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公开(公告)号:CN113707725A
公开(公告)日:2021-11-26
申请号:CN202110995112.5
申请日:2021-08-27
申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: H01L29/786 , H01L27/12 , H01L21/027 , H01L21/34
摘要: 本申请实施例提供一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示装置,用于满足高分辨率显示装置的需求。薄膜晶体管包括:衬底;层叠设置在衬底上的半导体层、栅极绝缘层、栅极层和第一辅助层;半导体层、栅极绝缘层及栅极层位于衬底和第一辅助层之间;半导体层包括沟道区和位于沟道区两侧的源极区和漏极区;第一辅助层在衬底上的正投影覆盖栅极层在衬底上的正投影;第一辅助层在衬底上的正投影与栅极绝缘层在衬底上的正投影及沟道区在衬底上的正投影重合。
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公开(公告)号:CN113284910A
公开(公告)日:2021-08-20
申请号:CN202110489331.6
申请日:2021-04-29
申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
摘要: 本申请实施例提供一种显示背板、制作方法以及显示装置,显示背板包括衬底、薄膜晶体管和层间介质层,在栅极远离衬底的一侧,层间介质层包括层叠设置的第一介质层和第二介质层,第二介质层相对于第一介质层远离衬底;第二介质层的致密性低于第一介质层;层间介质层上设置有过孔,过孔在第二介质层的部分为湿刻结构,在第一介质层的部分为干刻结构。本实施例中,将层间介质层制作成不同致密性的叠层结构,低致密性的介质层位于外侧,采用湿刻制作过孔,高致密性的介质层位于内侧,在外侧湿刻完成后通过干刻继续制作过孔,从而得到具有湿刻结构和干刻结构的过孔,既可以避免光刻胶变性,有可以保证高均一性,从而提高显示背板的产品良率。
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公开(公告)号:CN112993183A
公开(公告)日:2021-06-18
申请号:CN202110163789.2
申请日:2021-02-05
申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
摘要: 本公开实施例提供一种显示基板及显示装置,该显示基板包括:衬底基板和和位于衬底基板的一侧的辅助阴极结构;辅助阴极结构,包括:第一导电层、中间支撑层以及第二导电层;其中,中间支撑层的靠近第一导电层的一侧包括:第一凸起和第一凹槽中的任意一种或多种,第一导电层的靠近中间支撑层的一侧包括:对应设置的与第一凸起卡合的第二凹槽和与第一凹槽卡合的第二凸起中的任意一种或多种;和/或,中间支撑层的远离第一导电层的一侧包括:第三凸起和第三凹槽中的任意一种或多种,第二导电层的靠近中间支撑层的一侧包括:对应设置的与第三凸起卡合的第四凹槽和与第三凹槽卡合的第四凸起中的任意一种或多种。
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公开(公告)号:CN109817531B
公开(公告)日:2021-03-12
申请号:CN201910108116.X
申请日:2019-02-02
申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: H01L21/48 , H01L23/498
摘要: 本发明提供了一种阵列基板及其制作方法,涉及显示技术领域。本发明通过在衬底上依次形成第一金属层和绝缘层,在绝缘层上形成刻蚀阻挡层,对刻蚀阻挡层和绝缘层进行多次刻蚀,形成贯穿绝缘层的连接孔,连接孔包括多个依次连通的过孔,且每个过孔的坡度角均小于预设坡度角,形成第二金属层,第二金属层通过连接孔与第一金属层连接。通过对刻蚀阻挡层和绝缘层分多次进行刻蚀,使得形成的连接孔包括多个依次连通的过孔,且由于每次刻蚀掉的绝缘层厚度较小,保证形成的连接孔中的每个过孔的坡度角均小于预设坡度角,在后续制作第二金属层时,避免因连接孔坡度角较大导致第二金属层的覆盖不佳或断线,改善第一金属层与第二金属层的搭接不良。
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公开(公告)号:CN107833894B
公开(公告)日:2020-11-10
申请号:CN201711205308.X
申请日:2017-11-27
申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: H01L27/12 , H01L21/77 , G02F1/1362
摘要: 本发明实施例提供了一种顶栅TFT基板、显示器件及该顶栅TFT基板的制备方法,其中,本发明实施例中的顶栅结构TFT基板至少包括:基板;布置在所述基板上的薄膜晶体管;以及布置在所述基板与所述薄膜晶体管之间的光功能层,所述光功能层包括齐平相接的绝缘型透光层和导电型遮光层,所述薄膜晶体管在垂直于所述基板方向上的投影位于所述遮光层的区域内,且所述透光层的材料为遮光层的材料的氧化物。本发明实施例中的顶栅结构TFT基板通过改进制备工艺有效消除了遮光层与透光层间的高段差,提升顶栅TFT基板中电容介电层的特性,进而提高显示器件的寿命和显示品质。
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公开(公告)号:CN109192661A
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:CN201810988346.5
