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公开(公告)号：CN115826364A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211493606.4
申请日：2022-11-25
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开一种基于双步双光子效应的高通量超分辨纳米刻写方法与装置，将存在延时的一个激发光和一个促进光合束，入射到数字微镜器件，随后成像到三维样品台的基板上涂覆的具有双步双光子效应的光刻胶上；根据所需刻写结构控制数字微镜器件，完成基板所在焦面处的曝光，同时控制三维样品台，以及激发光和促进光的延时，使延时大于光刻胶分子的单重态的激发态S1到多重态T1，进而实现双步双光子效应，实现任意三维纳米结构的刻写；激发光和促进光为同一波长且重复频率相同的激光束，且激发光的脉宽为飞秒，促进光的脉宽为皮秒或者纳秒。本发明实现超分辨激光刻写，并且结合数字微镜器件，进而实现高通量刻写能力。
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公开(公告)号：CN115655336A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211534701.4
申请日：2022-12-02
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本公开提供了一种基于FPGA的硬件可重构通用类人五感感知平台和方法，平台基于Xilinx FPGA SoC，采用软硬件协同、硬件模块化及软件模块化设计思路，通过硬件可重构技术，在一个通用硬件平台上可实现对视、听、触、嗅、味等多参量物理信号的高速、并行、实时采集与处理；高集成度、一体化平台，在一个平台上可实现传感器驱动、传感信号采集、处理、存储、传输及执行机构控制等多种功能；通用平台采用低功耗设计技术，将工作镜像中未使用到的硬件及软件功能模块屏蔽；采用多镜像不断电切换工作机制，在一个通用硬件平台上实现对类人五感信号的感知。
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公开(公告)号：CN115642190A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211327398.0
申请日：2022-10-27
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L31/0232 , H01L31/09 , H01L31/18 , G02B5/00
Abstract: 本发明公开了一种声子极化激元增强的平面型阻挡杂质带长波红外探测器及制备方法。器件自下而上依次为衬底，水平排列的接触层、吸收层和阻挡层，声子极化激元增强层以及金属电极；其中，衬底和阻挡层为本征半导体，接触层和吸收层为通过离子注入制备得到的掺杂半导体，声子极化激元增强层为通过沉积法制备得到的具有周期性微纳结构的声子极化激元材料薄膜。本发明的特点是利用微纳结构耦合入射光并激发声子极化激元，通过声子极化激元的限域光场约束效应增强探测器在长波红外波段的光吸收性能，制作工艺简单、灵敏度高的长波红外探测器。
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公开(公告)号：CN112882184B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202110061579.2
申请日：2021-01-18
Abstract: 本发明公开了一种双光束实时中心对准和稳定的装置和方法，该装置包括可调小孔、旋转反射镜、直角棱镜反射镜、纳米位移台、角度压电调节镜架、二色镜、分束镜、透镜、位置探测器和控制器等部件。本发明可以对两束不同波长的激光束进行合束，确保光斑中心严格对准，并且对出射后的合束光进行光束稳定，在长时间工作中保持两束光的中心一直稳定在重合状态，实现小型化、高精度、快速度的合束光稳定控制。利用本发明装置调整得到稳定的合束光，可以广泛用于超分辨显微成像和高精度激光直写光刻等系统中。
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公开(公告)号：CN115460362A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211390953.4
申请日：2022-11-08
Applicant: 之江实验室
IPC: H04N5/369
Abstract: 本发明公开了一种分辨率可重构视觉传感器，包括：多个像素，每个像素包含一个传感器传感模块，传感器传感模块用于将光信号转换为电信号，模拟信号转换为数字信号输出。传感器像素控制模块，用于控制传感模块中像素的输出，传感器信号传输模块和传感器信号处理模块，用于将信号传输模块传输的数据进行处理。本发明中的视觉传感器基于人视网膜中细胞的分布及视觉注意机制，在图像采集的基础上，可通过像素控制模块对像素的输出模式进行控制，实现低分辨实时监测模式和仿生局部高分辨实时分析模式。可在不降低目标物详细信息的情况下实现多个目标物的仿生局部高分辨成像，从而减少信息冗余，加快成像速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115327867A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202211253404.2
