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公开(公告)号：CN114508561A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202210060395.9
申请日：2022-01-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于超精密减振相关技术领域，其公开了一种用于超精密设备的微振动主动补偿系统，系统包括：相对设置的总成上板和总成下板；多个单元减振器，多个单元减振器设于总成上板和总成下板之间且均匀分布于同一圆周；每一单元减振器包括双向洛伦兹电机、位移传感器组件、速度传感器组件、弹簧组件、上安装板、下安装板以及多个探测板，其中，双向洛伦兹电机包括正交布置的垂向电机和水平向电机；位移传感器组件包括正交布置的垂向位移传感器和水平向位移传感器；速度传感器组件包括正交布置的水平向速度传感器和垂向速度传感器；弹簧组件包括弹簧。本申请通过被动减振和主动控制实现多自由、超低频、超带宽、高衰减的减振效果。
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公开(公告)号：CN113202897A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110493239.7
申请日：2021-05-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷的主被动减振装置及六自由度减振系统，属于机械动力学技术领域，包括负载连接器、主被动减振机构、中间质量块、速度传感器、压电陶瓷致动器、位移放大机构、基础平台和控制器；被动减振机构的一端连接负载连接器，另一端连接中间质量块；中间质量块的下部连接位移放大机构；速度传感器采集中间质量块的运动速度并将速度信号反馈至控制器，控制器根据速度信号计算出施以压电陶瓷致动器的电压信号以使其产生水平方向的形变位移，位移放大机构将其水平位移转换为垂向位移并驱动中间质量块以实现减振。本发明通过主动控制系统与被动减振系统复合，使装置能够有效抑制低频共振，隔离低频振动并且具有良好的高频减振效果。
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公开(公告)号：CN109883521B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910068237.6
申请日：2019-01-24
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01G9/00
Abstract: 本发明属于质量测量技术领域，并具体公开了一种质量测量方法及系统。包括如下步骤：S1采用控制器和两个及以上的主动减振器支撑待测负载S2执行器出力对负载进行激励，传感器测量各执行器的响应幅值S3判断负载是否只有垂直方向运动S4在负载上放置标准质量块，执行器出力对放置标准质量块后的负载进行激励，传感器测量各执行器的响应幅值S5判断放置标准质量块后的负载是否只有垂直方向运动S6传感器测量的数据进行处理，获得负载的质量。本发明还公开了质量测量系统。本发明的测量方法，以精密减震器作为激励源，借助于放置标准质量块来确定其负载总质量，仅使用系统自身的资源，对设备影响小，测量迅速、快捷，精度高。
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公开(公告)号：CN106286692B
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201610834355.X
申请日：2016-09-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F15/00 , F16F15/067 , G05B13/04
CPC classification number: F16F15/002 , F16F15/06 , F16M11/22 , G05B19/402 , G05B2219/37351 , G05B2219/39241 , H02N2/001 , H02N2/028 , H02N2/043
Abstract: 本发明的六自由度微振动抑制平台，包括基础平台、负载平台、完全相同的六套单自由度主被动复合隔振装置以及控制器，每套单自由度主被动复合隔振装置上下两端分别与负载平台和基础平台连接。本发明的控制方法，包括计算逻辑轴信号、计算逻辑轴控制信号、计算物理轴实时控制信号和传递步骤。本发明结构简单，刚度可调，能够对X轴、Y轴、Z轴的平动方向及转动方向的六自由度微振动进行抑制和隔离，能够适合不同的场合，可以有效的衰减不同频段的微振动，为微振动环境下的精密加工与测量设备提供可靠的保障，解决现有主被动复合隔振机构存在的结构复杂、控制方式繁琐的问题，实现多自由度振动抑制。
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公开(公告)号：CN105909725B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201610230242.9
申请日：2016-04-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F15/067 , G05B11/42
Abstract: 一种三自由度微振动抑制平台及其控制方法，属于振动隔离与抑制装置，解决现有主被动复合隔振机构存在的结构复杂、控制方式繁琐的问题。本发明的三自由度微振动抑制平台，包括基础平台、负载平台、完全相同的三套单自由度主被动复合隔振组件以及控制器，每套单自由度主被动复合隔振组件上下两端分别与负载平台和基础平台连接。本发明的控制方法，包括计算逻辑轴位移信号、计算逻辑轴控制信号、计算物理轴实时控制信号和传递步骤。本发明结构简单，刚度可调，能够对X轴、Y轴的转动方向及Z轴的平动方向三自由度微振动进行抑制和隔离，能够适合不同的场合，可以有效的衰减不同频段的微振动，为微振动环境下的精密加工与测量设备提供可靠的保障。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105094165A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510522196.5
