公开(公告)号：CN1835205A

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：CN200610065330.4

申请日：2006-03-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 大桥薰 ,  速水利泰

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/00 ,  C23F4/00 ,  H05H1/46 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种基板载放台(17)，在其内侧制冷剂室(28)与外侧制冷剂室(29)之间设置有圆筒形状的空隙部(30)。与空隙部(30)连接的配管(30a)一直延伸至基板载放台(17)的下方，通过阀(71)与真空泵(72)连接。利用该真空泵(72)将空隙部(30)内减压至规定的真空状态后关闭阀(71)，使空隙部(30)内处于真空状态，通过这种方法可以降低空隙部(30)的传热性，并作为隔热部件。从而，能够提高基板载放台的温度控制，从而实现晶片表面内的均匀化处理。

公开(公告)号：CN3457236D

公开(公告)日：2005-06-29

申请号：CN200430100626.7

申请日：2004-10-21

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 大桥薰 ,  水上俊介 ,  上田雄大

Abstract: 1.左视图与右视图对称，省略左视图；