
-
公开(公告)号：CN105940515A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201580006889.7
申请日：2015-03-12
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01L41/318 , C04B35/491 , H01L41/187
CPC classification number: C04B35/491 , C01G25/006 , C01G45/006 , C01P2002/34 , C01P2002/50 , C01P2006/40 , C04B35/493 , C04B35/62218 , C04B35/624 , C04B35/6264 , C04B35/632 , C04B35/63444 , C04B35/64 , C04B2235/3234 , C04B2235/3249 , C04B2235/3251 , C04B2235/3255 , C04B2235/3262 , C04B2235/3268 , C04B2235/3296 , C04B2235/441 , C04B2235/606 , C04B2235/6567 , C04B2235/96 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明涉及一种用于形成PZT系压电膜的组合物，该PZT系压电膜由掺杂Mn及Nb的复合金属氧化物构成，所述组合物以如下比例包含PZT系前体：所述组合物中的金属原子比Pb:Mn:Nb:Zr:Ti满足(1.00～1.25):(0.002～0.056):(0.002～0.056):(0.40～0.60):(0.40～0.60)，且将所述Mn及Nb的金属原子比的合计设为1时的所述Mn的比例为0.20～0.80，将所述Zr及Ti的金属原子比的合计设为1时的所述Zr的比例为0.40～0.60，将所述Mn、Nb、Zr及Ti的金属原子比的合计设为1时的所述Zr及Ti的合计比例为0.9300～0.9902。
-
公开(公告)号：CN105940514A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201580006557.9
申请日：2015-03-12
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01L41/187 , C04B35/491 , H01L41/318 , C01G25/00
CPC classification number: C04B35/493 , C01G25/006 , C01P2002/50 , C01P2002/52 , C04B35/491 , C04B35/62218 , C04B2235/3234 , C04B2235/3249 , C04B2235/3251 , C04B2235/3255 , C04B2235/3262 , C04B2235/3268 , C04B2235/3296 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明的掺杂Mn及Nb的PZT系压电膜由掺杂Mn及Nb的复合金属氧化物构成，膜中的金属原子比Pb:Mn:Nb:Zr:Ti满足(0.98～1.12):(0.002～0.056):(0.002～0.056):(0.40～0.60):(0.40～0.60)，且将所述Mn及Nb的金属原子比的合计设为1时的所述Mn的比例为0.20～0.80，将所述Zr及Ti的金属原子比的合计设为1时的所述Zr的比例为0.40～0.60，将所述Mn、Nb、Zr及Ti的金属原子比的合计设为1时的所述Zr及Ti的合计比例为0.9300～0.9902。
-
公开(公告)号：CN103360062B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201310069009.3
申请日：2013-03-05
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C04B35/49 , C04B35/624
CPC classification number: H01L41/1876 , C23C18/1216 , C23C18/1254 , C23C18/1283 , C23C18/1291
Abstract: 本发明提供一种铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液和铁电薄膜的形成方法。在形成PZT系铁电薄膜时，能够将通过溶胶-凝胶法涂布一次形成的一层涂得较厚，并且，能够在临时烧结、烧成之后使PZT膜为无龟裂且致密的膜结构。铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液含有PZT系化合物、含聚乙烯吡咯烷酮的粘度调整用高分子化合物及含甲酰胺系溶剂的有机掺杂剂，以氧化物换算计含17质量%以上的PZT系化合物，以单体换算计聚乙烯吡咯烷酮相对所述PZT系化合物的摩尔比为PZT系化合物:聚乙烯吡咯烷酮=1:0.1～0.5，所述溶胶-凝胶液中含3质量%～13质量%的甲酰胺系溶剂，从而能够使涂布一次形成的一层增厚，谋求提高生产效率且临时烧结、烧成之后也可实现无龟裂且紧密的成膜。
-
公开(公告)号：CN104078189A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410055661.4
申请日：2014-02-19
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01F41/24 , C23C18/1216 , C23C18/1241 , C23C18/1245 , C23C18/1254 , H01F10/20
Abstract: 本发明提供一种铁氧体薄膜形成用组合物及铁氧体薄膜的形成方法。该铁氧体薄膜形成用组合物为用于通过溶胶-凝胶法形成NiZn铁氧体、CuZn铁氧体、NiCuZn铁氧体薄膜的组合物，上述组合物含有金属原料及含N-甲基吡咯烷酮的溶剂，在将上述组合物设为100质量%时，N-甲基吡咯烷酮的比例为30～60质量%。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
43
records
(took 0.029 seconds)