申请日：2015-08-24
Applicant: 华中科技大学
IPC: G05D19/02
Abstract: 本发明公开了一种Stewart主动平台和振动抑制方法，Stewart主动平台包括负载平台、基础平台、控制器、加速度传感器及压电单腿结构，每个压电单腿结构均包括上柔性铰链、力传感器、压电致动器和下柔性铰链；力传感器、压电致动器和加速度传感器均与控制器连接，该方法包括以下步骤：1)控制器得到反馈控制信号；2)控制器得到前馈控制信号；3)控制器获得前馈与反馈复合控制电压；4)将复合控制电压输给压电致动器，压电执行器施加作用力在负载平台上。本方法采用的控制算法利用PI力反馈算法不仅可以有效降低系统固有频率及振动共振峰，而且利用高效计算的RLS自适应算法高效迭代寻求最优权值，从而降低负载平台的振动。
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公开(公告)号：CN103321612B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310230813.5
申请日：2013-06-09
Applicant: 苏州大一装备科技有限公司 , 华中科技大学
IPC: E21B43/00
CPC classification number: E21B43/006
Abstract: 一种捞水式排水采气机，包括卷扬及动力机构、液体密封传动机构、机架和排采机构。液体密封传动机构利用液体密封原理对运动钢丝绳进行密封，避免井下气体泄漏，同时实现排水采气过程中的钢丝绳传动；机架起支撑作用，通过卷扬机构可升降调节，便于井下设备检修；钢丝绳带动排采机构中具有底部单向阀的捞水桶上下往复运动，捞取井液，并通过排水管底部自平衡单流阀在对井下气体有效密封的同时将井液排到地面，从而降低煤岩储层压力，使蕴藏在煤层间的煤层气不断解吸并进行采收。该设备结构简单、安装维护方便、投资少、节能效果好、无磨损密封、可靠性高、寿命长，便于进行智能化控制，特别适合于煤层气井长期稳定、高效排水采气。
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公开(公告)号：CN118912146A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411326327.8
申请日：2024-09-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F15/00 , F16F15/023 , F16F15/027 , F16F15/03 , F16F15/04
Abstract: 本申请属于超精密减振领域，公开了一种真空环境兼容的精密主动减振器，包括：顶板、底板和减振单元，减振单元包括并联的被动减振单元和主动减振单元，主动减振单元设置于顶板和底板之间，且位于空气弹簧外，被动减振单元包括同轴且竖直设置的空气弹簧和磁负刚度弹簧；空气弹簧包括主气室，主气室的底部连接有金属密封波纹管，主气室的顶端与顶板柔性连接；金属密封波纹管的底端密封固定于底板上，使主气室成真空密闭腔；磁负刚度弹簧设置于空气弹簧内，且其顶端固定于空腔的上壁上，其底端与底板柔性连接。本申请具有优异的隔振性能且具有良好的真空环境适应性，满足EUV光刻机等设备的隔振需求。
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公开(公告)号：CN117928808A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311820541.4
申请日：2023-12-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01L5/1627 , G01L1/22
Abstract: 本发明属于力测量设备相关技术领域，其公开了一种多维度可伸缩应变式力传感器及多维力测量方法，所述力传感器包括中心支架、多个转动组件、多个一维可伸缩应变式力传感器，多个转动组件的一端分别连接于所述中心支架，且绕所述中心支架的几何中心均匀排布，多个所述一维可伸缩应变式力传感器分别连接于多个所述转动组件的另一端；所述转动组件包括转动杆及第一支撑座，转动杆相背的两端分别与所述中心支架及所述第一支撑座的一端形成转动连接，所述第一支撑座的另一端连接于所述一维可伸缩应变式力传感器；所述转动杆的两端所对应的转动轴线相互垂直。本发明能够同时测量来自不同方向、夹角不同的力；且被测点与传感器中心的距离也可以不同。
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公开(公告)号：CN117826636A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311823647.X
申请日：2023-12-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微振动抑制相关技术领域，其公开了一种减振系统的主动负刚度控制方法、装置及减振系统，减振系统包括主动负刚度结构，主动负刚度结构在主动负刚度控制器的控制下输出控制力，主动负刚度控制方法包括：建立动力学模型，包括减振系统的动力学关系式以及主动负刚度结构的输出控制力关系式；根据动力学模型，建立主动负刚度控制器的输出模型；根据动力学模型以及输出模型，建立主动负刚度结构控制环路下的开环传函；根据开环传函确定输出模型的参数；根据输出模型进行主动负刚度控制。本发明通过主动负刚度技术能够准确调节减振系统在地基和负载之间的等价刚度，提高低频减振性能；且具有线性区间大、便于调节、稳定性高的优点。
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