运送粒状材料到蒸发区

    公开(公告)号:CN101023196A

    公开(公告)日:2007-08-22

    申请号:CN200580031807.0

    申请日:2005-09-16

    CPC classification number: C23C14/246 C23C14/12 C23C14/26

    Abstract: 一种蒸发粒状材料并让它们凝结到表面上形成层的方法在具有其尺寸设计为允许粒状材料经其自由流动的开口的第一容器中提供一定数量的粒状材料。粒状材料经过开口转移到螺旋加料器中。转动至少一部分螺旋加料器以便将粒状材料从第一容器沿着进料通道转移到蒸发区,在此,粒状材料的至少一种组分部分被蒸发并运送到表面上形成层。螺旋加料器的尺寸选择为能促使粒状材料经过开口的自由流动。

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