申请日:2018-08-28
申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: H01L21/336 , H01L29/786 , H01L27/12 , H01L27/32
摘要: 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示面板,该薄膜晶体管包括:依次层叠设置的遮光层、第一金属层、绝缘层和混合层;其中,所述第一金属层包括相互间隔的栅极、源极和漏极,所述栅极位于所述源极和所述漏极之间;所述遮光层包括位于所述栅极和所述源极之间的部分以及位于所述栅极和漏极之间的部分;所述混合层包括第一导体层、第二导体层和有源层。该薄膜晶体管中,通过设置遮光层可避免光线照射对薄膜晶体管的影响,提高薄膜晶体管工作的稳定性。
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公开(公告)号:CN118695681A
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202410791475.0
申请日:2024-06-18
申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: H10K59/121 , H10K59/12 , H10K59/126 , H10K71/00 , H01L27/12 , G09F9/33 , H01L21/77
摘要: 本申请提供了一种显示面板及其制备方法、显示装置,涉及显示技术领域,旨在提高显示质量。显示面板的像素驱动电路包括驱动晶体管和电容器,驱动晶体管包括有源层和栅极,有源层的材料包括氧化物,栅极设置于有源层的远离衬底的一侧,且栅极在衬底上的正投影与有源层在衬底上的正投影至少部分交叠。电容器包括第一极板和第二极板,第二极板设置于第一极板的远离衬底的一侧,且第二极板在衬底上的正投影与第一极板在衬底上的正投影的至少部分交叠,第一极板与栅极电连接,第二极板与有源层电连接。第一极板和第二极板中的至少一者包括两个部分,沿平行于衬底的第一方向,至少一者的两个部分设置于有源层的相对两侧。上述显示面板用于显示图像。
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公开(公告)号:CN118475159A
公开(公告)日:2024-08-09
申请号:CN202410545610.3
申请日:2024-04-30
申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: H10K59/12 , H10K59/124 , H10K59/80
摘要: 本发明提供一种显示基板及其制作方法、显示装置,涉及显示技术领域,用于解决由于隔离结构的制成工序复杂,导致的诸多不良问题。显示基板包括隔离结构;隔离结构中的第一无机绝缘层,第二无机绝缘层和至少一层隔离层共同限定出隔离槽;在隔离槽处,第一无机绝缘层沿平行于衬底基板的方向突出于第二无机绝缘层第一宽度,最靠近衬底基板的隔离层沿平行于衬底基板的方向突出于第二无机绝缘层第二宽度,第一宽度大于第二宽度;显示基板还包括:补偿阴极图形和阴极层,补偿阴极图形位于隔离槽朝向衬底基板的一侧,阴极层位于隔离槽背向衬底基板的一侧,阴极层通过隔离槽与补偿阴极图形耦接;第一无机绝缘层覆盖补偿阴极图形的边缘部分。
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公开(公告)号:CN118175884A
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202410501676.2
申请日:2024-04-24
申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: H10K59/122 , H10K59/12
摘要: 本申请提供了一种显示面板及其制备方法、显示装置,涉及显示技术领域,旨在改善显示不良的问题。该显示面板包括衬底及设置于衬底上的挡墙,挡墙至少包括像素界定层。其中,显示面板的显示区包括多条边界,显示面板的周边区包括多个子周边区,一个子周边区位于一条边界的外侧。挡墙包括多个子挡墙,一个子挡墙位于一个子周边区,沿平行于衬底的方向,子挡墙包括相连的第一段和第二段,第一段沿第一方向延伸,第二段沿第二方向延伸,第一方向与第二方向相交叉,即第一段与第二段的延伸方向不同,子挡墙的延伸方向为非直线型。上述显示面板用于显示图像。
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公开(公告)号:CN117812954A
公开(公告)日:2024-04-02
申请号:CN202410142573.1
申请日:2024-01-31
申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: H10K59/131 , H10K59/12 , H10K59/80
摘要: 本公开涉及显示技术领域,公开了一种显示面板及其制备方法、显示装置;该显示面板包括依次层叠设置的衬底基板、驱动基板、钝化层及发光基板;驱动基板包括驱动电路和第一导电部,第一导电部电连接于驱动电路;钝化层上设置有第一过孔,第一过孔连通至第一导电部;发光基板包括第一电极,第一电极包括连接部,连接部在第一过孔的底部与第一导电部电连接,以使电流从第一导电部流动至连接部,且电流在连接部上的流动方向为第一方向;第一过孔在衬底基板上的正投影至少包括第一边沿线,第一边沿线的曲率半径大于等于8微米,第一边沿线与第一方向相交,以使电流流过在第一边沿线处的连接部。该显示面板不容易出现暗点、薄暗点的不良。
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