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公开(公告)号:CN101800150B
公开(公告)日:2011-11-23
申请号:CN201010135135.0
申请日:2010-03-25
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种高场不对称波形离子迁移管及其制作方法,高场不对称波形离子迁移管包括基片、支撑梁、迁移区电极、检测电极、主屏蔽电极、辅助屏蔽电极、加热电阻和温度传感器。主屏蔽电极和辅助屏蔽电极降低了迁移区电场对检测电极的干扰,加热电阻和温度传感器直接集成于迁移管上,在不增加迁移管体积的前提下实现了迁移管温度的精确控制;制作方法采用丝网印刷浆料而后高温烧结的厚膜工艺,基片采用陶瓷材料,而不是易碎的硼硅玻璃材料,制作方法简单,工艺周期短,成本低,适合大批量生产。
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公开(公告)号:CN102163531A
公开(公告)日:2011-08-24
申请号:CN201110056731.4
申请日:2011-03-10
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器及其制作方法,基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器包括基板、支撑梁、离子聚焦电极、前门电极、主射频电极、辅助射频电极、后门电极、离子出口推斥电极以及离子出口,集成的离子聚焦电极降低了离子损耗,提高了离子捕获效率,相比外置离子聚焦透镜,减少了装配精度带来的误差,制作方法采用MEMS工艺,提高了加工精度和成品率,易于批量生产。
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公开(公告)号:CN117491115A
公开(公告)日:2024-02-02
申请号:CN202311440363.2
申请日:2023-11-01
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 一种适用于质谱仪的在线冷凝式除水装置及方法,其中的所述质谱仪与进样装置通过气路管道连通,所述气路管道作为待测样品的通道:在线冷凝式除水装置包括进样阀、三通阀、制冷机、加热片及抽气泵,进样阀设置在靠近所述进样装置一侧的气路管道上;三通阀设置在靠近所述质谱仪一侧的气路管道上,同时与抽气泵连通;制冷机通过隔热管连接至所述进样阀与所述三通阀之间的气路管道上;隔热管的外侧由内向外依次套设有导热管和绝热管;加热片设置在所述绝热管与所述三通阀之间的气路管道上;抽气泵的进气孔连接至所述三通阀。本发明具有良好的气密性和高效的热传导性,可缩短预热时间,降低除水功耗,结构简单,易于搭建,无使用耗材,可循环使用。
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公开(公告)号:CN117198857A
公开(公告)日:2023-12-08
申请号:CN202311231638.1
申请日:2023-09-22
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种质谱芯片,包括两个相互平行的质谱芯片平面和电极组单元。质谱芯片平面为完整平面。电极组单元包括第一电极组和第二电极组至少两个电极组;第一电极组包括至少两个分离电极对;分离电极对由分别设置在两个相互平行的质谱芯片平面上的两个分离电极组成;通过在至少一个分离电极对上施加射频电压后,在两个质谱芯片平面之间的特定区域内形成四极电场,用于束缚和分离离子;第二电极组用于检测离子,其包括至少一个检测电极对;检测电极对由分别设置在两个相互平行的质谱芯片平面上的两个检测电极组成。本发明提高了离子光学系统的集成度,高度兼容MEMS工艺,易于实现高精度、批量化的平行制造,降低成本,推动质谱仪器整机的小型化。
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