一种改善常压化学气相沉积法制备的石墨烯薄膜导电性能的方法

    公开(公告)号:CN107217239A

    公开(公告)日:2017-09-29

    申请号:CN201710447695.1

    申请日:2017-06-14

    CPC classification number: C23C16/26 C23C16/0209

    Abstract: 本发明属于石墨烯材料制备的技术领域,公开了一种改善常压化学气相沉积法制备的石墨烯薄膜导电性能的方法。所述方法为:(1)将铜箔进行表面清洗处理;(2)将经过处理的铜箔进行高温热处理,高温热处理的条件为:氩气的流速为200~500sccm、氢气的流速为0~50sccm,于700~1000℃恒温处理5~7小时;(3)将经过高温热处理的铜箔升温至900~1050℃,通入甲烷进行生长;(4)停止甲烷及氢气的通入,保持氩气的通入,冷却,得到生长于铜片基底的石墨烯薄膜。本发明的方法操作简单,无需添置多余设备,成本低廉,易于操作,使用本方法能够大幅度达到降低石墨烯薄膜方阻,改善其导电性能的目的。

    一种环保型物理气相沉积间色镀膜的方法

    公开(公告)号:CN104711512B

    公开(公告)日:2017-06-06

    申请号:CN201510141916.3

    申请日:2015-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种环保型物理气相沉积间色镀膜的方法,该方法将厚度为0.06‐0.15mm厚的耐高温有机物薄膜包覆在待镀基材上,根据间镀区域的空间形状、尺寸,勾勒到有机物上形成间镀区域的轮廓图案,然后从有机物布料上剪裁出该图案,完成间镀图案的转印;处理该转印图案,使其具有较强的与金属表面物理吸附力;将工件表面清洗烘干后,使用获得的耐高温有机物覆盖间镀区域;采用物理气相沉积方法在工件表面涂覆所需涂层;揭去覆盖在工件表面的有机物图案,完成间镀工作。本发明将耐高温化学稳定的有机物薄膜制成间镀图案贴附于工件的间镀区域,实施物理气相沉积涂覆后只需简单地撕离该有机薄膜,间镀实施过程不使用有机溶剂。

    AN/Cr1-xAlxN/Cr30(Al,Y)70N硬质梯度涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN102766846B

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201210248641.X

    申请日:2012-07-18

    Inventor: 彭继华 苏东艺

    Abstract: 本发明公开AN/Cr1-xAlxN/Cr30(Al,Y)70N硬质梯度涂层及其制备方法,该涂层制备在硬质合金或钢铁基体上,涂层结构由三个部分组成,第一部分为CrN或TiN膜层,作为结合层和过渡层;第二部分为Cr1-xAlxN梯度膜层,其中梯度膜层从内到外结构式中的铝含量X由0.1线性过渡到0.7;第三部分涂层外层为含钇的Cr30(Al,Y)70N膜层;其制备方法包括工件表面预处理、预加热、表面清洗刻蚀、过渡层制备、梯度膜层层制备和Cr30(Al,Y)70N膜层制备。本发明通过涂层结构设计、采用空心阴极和离子镀复合制备技术,获得了力学性能和高温抗氧化性能优异的Cr-Al-N系涂层。

    一种TiCN系列纳米梯度复合多层涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN101712215B

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN200910193489.8

    申请日:2009-10-30

    Inventor: 彭继华

    Abstract: 本发明公开一种TiCN系列纳米梯度复合多层涂层及其制备方法,该纳米梯度复合多层涂层是在硬纸合金、洛氏硬度超过HRC60的铁基工具或模具基体上,依次由TiN膜、梯度变化Ti(CxN1-x)膜和TiCN膜组成结构为TiN/Ti(CxN1-x)/Ti(CN)纳米复合多层涂层,其中x=0-0.5。本发明的涂层制备方法包括表面预处理、预加热、表面清洗刻蚀、过渡层制备、梯度层制备和表面层制备等步骤。本发明制备的涂层硬度HV达到28-32GPa,涂层同基体结合力超过55N,提高了TiCN系列涂层同基体的结合力和耐磨性,提高了工、模具的工作效率和使用寿命。

    一种TiCN系列纳米梯度复合多层涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN101712215A

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200910193489.8

    申请日:2009-10-30

    Inventor: 彭继华

    Abstract: 本发明公开一种TiCN系列纳米梯度复合多层涂层及其制备方法,该纳米梯度复合多层涂层是在硬纸合金、洛氏硬度超过HRC60的铁基工具或模具基体上,依次由TiN膜、梯度变化Ti(CxN1-x)膜和TiCN膜组成结构为TiN/Ti(CxN1-x)/Ti(CN)纳米复合多层涂层,其中x=0-0.5。本发明的涂层制备方法包括表面预处理、预加热、表面清洗刻蚀、过渡层制备、梯度层制备和表面层制备等步骤。本发明制备的涂层硬度HV达到28-32GPa,涂层同基体结合力超过55N,提高了TiCN系列涂层同基体的结合力和耐磨性,提高了工、模具的工作效率和使用寿命。

    一种自润滑硬质纳米复合多层涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN101698362A

    公开(公告)日:2010-04-28

    申请号:CN200910193490.0

    申请日:2009-10-30

    Inventor: 彭继华

    Abstract: 本发明公开一种自润滑硬质纳米复合多层涂层及其制备方法。该纳米梯度复合多层涂层是在硬质合金或钢铁基体上,TiN作为结合层,由过渡层TiN膜和金属陶瓷化合物+MoS2纳米复合多层组成结构为TiN/金属陶瓷化合物+MoS2复合多层涂层;金属陶瓷化合物为TiCN或TiAlN。涂层制备方法包括工件预加热、工件表面清洗刻蚀、过渡层制备、(金属陶瓷化合物+MoS2)纳米多层制备等步骤。本发明采用物理气相沉积技术,制备具有TiN/(金属陶瓷化合物+MoS2)纳米复合结构的自润滑涂层,保持TiCN、TiAlN化合物的优异性能,同时涂层兼备了较低的摩擦系数,涂层硬度高于28GPa,涂层的摩擦系数低于0.1。

Patent Agency Ranking