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公开(公告)号：CN100557069C
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200580031807.0
申请日：2005-09-16
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/26
Abstract: 一种蒸发粒状材料并让它们凝结到表面上形成层的方法在具有其尺寸设计为允许粒状材料经其自由流动的开口的第一容器中提供一定数量的粒状材料。粒状材料经过开口转移到螺旋加料器中。转动至少一部分螺旋加料器以便将粒状材料从第一容器沿着进料通道转移到蒸发区，在此，粒状材料的至少一种组分部分被蒸发并运送到表面上形成层。螺旋加料器的尺寸选择为能促使粒状材料经过开口的自由流动。
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公开(公告)号：CN1969055A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200580019502.8
申请日：2005-06-03
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/0008
Abstract: 一种将材料蒸发到基材表面以形成膜的方法，包括提供一定量的材料到蒸发装置中，在处于第一温度条件的该蒸发装置中加热该材料，和施加作用于一部分材料的热脉冲以引起材料的该部分蒸发并且被施加到基材表面。
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公开(公告)号：CN101111626A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200680003621.9
申请日：2006-01-30
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 一种颗粒材料(10)的蒸发方法，包括提供一个或者多个容器(15)，该容器各容纳各具有至少一种组分的可能有差别的颗粒材料(10)，在至少其中一个容器(15)内使颗粒材料(10)流体化，并提供与至少其中一个容器(15)热隔离的加热区域(50)。该方法进一步包括传递从各个容器(15)接收到的颗粒材料(10)至该蒸发区域(50)，以及在该蒸发区域(50)施加热量来蒸发所传递的颗粒材料(10)。
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公开(公告)号：CN101057349A
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：CN200580038386.4
申请日：2005-11-09
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/542 , C23C14/12 , C23C14/246 , H01L51/001
Abstract: 一种用于控制蒸发的有机材料在基底表面上的沉积的方法，它包括提供具有至少一个缝隙的总管，蒸发的有机材料穿过该缝隙用以沉积在基底表面上；和提供一定体积的有机材料，并将该有机材料的温度维持在第一状态，使得其蒸汽压力低于在基底上有效地形成一层所需要的蒸汽压力，和在第二状态把占该有机材料的初始体积的一定体积百分数的有机材料加热，使得被加热的有机材料的蒸汽压力足以有效地形成一层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101052738A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200580037923.3
申请日：2005-10-26
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/542 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 用于控制气化有机材料沉积在基片表面的方法，包括提供加热装置以产生气化有机材料；提供具有至少一个孔的歧管，气化有机材料穿过该孔，在所述基片表面沉积；提供控制器，其独立于所述加热装置运行，并在第一条件有效，用于限制气化有机材料穿过所述孔的通过，以及在第二条件有效，用于促进气化有机材料穿过所述孔的通过；且其中所述加热装置，或所述控制器，或两者都邻近于所述歧管。
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公开(公告)号：CN100549218C
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200580019502.8
申请日：2005-06-03
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/0008
Abstract: 一种将材料蒸发到基材表面以形成膜的方法，包括提供一定量的材料到蒸发装置中，在处于第一温度条件的该蒸发装置中加热该材料，和施加作用于一部分材料的热脉冲以引起材料的该部分蒸发并且被施加到基材表面。
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公开(公告)号：CN100482017C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200580005766.8
申请日：2005-02-11
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , H01L51/001 , H01L51/0059 , H01L51/0077 , H01L51/0081
Abstract: 用于将有机材料汽化到基材表面上以形成薄膜的方法，所述方法包括在汽化装置内提供一定量的有机材料并且将汽化装置中的第一加热区中的有机材料主动地保持在汽化温度以下。所述方法还包括将汽化装置的第二加热区加热到该有机材料的汽化温度以上和以控制速率将有机材料从第一加热区计量加入到第二加热区，使得薄截面的该有机材料在取决于所需的速度的汽化温度下加热，从而有机材料汽化并且在基材表面上形成薄膜。
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公开(公告)号：CN101023196A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200580031807.0
申请日：2005-09-16
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/26
Abstract: 一种蒸发粒状材料并让它们凝结到表面上形成层的方法在具有其尺寸设计为允许粒状材料经其自由流动的开口的第一容器中提供一定数量的粒状材料。粒状材料经过开口转移到螺旋加料器中。转动至少一部分螺旋加料器以便将粒状材料从第一容器沿着进料通道转移到蒸发区，在此，粒状材料的至少一种组分部分被蒸发并运送到表面上形成层。螺旋加料器的尺寸选择为能促使粒状材料经过开口的自由流动。
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公开(公告)号：CN1922927A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200580005766.8
申请日：2005-02-11
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , H01L51/001 , H01L51/0059 , H01L51/0077 , H01L51/0081
Abstract: 用于将有机材料汽化到基材表面上以形成薄膜的方法，所述方法包括在汽化装置内提供一定量的有机材料并且将汽化装置中的第一加热区中的有机材料主动地保持在汽化温度以下。所述方法还包括将汽化装置的第二加热区加热到该有机材料的汽化温度以上和以控制速率将有机材料从第一加热区计量加入到第二加热区，使得薄截面的该有机材料在取决于所需的速度的汽化温度下加热，从而有机材料汽化并且在基材表面上形成薄膜。
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