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公开(公告)号：CN100549218C
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200580019502.8
申请日：2005-06-03
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/0008
Abstract: 一种将材料蒸发到基材表面以形成膜的方法，包括提供一定量的材料到蒸发装置中，在处于第一温度条件的该蒸发装置中加热该材料，和施加作用于一部分材料的热脉冲以引起材料的该部分蒸发并且被施加到基材表面。
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公开(公告)号：CN103547456A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201280025180.8
申请日：2012-05-17
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: B41J2/105 , B41J2/07 , B41J2202/06
Abstract: 一种连续液体喷射系统包括与喷嘴流体连通的液体腔。液体腔包含在足以通过喷嘴喷射液体喷射流的压力下的液体。液滴形成设备与液体喷射流相关联，并可被致动来在液体喷射流中产生调整，该调制使液体喷射流的部分分裂成沿着路径行进的一系列液滴对。每个液滴对在时间上平均分隔开液滴对周期。每个液滴对包括第一液滴和第二液滴。充电设备包括与液体喷射流相关联的充电电极和在充电电极和液体喷射流之间的变化电势源。变化电势源提供包括等于液滴对周期的周期的波形。波形还包括第一不同的电压状态和第二不同的电压状态。充电设备与液滴形成设备同步以在第一液滴上产生第一电荷状态并在第二液滴上产生第二电荷状态。液滴速度调整设备改变选定液滴对的第一液滴和第二液滴的相对速度以控制选定液滴对的第一液滴和第二液滴是否彼此组合来形成组合液滴。组合液滴具有第三电荷状态。偏转设备使具有第一电荷状态的第一液滴沿着第一路径行进，使具有第二电荷状态的第二液滴沿着第二路径行进，并使具有第三电荷状态的组合液滴沿着第三路径行进。
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公开(公告)号：CN100557069C
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200580031807.0
申请日：2005-09-16
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/26
Abstract: 一种蒸发粒状材料并让它们凝结到表面上形成层的方法在具有其尺寸设计为允许粒状材料经其自由流动的开口的第一容器中提供一定数量的粒状材料。粒状材料经过开口转移到螺旋加料器中。转动至少一部分螺旋加料器以便将粒状材料从第一容器沿着进料通道转移到蒸发区，在此，粒状材料的至少一种组分部分被蒸发并运送到表面上形成层。螺旋加料器的尺寸选择为能促使粒状材料经过开口的自由流动。
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公开(公告)号：CN1969055A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200580019502.8
申请日：2005-06-03
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/0008
Abstract: 一种将材料蒸发到基材表面以形成膜的方法，包括提供一定量的材料到蒸发装置中，在处于第一温度条件的该蒸发装置中加热该材料，和施加作用于一部分材料的热脉冲以引起材料的该部分蒸发并且被施加到基材表面。
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公开(公告)号：CN103547456B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201280025180.8
申请日：2012-05-17
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: B41J2/105 , B41J2/07 , B41J2202/06
Abstract: 一种连续液体喷射系统包括与喷嘴流体连通的液体腔。液体腔包含在足以通过喷嘴喷射液体喷射流的压力下的液体。液滴形成设备与液体喷射流相关联，并可被致动来在液体喷射流中产生调整，该调制使液体喷射流的部分分裂成沿着路径行进的一系列液滴对。每个液滴对在时间上平均分隔开液滴对周期。每个液滴对包括第一液滴和第二液滴。充电设备包括与液体喷射流相关联的充电电极和在充电电极和液体喷射流之间的变化电势源。变化电势源提供包括等于液滴对周期的波形。波形还包括第一不同的电压状态和第二不同的电压状态。充电设备与液滴形成设备同步以在第一液滴上产生第一电荷状态并在第二液滴上产生第二电荷状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101052738A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200580037923.3
申请日：2005-10-26
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/542 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 用于控制气化有机材料沉积在基片表面的方法，包括提供加热装置以产生气化有机材料；提供具有至少一个孔的歧管，气化有机材料穿过该孔，在所述基片表面沉积；提供控制器，其独立于所述加热装置运行，并在第一条件有效，用于限制气化有机材料穿过所述孔的通过，以及在第二条件有效，用于促进气化有机材料穿过所述孔的通过；且其中所述加热装置，或所述控制器，或两者都邻近于所述歧管。
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公开(公告)号：CN1568107A
公开(公告)日：2005-01-19
申请号：CN200410003845.2
申请日：2004-01-28
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/243
Abstract: 根据本发明提供一种设计用于热汽相淀积的系统的方法，该系统包括要被淀积在工件上的材料、用于容纳材料的长条形的容器、用于加热容器中的材料使材料汽化的加热器，该容器限定了n个孔，用于在长条形方向上以长条形的方式发射汽化的材料，该设计包括以下步骤：计算在所需淀积速率下单位长度上总的源产量Q；计算在源的总孔导流为CA时产量Q所要求的源的内部压力P；将该系统建立成流导的阶梯网络的模型，该长条形的容器在孔之间具有容器导流CB，导流Cb＝nCB，该孔具有复合流导，其中Cai是各个孔的流导；利用阶梯网络模型，设计沿着容器的长条形方向具有所需的压力均匀性的系统。
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公开(公告)号：CN1934284A
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200580008938.7
申请日：2005-03-14
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/246 , Y10S427/101
Abstract: 本发明公开了一种将有机物质蒸至发表面以形成薄膜的方法，所述方法包括：提供一定量流化的粉末形式的有机物质，计量所述粉末形式的有机物质，并将所述流化的粉末流引向第一部件，加热所述第一部件，使得所述流化的粉末流蒸发，在管道中收集所述已蒸发的有机物质和提供具有至少一个与所述管道相连的孔的第二部件，使得将所述已蒸发的有机物质引向所述表面，以形成薄膜。
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公开(公告)号：CN1922339A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200580005611.4
申请日：2005-02-11
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/001
Abstract: 一种用于沉积材料到基体上的热物理蒸汽沉积源，所述源包含用于接纳材料的加长容器(所述容器在加长方向的流导为CB)和用于加热容器中的材料以使材料蒸发至分压为Pm的加热器。所述容器有至少一个沿其长度方向布置有多个开口的构件，所述开口的总流导为CA，其中式(I)和用于加热容器各侧的末端加热器减少材料在容器上的冷凝。
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公开(公告)号：CN100482017C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200580005766.8
申请日：2005-02-11
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , H01L51/001 , H01L51/0059 , H01L51/0077 , H01L51/0081
Abstract: 用于将有机材料汽化到基材表面上以形成薄膜的方法，所述方法包括在汽化装置内提供一定量的有机材料并且将汽化装置中的第一加热区中的有机材料主动地保持在汽化温度以下。所述方法还包括将汽化装置的第二加热区加热到该有机材料的汽化温度以上和以控制速率将有机材料从第一加热区计量加入到第二加热区，使得薄截面的该有机材料在取决于所需的速度的汽化温度下加热，从而有机材料汽化并且在基材表面上形成薄膜。
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