申请日：2022-10-13
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种高速高精度对准的激光直写光刻方法与装置，使用位移台与转镜同步运动算法，首先基于激光器产生激光束，基于电光/声光调制器实现激光强度高速调制，基于任意波形发生器产生高速调制信号控制；然后启动位移台，按照预设路径移动，经过预设触发位置时产生触发信号；再基于数据采集卡采集触发信号，获得触发后打开转镜触发激光器，基于转镜位置激光器获得转镜扫描起始点信号，用于启动任意波形发生器输出高速调制信号；最后位移台匀速移动到下一个触发位置产生触发信号，直到位移台预设路径移动结束，完成刻写。本发明基于位移台与转镜同步运动算法，有效解决了现有激光直写光刻系统无法实现高速高精度对准的问题。
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公开(公告)号：CN114975213A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210883762.5
申请日：2022-07-26
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种晶圆对准装置及对准方法。包括光源、成像相机、光路系统、图像处理器、晶圆载物台和二维运动平台；照明光源、成像相机、光路系统、图像处理器安装位置固定，待对准的晶圆置于晶圆载物台上，二维运动平台上安装有晶圆载物台，可实现晶圆的二维移动；通过相机对晶圆载物台上的晶圆实现宽视场快速成像，识别晶圆轮廓并拟合，得到高精度的晶圆定位信息，宽视场成像同时避免了晶圆摆放偏移量过大导致无法对准的问题。本发明的晶圆对准装置和对准方法，没有采用晶圆预对准器和二次对准即可实现高精度的晶圆定位，晶圆通过机械手直接从料盒中运送到载物台上，减少了预对准器的工作站点，能够同时提高晶圆对准的效率。
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公开(公告)号：CN114415481B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210324231.2
申请日：2022-03-30
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于转镜的激光直写系统的刻写方法及装置，该方法包括：构建光功率和声光调制器的输入电压之间的拟合关系；获取转镜扫描有效区域内的光功率分布情况；根据预定刻写光功率和所述光功率分布情况，确定单次刻写视场范围；根据所述单次刻写视场范围，对待刻写文件进行分割，得到至少一个子文件；对所述子文件进行灰度补偿矫正，得到刻写数据文件；根据刻写方向的偏转角度，对每个刻写数据文件的行初始位置坐标进行坐标变换；根据变换后的行初始位置坐标和所述拟合关系，利用基于转镜的激光直写系统进行刻写。本方法可以使刻写的效果更加均匀、刻写的准确率更高。
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公开(公告)号：CN114721233A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210643609.5
申请日：2022-06-09
Applicant: 之江实验室
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于光纤器件的光场生成装置及单波长超分辨光刻系统，将单一飞秒光源输出光分为两路，其中一路通过元器件的色散将激光脉冲宽度展宽至皮秒量级，另一路通过引入色散补偿模块使激光脉冲宽度保持在飞秒量级。通过光纤模式选择耦合器的调制，将飞秒脉冲激光调制为高斯型激发光，并将皮秒脉冲激光调制为环形抑制光。通过输出的组合光斑和光刻胶的特性，使光刻的最小特征尺寸缩减到衍射极限以下。由于采用同一波长不同脉冲宽度的激光作为激发光和抑制光，避免了由于系统中元器件色差引起的光斑不重合等问题。本发明通过配合光刻胶特性实现突破衍射极限的高精度刻写，整个系统结构简单，抗外界干扰能力强。
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公开(公告)号：CN114355621B
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210262638.7
申请日：2022-03-17
Abstract: 本发明公开了一种基于面阵探测器和艾里斑细分的多焦点非标记差分超分辨成像方法与装置，激光器发出的光被偏振分光镜分为偏振方向互相垂直的两束光，两束光分别被SLM的左右两个半屏加载的相位掩膜调制，两束光分别为实心光束和空心光束；之后实心光束和空心光进行合束，合束后的光束再被分为第一子光束和第二子光束，分别包含实心光束和空心光束，以一定角度入射到扫描振镜模块，并被物镜聚焦，形成第一焦斑组合和第二焦斑组合，从而在焦面上形成四个焦斑。基于时域转化为空域的方法，使用面阵探测器代替单点探测器，在相对较低成本下，可以实现对艾里斑4进行40个以上探测器的细分。同时，采用多焦点激发，进一步提升了系统的成像效率。
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